本发明提供一种升降旋转结构及方法，属于升降旋转结构技术领域，结构包括：旋转座和花键轴；所述花键轴可转动地滑动设置在所述旋转座中，顶端延伸至所述旋转座上方与固定设置在所述旋转座上的升降气缸的活塞杆连接，通过所述升降气缸实现上下滑动；所述花...

本申请提供了一种基于多参数的晶圆片研磨控制方法及系统，涉及半导体加工技术领域，该方法包括：当前置盘面距离波动曲线和距离预测波动曲线的相似系数大于或等于系数阈值，根据研磨设备型号、晶圆片型号、研磨控制参数和环境温度，通过预测模块生成后置温...

本发明涉及硅片加工技术领域，且公开了一种硅片加工用洗烘一体化装置及其使用方法，包括主体和水气接头，水气接头固定连接在主体顶部，主体内壁固定连接有两个环形圈，还包括扰流机构，扰流机构设置在主体内部，扰流机构包括有旋转筒，旋转筒转动连接在主...

本实用新型公开了一种研磨机动力传动结构，涉及研磨传动设备技术领域，包括动力箱，所述动力箱上设有立座，所述动力箱上设有上盘驱动轴、中心齿轴和下盘主轴，所述立座外设有齿圈轴，所述动力箱上设有转轴，所述齿圈轴通过传动机构与转轴连接，所述动力箱...

本实用新型涉及硅片抛光领域，涉及一种硅片切口抛光装置，本实用新型包括底座、转动组件和抛光组件，转动组件包括左轴承座、右轴承座、伺服电机、旋转板和真空吸附台，左轴承座通过左转轴转动设置于底座左侧，右轴承座通过右转轴转动设置于底座右侧，旋转...

本实用新型提供一种自动传送工件上蜡机，属于打蜡机技术领域，包括：机架；所述机架上设置有加热盘和冷却盘；所述加热盘或所述冷却盘上设置有安装盘；所述安装盘通过自动传送机构实现在所述加热盘和所述冷却盘之间的传送；所述自动传送机构包括支撑架、升...

本实用新型提供一种新型盘形平坦度测量工具，属于平坦度测量工具技术领域，包括：固定座、工具本体、底板、定位垫座；所述固定座的数量为两个，分别固定于所述工具本体两端；所述底板固定于所述固定座底部，其上开设有若干螺孔；所述定位垫座螺纹连接于所...

本实用新型提供一种新型机载自动毛刷系统，属于研磨抛光机技术领域，包括：底板、水平移动机构、L型板、竖直移动机构、毛刷盘；所述L型板通过所述水平移动机构可移动地设置于所述底板上；所述毛刷盘通过所述竖直移动机构可升降地安装于所述L型板上，且...

本实用新型提供一种新型重物取放机械臂，属于修正轮取放设备技术领域，包括：固定立柱、悬臂、电机、牵引绳、旋转卡扣；所述悬臂可转动地连接在所述固定立柱顶部，一端部固定设置有所述电机；所述电机竖直布置，输出轴向上通过联轴器连接固定于所述悬臂端...

本实用新型涉及真空吸附盘领域，涉及一种真空吸附抓盘，本实用新型包括：固定座、前臂、后臂和真空吸附盘，所述前臂后端转动设置于固定座上，所述后臂后端转动设置于前臂的前端，所述前臂前端设有固定后臂转动的限位组件，所述真空吸附盘固定于后臂前端，...

本实用新型涉及修盘机领域，涉及一种带有可调节支臂的修盘机，本实用新型包括：长支臂横梁、固定支臂、可调节支臂、调节座、中心固定座和工作单元，所述中心固定座固定于长支臂横梁中部，所述固定支臂固定于长支臂横梁左侧，所述调节座固定于可调节支臂中...

本实用新型提供一种便于重型圆形工件操作和清洗的移动小车，属于修正轮搬运技术领域，包括：底板、侧板、挡板、防滑落挡板；所述底板底部设置有车轮；所述侧板竖直设置于所述底板上，且位于所述底板一端部；所述挡板为若干块，均布地设置于所述底板上，一...

本实用新型涉及硅片抛光领域，涉及一种硅片边缘抛光装置，本实用新型包括上转盘、下转盘、吸附台、上抛离心组件、下抛离心组件和圆周抛离心组件，上转盘通过支撑柱与下转盘连接，吸附台设置于上转盘与下转盘之间，吸附台上吸附有硅片，上抛离心组件安装于...

本实用新型提供一种新型抛光研磨桶单元，属于抛光研磨桶技术领域，包括：搬运单元、抛光研磨桶、沥水放置单元；所述搬运单元包括底板和设置于所述底板底部的搬运轮；所述抛光研磨桶设置于所述底板上，包括桶体和桶盖；所述桶盖配合设置于所述桶体上，且所...

本实用新型涉及钻石液供液领域，涉及一种钻石液供液装置，本实用新型包括：桶体、桶盖和供液组件，所述桶盖设置于桶体上端，所述供液组件包括连接头和供液硬管，所述连接头设置有四组且间隔设置于桶盖顶部，所述供液硬管穿过桶盖且上端与对应的连接头连接...

本发明涉及晶圆加工技术领域，具体公开了一种带压力传感系统的晶圆研磨抛光机，包括压力传感系统，其包括数据获取单元和数据分析单元，数据获取单元用于接收加工过程中与抛光垫接触的晶圆侧壁对载具产生的压力参数以及其他相关参数；数据分析单用于对压力...

本实用新型提供一种分段式斜坡桶体偏心搅拌桶，属于搅拌桶技术领域，包括：搅拌桶体、搅拌电机、横梁、立柱、基座；所述基座固定设置在所述搅拌桶体两侧，包括多组呈直线布置的螺纹孔；所述立柱底部通过螺栓固定连接在所述基座上；所述横梁两端分别与两根...

本发明涉及晶圆加工技术领域，公开了一种晶圆研磨抛光系统，包括执行系统和控制系统，所述执行系统包括支撑组件，所述支撑组件的上方设有转动组件，所述转动组件的上方设有研磨组件，所述研磨组件的上方设有抛光组件，所述研磨组件的侧方设有抛光液添加组...

本发明公开了一种研磨抛光机，属于抛光机技术领域，包括底座，底座上设有限位槽，限位槽内滑动连接有立板，立板上还设有一安装轴，安装轴的另一端设有对壳体内壁进行支撑或者抛光的第一处理机构，立板上位于第一处理机构的下方设有一接灰机构，底座上位于...

本发明提供一种可调节偏心距离的分段式斜坡桶体偏心搅拌桶，属于搅拌桶技术领域，包括：桶体、搅拌轴；所述桶体底部呈分段式斜坡结构；所述搅拌轴设置在所述桶体内部，且所述搅拌轴可相对所述桶盖移动；所述搅拌轴上设置有若干可伸缩搅拌桨叶。本发明采用...