一种硅片涂胶机的硅片旋转装置制造方法及图纸

本实用新型专利技术涉及硅片涂胶机技术领域，公开了一种硅片涂胶机的硅片旋转装置，包括底座和安装板，安装板位于底座上方，且安装板于底座之间固定安装有四个相互对称的伸缩杆，且底座上方四周有滑动机构，滑动机构包括滑槽和第一滑块，两个滑槽分别开设于底座上，且相互对称，两个滑槽内腔均滑动安装有两个相互对称的第一滑块。本实用新型专利技术，当硅片一面涂胶完毕时，此时通过启动第一电机带动转杆进行旋转，使得第一夹持板能够在硅片的带动下使得第二夹持板一起旋转，从而使得能够将硅片进行换面，在通过启动第二电机使其能够带动旋转机构和转动机构相互配合，从而使得旋转板能够进行旋转，而在旋转板上放上涂胶，从而使其能够对硅片一侧进行均匀的涂胶。侧进行均匀的涂胶。侧进行均匀的涂胶。

【技术实现步骤摘要】
一种硅片涂胶机的硅片旋转装置


[0001]本技术属于硅片涂胶机
，具体地说，涉及一种硅片涂胶机的硅片旋转装置。

技术介绍

[0002]经检索CN217342145U公开了一种硅片涂胶机的硅片旋转装置，该硅片涂胶机的硅片旋转装置，包括工作台，所述工作台上设置有竖直贯通的安装孔，所述安装孔内活动安装旋转轴，所述旋转轴的上端固定安装有用于吸附支撑硅片的片托，所述片托包括一个金属的支撑托体，所述支撑托体上安装有微孔陶瓷承托体，所述微孔陶瓷承托体设置有负压腔室，所述负压腔室与负压装置之间连通；所述工作台底部设有控制旋转轴旋转的旋转动力装置和控制旋转轴升降的升降装置；所述工作台上设置有至少三个用于支撑硅片的支撑柱，所述片托上设置有方便支撑柱贯穿的贯穿孔，该装置通过使用微孔陶瓷承托体使硅片平整吸附在片托上进行涂胶，吸附力在整个平面均匀分布，不会产生变形，使生产的芯片成品率更高。
[0003]但是经本专利技术人探索发现该技术方案仍然存在至少以下缺陷：
[0004]根据上述一种硅片涂胶机的硅片旋转装置其虽然能够对硅片进行旋转涂胶，但是现实生本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种硅片涂胶机的硅片旋转装置，包括底座(1)和安装板(10)，其特征在于，所述安装板(10)位于底座(1)上方，且安装板(10)于底座(1)之间固定安装有四个相互对称的伸缩杆(11)，且底座(1)上方四周有滑动机构，所述滑动机构包括滑槽(12)和第一滑块(13)，两个所述滑槽(12)分别开设于底座(1)上，且相互对称，两个所述滑槽(12)内腔均滑动安装有两个相互对称的第一滑块(13)，四个所述第一滑块(13)两两上方均固定安装有挡板(2)，两个所述挡板(2)相对的一侧壁设置有驱动机构，且驱动机构另一端固定安装有第一夹持板(5)，所述第一夹持板(5)于底座(1)中间垂直对称设置有第二夹持板(7)，且第二夹持板(7)远离第一夹持板(5)的一侧壁固定安装有旋转杆(8)，所述旋转杆(8)另一端活动安装于挡板(2)上，所述第一夹持板(5)和第二夹持板(7)中间均开设有卡槽(6)。2.根据权利要求1所述的一种硅片涂胶机的硅片旋转装置，其特征在于，所述底座(1)上方中间设置有旋转机构，所述旋转机构包括第二电机(14)，所述第二电机(14)设置于底座(1)上，且第二电机(14)上方输出端固定安装有螺纹丝杆(15)，所述螺纹丝杆(15)上啮合安装有螺纹套管(16)，且螺纹套管(16)上固定安装有呈圆...

【专利技术属性】
技术研发人员：胡情华，刘芳亮，唐文璇，
申请(专利权)人：南京京胜科技有限公司，
类型：新型
国别省市：