一种曝光方法，适用于在基板（Ｐ）上接合图案（Ａ、Ｂ）以曝光出所希望的图案，此方法是进行一预备曝光工艺以于基板上曝光出与图案（Ａ、Ｂ）不同的第一标记（ＭＫ）以及接合图案（Ａ、Ｂ）。然后，进行一设定工艺，此设定工艺根据基板上所曝光的第一标记...

一种投影光学系统，具有较短的硝路长与较少的透镜个数，且于初期状态中具有良好的成像性能，而当照明条件或环境发生变化之后也可以维持良好的成像性能。屈折型投影光学系统，自第１面Ａ侧起，依序备有具负屈折力的第１透镜群Ｇ１、具正屈折力的第２透镜群...

一种曝光装置可高精确度地维持光罩与感光基板之间的平行度，并将光罩上的图案正确地投影曝光于感光基板上。由照明光学投影系统（３０）照明光罩（１０）上所形成的图案再经由投影光学系统（４０）投影于感光基板（２０）上且光罩（１０）与感光基板（２０...

一种曝光装置，在不依赖（依存）网线上的微细图案的方向性的情况下，可以最适的照明条件进行曝光。包括一照明光学系统及一投影光学系统。照明光学系统，照明一网线，网线上形成有欲转写的图案。投影光学系统，把网线的图案的像形成在一基板上。且照明光学...

提供一种投影光学系统，它虽然采用两侧远心的结构，但能够抑制由于所使用的玻璃材料的吸收引起的成像性能的恶化，且保证大数值孔径和宽大的曝光区域，而且，对于各像差能够很好地进行补正。在将第１物体的图形投影在第２物体上的投影光学系统中，上述投影...

本发明提供一种具有较大的像侧数值孔径及投影视野且面对振动时的机械安定性等优良的投影光学系统。包括形成第１面（Ｒ）的第１中间像的第１成像光学系统（Ｇ１）、有凹面反射镜（ＣＭ），基于第１中间像发出的光束形成第２中间像的第２成像光学系统（Ｇ２...

一种投影光学系统，配有六个反射镜，用于在第二面上形成第一面的缩小像，其特征为：　　　　配备第一反射成像光学系统，用以形成该第一面的中间像，及第二反射成像光学系统用以在该第二面上形成该中间像的像；且　　　　该第一反射成像光学系统，依据该第...

一种利用同时表现成像光学系统的像差的瞳内分布与像面内分布，可解析评估成像光学系统的像差的评估方法，包括设定一像差多项式，以像面坐标与瞳面坐标为函数，一般性表示投影光学系统ＰＬ的像差；于投影光学系统ＰＬ的一像面上多个点，测定其波面像差；由...