【技术实现步骤摘要】
一种硅片侧边检测装置
[0001]本技术属于硅片检测
,具体地说,涉及一种硅片侧边检测装置
。
技术介绍
[0002]硅片主要应用于计算机领域,为了增加精度,延长硅片使用寿命,在硅片生产过程中,需要对硅片进行检测
。
[0003]传统的硅片侧边检测是通过设置在硅片输送线两侧的侧边检测机构实现,该侧边检测机构用于检测硅片上平行于硅片输送线的两个侧边是否存在缺陷;在完成硅片的两条侧边的缺陷检测后,利用旋转机构将硅片旋转
90
°
再检测剩余的两条侧边;然而,旋转机构的设置增加了硅片输送线的长度以及硅片四个侧边的检测工位,使得传统的硅片侧边检测装置占用了较大的空间
[0004]有鉴于此特提出本技术
。
技术实现思路
[0005]为解决上述技术问题,本技术采用技术方案的基本构思是:
[0006]一种硅片侧边检测装置
,
包括传送带,所述传送带设置有两条,且横向并列排列,所述传送带上开设有第一滑槽,且第一滑槽的内部设置有弹簧,所述弹簧的一端固定连接有连接柱,且连接柱的顶部转动连接有卡块,位于两个所述传送带上的卡块呈对角位置排列,且两个卡块之间设置有硅片,所述硅片的对角位置与两个卡块相接触
。
[0007]作为本技术的一种优选实施方式,所述第一滑槽的滑动方向与传送带的运转方向相互垂直,且第一滑槽内部两侧开设有第二滑槽,所述连接柱的直径大小与第一滑槽的宽度大小相适配,且连接柱的两侧固定连接有滑块,所述滑块的截面
【技术保护点】
【技术特征摘要】
1.
一种硅片侧边检测装置,其特征在于,包括传送带
(5)
,所述传送带
(5)
设置有两条,且横向并列排列,所述传送带
(5)
上开设有第一滑槽
(18)
,且第一滑槽
(18)
的内部设置有弹簧
(17)
,所述弹簧
(17)
的一端固定连接有连接柱
(15)
,且连接柱
(15)
的顶部转动连接有卡块
(14)
,位于两个所述传送带
(5)
上的卡块
(14)
呈对角位置排列,且两个卡块
(14)
之间设置有硅片
(13)
,所述硅片
(13)
的对角位置与两个卡块
(14)
相接触
。2.
根据权利要求1所述的一种硅片侧边检测装置,其特征在于,所述第一滑槽
(18)
的滑动方向与传送带
(5)
的运转方向相互垂直,且第一滑槽
(18)
内部两侧开设有第二滑槽
(19)
,所述连接柱
(15)
的直径大小与第一滑槽
(18)
的宽度大小相适配,且连接柱
(15)
的两侧固定连接有滑块
(16)
,所述滑块
(16)
的截面形状与大小均与第二滑槽
(19)
相适配,且滑块
(16)
通过第二滑槽
(19)
与传送带
(5)
滑动连接
。3.
根据权利要求1所述的一种硅片侧边检测装置,其特征在于,所述弹簧
(17)
远离卡块
(14)
的一端固定连接在第一滑槽
(18)
的一端,且弹簧
(17)
始终处于压缩状态,所述弹簧
(17)
的顶部与传送带
(5)
的顶部相齐平,所述卡块
(14)
的截面形状呈
L
型,且卡块
(14)
的底...
【专利技术属性】
技术研发人员:胡情华,刘芳亮,唐文璇,
申请(专利权)人:南京京胜科技有限公司,
类型:新型
国别省市:
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