【技术实现步骤摘要】
本技术属于清洗机,具体地说,涉及一种石英炉管用自动清洗机。
技术介绍
1、随着半导体行业的发展,圆形半导体硅片的加工产能需求日趋增加,需要一种自动化程度高,生产效率高的设备,实现自动清洗炉管,取代人工繁琐的手动作业。目前炉管清洗设备需要人工进行手动对炉管进行旋转,炉管清洗后,人工将冲好的炉管搬运到固定位置进行自然干燥。整个炉管清洗的过程及中转过程完全手动操作;而这种操作在清洗过程中手动对炉管进行旋转及搬运,容易造成炉管损坏;且石英炉管边缘有比较锋利的毛刺,对工作人员易造成安全事故隐患。
技术实现思路
1、为解决上述容易造成炉管损坏和易造成安全事故隐患的技术问题,本技术采用技术方案的基本构思是:
2、一种石英炉管用自动清洗机,包括第一液压缸,所述第一液压缸上端设置有滑动机构,所述滑动机构用于设备的平移滑动;且第一液压缸下端设置有抓取机构,所述抓取机构用于抓取固定石英炉管。
3、作为本技术的一种优选实施方式,所述滑动机构包括滑轮杆,所述滑轮杆下端中心位置与第一液压缸上端
...【技术保护点】
1.一种石英炉管用自动清洗机,其特征在于,包括:
2.根据权利要求1所述的一种石英炉管用自动清洗机,其特征在于,所述滑动机构包括滑轮杆(6),所述滑轮杆(6)下端中心位置与第一液压缸(7)上端固定连接,且滑轮杆(6)两端各安装有两个滑轮(3),所述滑轮(3)的轴杆上固定连接有滑轮传动轮(2),所述滑轮传动轮(2)与电机传动轮(4)通过皮带连接,所述电机传动轮(4)固定在电机(5)的传动轴上,所述电机(5)下端固定连接在滑轮杆(6)上端中心位置。
3.根据权利要求1所述的一种石英炉管用自动清洗机,其特征在于,所述抓取机构包括支撑架(8),所述支撑
...【技术特征摘要】
1.一种石英炉管用自动清洗机,其特征在于,包括:
2.根据权利要求1所述的一种石英炉管用自动清洗机,其特征在于,所述滑动机构包括滑轮杆(6),所述滑轮杆(6)下端中心位置与第一液压缸(7)上端固定连接,且滑轮杆(6)两端各安装有两个滑轮(3),所述滑轮(3)的轴杆上固定连接有滑轮传动轮(2),所述滑轮传动轮(2)与电机传动轮(4)通过皮带连接,所述电机传动轮(4)固定在电机(5)的传动轴上,所述电机(5)下端固定连接在滑轮杆(6)上端中心位置。
3.根据权利要求1所述的一种石英炉管用自动清洗机,其特征在于,所述抓取机构包括支撑架(8),所述支撑架(8)上端中心位置与第一液压缸(7)下端的伸缩杆末端固定连接,且支撑架(8)下端左右两侧各活动连接有一个抓取架(12),所述抓取架(12)上端与第二液压缸(9)下端的伸缩杆末端活动连接,所述第二液压缸(9)上端活动连接在支撑架(8)下端内侧。
4.根据权利要求3所述的一种石英炉管用自动清洗机,其特征在于,所述抓取架(12)内侧分支末端各活动连接有一个滚筒(14),所述上端...
【专利技术属性】
技术研发人员:胡情华,刘芳亮,唐文璇,
申请(专利权)人:南京京胜科技有限公司,
类型:新型
国别省市:
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