【技术实现步骤摘要】
本申请是有关一种温度控制系统，且特别是有关一种具有节能的气体温度控制系统。
技术介绍
1、精密制程的产业设置厂务系统，以提供洁净、稳定的原料、电力及环境，以半导体产业为例，虽然无尘室的空气已有温度与湿度控制，但是其稳定度并不足够制程设备使用，所以厂务系统搭配一气体温度控制设备(温控设备)作稳定控制，现有温控设备包括使用冷却水的干盘管系统。
2、图1为现有干盘管温控设备的方块图，如图1所示，干盘管温控设备1包括冷却水源11、降温盘管12、升温盘管13、风扇14及管路15，管路15连通冷却水源11(包括冷却水主机及泵浦)及降温盘管12，较低温的冷却水(例如：10℃以下)流入降温盘管12与较高温(例如：25℃)的气体进行热交换，吸热后的冷却水流出降温盘管12经由管路15回流至冷却水源11，放热后气体通过升温盘管13加热及加湿达到制程设备所需的温度(例如：18℃-24℃)及湿度(例如：35％-50％相对湿度)，风扇14将所需温度及湿度的气体送入制程设备。
3、然而，环保法规对用水及节能的要求逐渐提高，使厂务系统必须执行省...
【技术保护点】
1.一种具有节能的气体温度控制系统，其特征在于，所述具有节能的气体温度控制系统包括：
2.根据权利要求1所述具有节能的气体温度控制系统，其特征在于，该冷却水经由该第一管路流入该温度控制模块调整温度，经调整温度的该冷却水流出该温度控制模块经由该第二管路流入该热交换模块与该气体进行热交换，经热交换的该冷却水流出该热交换模块经由该第三管路回流至该冷却水源。
3.根据权利要求1所述具有节能的气体温度控制系统，其特征在于，该热交换模块包括分离的一第一回路及一第二回路，该第二管路连通该温度控制模块及该第二回路，该第三管路连通该第一回路及该冷却水源，一第四管...
【技术特征摘要】
1.一种具有节能的气体温度控制系统，其特征在于，所述具有节能的气体温度控制系统包括：
2.根据权利要求1所述具有节能的气体温度控制系统，其特征在于，该冷却水经由该第一管路流入该温度控制模块调整温度，经调整温度的该冷却水流出该温度控制模块经由该第二管路流入该热交换模块与该气体进行热交换，经热交换的该冷却水流出该热交换模块经由该第三管路回流至该冷却水源。
3.根据权利要求1所述具有节能的气体温度控制系统，其特征在于，该热交换模块包括分离的一第一回路及一第二回路，该第二管路连通该温度控制模块及该第二回路，该第三管路连通该第一回路及该冷却水源，一第四管路连通该第一管路及该第一回路，一第五管路连通该第二回路及该第三管路，该冷却水通过该第一管路及该第四管路的连通处分流成第一部份冷却水及第二部分冷却水；该第一部份冷却水经由该第一管路及该第四管路流入该第一回路与该气体进行第一次热交换，经第一次热交换的该气体流入该第二回路，经该第一次热交换的该第一部份冷却水流出该第一回路经由该第三管路回流至该冷却水源；该第二部分冷却水经由该第一管路流入该温度控制模块调整温度，经调整温度的该第二部分冷却水流出该温度控制模块经由该第二管路流入该第二回路与经第一次热交换的该气体进行第二次热交换，经该第二次热交换的该第二部分冷却水流出该第二回路经由该第五管路及该第三管路回流至该冷却水源。
4.根据权利要求1所述具有节能的气体温度控制系统，其特征在于，该温度控制模块包括一热电芯片冷面及一热电芯片热面，该热交换模块包括分离的一第一回路及一第二回路，该第一管路连通该冷却水源及该热电芯片冷面，该第二管路连通该热电芯片冷面及该第二回路，一第四管路连通该第一管路及该第一回路，一第五管路连通该第二回路及该热电芯片热面，一第六管路连通该热电芯片热面及该第三管路，该冷却水通过该第一管路及该第四管路的连通处分流成第一部份冷却水及第二部分冷却水；该第一部份冷却水经由该第一管路及该第四管路流入该第一回路与该气体进行第一次热交换，经第一次热交换的该气体流入该第二回路，经该第一次热交换的该第一部份冷却水流出该第一回路经由该第三管路回流至该冷却水源；该第二部分冷却水经由该第一管路流入该热电芯片冷面调整温度，经调整温度的该第二部分冷却水流出该热电芯片冷面经由该第二管路流入该第二回路与经第一次热交换的该气体进行第二次热交换，经该第二次热交换的该第二部分冷却水流出该第二回路经由该第五管路、该热电芯片热面、该第六管路及该第三管路回流至该冷却水源。
5.根据权利要求1所述具有节能的气体温度控制系统，其特征在于，该温度控制模块包括一热电芯片冷面及一热电芯片热面，该热交换模块包括分离的一第一回路及一第二回路，该第一管路连通该冷却水源及该热电芯片热面，...
【专利技术属性】
技术研发人员：陈嘉洛，
申请(专利权)人：奇鼎科技股份有限公司，
类型：新型
国别省市：
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