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一种硅片涂胶机的硅片旋转装置制造方法及图纸
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下载一种硅片涂胶机的硅片旋转装置的技术资料
文档序号:38838232
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本实用新型涉及硅片涂胶机技术领域,公开了一种硅片涂胶机的硅片旋转装置,包括底座和安装板,安装板位于底座上方,且安装板于底座之间固定安装有四个相互对称的伸缩杆,且底座上方四周有滑动机构,滑动机构包括滑槽和第一滑块,两个滑槽分别开设于底座上,且...
该专利属于南京京胜科技有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过南京京胜科技有限公司授权不得商用。
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