一种用于药液浸泡槽的循环制冷装置制造方法及图纸

本技术涉及药液浸泡槽技术领域，公开了一种用于药液浸泡槽的循环制冷装置，包括浸泡槽，所述浸泡槽底部内侧开设有安装腔，所述安装腔内侧固定安装有蛇形冷却水管，所述蛇形冷却水管的左右两端分别连接有第一管道接头以及第二管道接头，所述浸泡槽一侧外壁固定安装有增压泵，所述浸泡槽一侧开设有第一通孔，且第一通孔内壁固定连接有增压管，所述增压管为L形结构，所述增压管左端与第二管道接头相连接，所述增压管右端与增压泵的进水口相连接。本技术启动增压泵工作，配合增压管、回流管以及第二管道接头的作用可以将冷却水再次抽取至储水箱内，可以对冷却水进行循环利用，达到循环制冷的效果，较为实用，适合广泛推广和使用。

【技术实现步骤摘要】

本技术属于药液浸泡槽，具体地说，涉及一种用于药液浸泡槽的循环制冷装置。

技术介绍

1、对于半导体薄膜制程中属于氮化钛制程的工件，再次使用前，需要去除氮化钛附着物，主要采用化学药液浸泡的方式来去除，采用h2o2(双氧水)与nh4oh(氨水)两种药液的混合，将工件放入药液中，利用两种药液混合过程中所产生的反应现象，达成去除氮化钛附着物的目的。

2、h2o2(双氧水)与nh4oh(氨水)两种药液混合过程中，会产生吸热现象，药液温度的变化会与反应时间的长短成正比，时间越长温度越高；同样的h2o2(双氧水)与nh4oh(氨水)两种药液混合过程中，两种药液的混合反应效率也与温度的高低成正比，温度越高反应的越快；当反应达到沸腾时，为药液反应最剧烈的时候，当h2o2(双氧水)与nh4oh(氨水)反应完成后，药液温度降低回归常温，混合药液也失去去除氮化钛附着物的能力，必须再重新调配新药液进行浸泡；去除氮化钛附着物所需要的浸泡时间，随着附着物的厚度不同而有所增减，附着物越厚所需要浸泡的时间越长，相对的调配新药液浸泡的次数也会增加，h2o2(双氧水)与nh4oh(氨水)的使用量也会相对增加。

3、有鉴于此特提出本技术。

技术实现思路

1、为解决上述技术问题，本技术采用技术方案的基本构思是：

2、一种用于药液浸泡槽的循环制冷装置，包括：

3、浸泡槽，所述浸泡槽底部内侧开设有安装腔，所述安装腔内侧固定安装有蛇形冷却水管，所述蛇形冷却水管的左右两端分别连接有第一管道接头以及第二管道接头，所述浸泡槽一侧外壁固定安装有增压泵，所述浸泡槽一侧开设有第一通孔，且第一通孔内壁固定连接有增压管，所述增压管为l形结构，所述增压管左端与第二管道接头相连接，所述增压管右端与增压泵的进水口相连接；

4、基板，所述基板顶部外壁固定设置有储水箱，所述储水箱顶部开设有开口，且开口内壁固定连接有回流管，所述回流管为l形结构，所述回流管顶端连接在增压泵的出水口上。

5、作为本技术的一种优选实施方式，所述基板顶部两侧外壁固定连接有对称设置的支撑板，两个所述支撑板顶端对称固定在浸泡槽底部两侧外壁上。

6、作为本技术的一种优选实施方式，所述基板顶部外壁固定安装有抽水泵，所述抽水泵进水口通过管道与储水箱相连通。

7、作为本技术的一种优选实施方式，所述浸泡槽一侧开设有第二通孔，且第二通孔内壁固定连接有上水管，所述上水管右端与第一管道接头相连接。

8、作为本技术的一种优选实施方式，所述上水管为门形结构，且上水管底端连接在抽水泵的出水口上。

9、作为本技术的一种优选实施方式，所述浸泡槽底部开设有矩形安装口，所述安装腔与矩形安装口相通，且矩形安装口内壁固定连接有传导板，所述传导板底部外壁与蛇形冷却水管的顶部外壁相接触。

10、本技术与现有技术相比具有以下有益效果：

11、本技术，将适量的ho(双氧水)与nhoh(氨水)两种药液倒入至浸泡槽内，使得ho(双氧水)与nhoh(氨水)两种药液混合在一起，然后将需要去除氮化钛附着物的工件放入至浸泡槽内，使得工件表面的氮化钛附着物可以得到去除，同时启动抽水泵工作，配合上水管以及第一管道接头的作用将冷却水抽取至蛇形冷却水管内，配合传导板的作用，可以对ho(双氧水)与nhoh(氨水)两种混合在一起的药液进行冷却降温，使得ho(双氧水)与nhoh(氨水)两种混合在一起的药液始终可以保持能够去除氮化钛附着物的反应状态，不需要反复的调配新药液对工件进行浸泡，也可以节省ho(双氧水)与nhoh(氨水)两种药液的使用量，然后启动增压泵工作，配合增压管、回流管以及第二管道接头的作用可以将冷却水再次抽取至储水箱内，可以对冷却水进行循环利用，达到循环制冷的效果。

12、下面结合附图对本技术的具体实施方式作进一步详细的描述。

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【技术保护点】

1.一种用于药液浸泡槽的循环制冷装置，其特征在于，包括：

2.根据权利要求1所述的一种用于药液浸泡槽的循环制冷装置，其特征在于，所述基板(1)顶部两侧外壁固定连接有对称设置的支撑板(9)，两个所述支撑板(9)顶端对称固定在浸泡槽(2)底部两侧外壁上。

3.根据权利要求1所述的一种用于药液浸泡槽的循环制冷装置，其特征在于，所述基板(1)顶部外壁固定安装有抽水泵(14)，所述抽水泵(14)进水口通过管道与储水箱(3)相连通。

4.根据权利要求3所述的一种用于药液浸泡槽的循环制冷装置，其特征在于，所述浸泡槽(2)一侧开设有第二通孔，且第二通孔内壁固定连接有上水管(4)，所述上水管(4)右端与第一管道接头(11)相连接。

5.根据权利要求4所述的一种用于药液浸泡槽的循环制冷装置，其特征在于，所述上水管(4)为门形结构，且上水管(4)底端连接在抽水泵(14)的出水口上。

6.根据权利要求1所述的一种用于药液浸泡槽的循环制冷装置，其特征在于，所述浸泡槽(2)底部开设有矩形安装口，所述安装腔(10)与矩形安装口相通，且矩形安装口内壁固定连接有传导板(5)，所述传导板(5)底部外壁与蛇形冷却水管(12)的顶部外壁相接触。

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【技术特征摘要】

1.一种用于药液浸泡槽的循环制冷装置，其特征在于，包括：

2.根据权利要求1所述的一种用于药液浸泡槽的循环制冷装置，其特征在于，所述基板(1)顶部两侧外壁固定连接有对称设置的支撑板(9)，两个所述支撑板(9)顶端对称固定在浸泡槽(2)底部两侧外壁上。

3.根据权利要求1所述的一种用于药液浸泡槽的循环制冷装置，其特征在于，所述基板(1)顶部外壁固定安装有抽水泵(14)，所述抽水泵(14)进水口通过管道与储水箱(3)相连通。

4.根据权利要求3所述的一种用于药液浸泡槽的循环制冷装置，其特征在于，所述浸泡...

【专利技术属性】
技术研发人员：胡情华，刘芳亮，唐文璇，
申请(专利权)人：南京京胜科技有限公司，
类型：新型
国别省市：