下载一种硅片涂胶机的硅片旋转装置的技术资料

文档序号:38838232

温馨提示:您尚未登录,请点 登陆 后下载,如果您还没有账户请点 注册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。

本实用新型涉及硅片涂胶机技术领域,公开了一种硅片涂胶机的硅片旋转装置,包括底座和安装板,安装板位于底座上方,且安装板于底座之间固定安装有四个相互对称的伸缩杆,且底座上方四周有滑动机构,滑动机构包括滑槽和第一滑块,两个滑槽分别开设于底座上,且...
该专利属于南京京胜科技有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过南京京胜科技有限公司授权不得商用。

详细技术文档下载地址

温馨提示:您尚未登录,请点 登陆 后下载,如果您还没有账户请点 注册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。