本发明涉及半导体加工技术领域，具体涉及一种半导体硅片镀膜装置及其方法，包括反应室和反应室上连接的反应盖，反应室的内部安装有多组分隔块，多组分隔块用于将反应室中分隔成与进气管贯通的气流通道，气流通道的中心处且在反应盖底部安装有蓄气室，蓄气...

本技术涉及硅片规整技术领域，公开了一种硅片规整装置，包括多个凹形板，每个凹形板相互连接，每个凹形板后侧固定安装有L形板，L形板靠近凹形板的一侧设置有电动推杆，电动推杆另一端固定连接有移动板。本技术，启动电动推杆，电动推杆能够推动移动板进...

本技术涉及氮气存放柜技术领域，公开了一种炉管氮气存放柜旋转装置，包括氮气柜柜体，所述氮气柜柜体内侧的中部位置固定连接有隔板，所述隔板中部两侧固定连接有对称设置的安装板，两个所述安装板顶部外壁均转动连接有第一安装杆，所述氮气柜柜体内侧设置...

本技术涉及硅片干燥技术领域，公开了一种半导体硅片用异丙醇干燥装置，包括底座，其特征在于，底座上方中间设置有转杆，转杆顶端固定安装有顶板，转杆活动贯穿于底座且端口处固定连接有电机，顶板底部固定安装有圆形套筒，圆形套筒上固定安装有多个呈线性...

本技术涉及清洗机领域，公开了一种石英炉管用自动清洗机，包括第一液压缸，所述第一液压缸上端设置有滑动机构，所述滑动机构用于设备的平移滑动；且第一液压缸下端设置有抓取机构，所述抓取机构用于抓取固定石英炉管。本技术设计采用采用滚筒抓取架，并在...

本技术涉及硅片转移技术领域，公开了一种硅片花篮用硅片转移装置，包括：侧板，所述侧板的数量为两个，且两个侧板相互对称；定位板，所述定位板固定连接在两个侧板相对一侧外壁上，所述定位板一侧外壁开设有等距分布的第一矩形卡槽；移动板，所述移动板与...

本技术涉及药液浸泡槽技术领域，公开了一种用于药液浸泡槽的循环制冷装置，包括浸泡槽，所述浸泡槽底部内侧开设有安装腔，所述安装腔内侧固定安装有蛇形冷却水管，所述蛇形冷却水管的左右两端分别连接有第一管道接头以及第二管道接头，所述浸泡槽一侧外壁...

本实用新型涉及硅片检测技术领域，公开了一种硅片侧边检测装置，包括传送带，所述传送带设置有两条，且横向并列排列，所述传送带上开设有第一滑槽，且第一滑槽的内部设置有弹簧，所述弹簧的一端固定连接有连接柱，且连接柱的顶部转动连接有卡块，位于两个...

本实用新型涉及硅片磨片支撑架技术领域，公开了一种硅片磨片支撑架，包括放置板，放置板内部开设有空腔，且放置板相对的两侧壁分别开设有矩形槽，空腔内腔设置有相互对称的第一活动板和第二活动板，且第一活动板和第二活动板分别活动贯穿于矩形槽

本实用新型涉及硅片收料技术领域，公开了一种硅片分档收料装置，包括收料箱、放置座以及第一限位机构，所述第一限位机构设置有多组，且第一限位机构包括矩形放置槽、第一限位板、两个第一滑槽和两个第一滑块，所述矩形放置槽等距开设在放置座顶部外壁上，...

本实用新型涉及硅片涂胶机技术领域，公开了一种硅片涂胶机的硅片旋转装置，包括底座和安装板，安装板位于底座上方，且安装板于底座之间固定安装有四个相互对称的伸缩杆，且底座上方四周有滑动机构，滑动机构包括滑槽和第一滑块，两个滑槽分别开设于底座上...

本实用新型涉及硅片承载技术领域，公开了一种防止硅片粘连的硅片承载器，包括承载机构，所述承载机构设置有多组，且承载机构包括海绵块和承载槽，所述固定座顶部侧壁处开设有等距分布的第一放置槽，所述调节座顶部侧壁处开设有等距分布的第二放置槽，所述...