本申请涉及一种半导体搬运设备的定位方法、装置、计算机设备、可读存储介质和计算机程序产品。方法包括：根据搬运设备在当前定位周期的运动特征，计算其在当前定位周期的行驶里程数据；根据运动特征，确定传感定位数据在当前定位周期内的预测变化量；获取...

本申请涉及一种搬运设备岔路控制方法、装置和设备。所述方法包括：接收第一搬运设备发送的路权申请；在基于所述路权申请确定所述第一搬运设备出弯后经过所述目标类型轨道的情况下，获取各第二搬运设备的位置，所述目标类型轨道为轨道长度小于所述第一搬运...

本申请涉及一种半导体搬运设备运动控制方法、装置、计算机设备、计算机可读存储介质和计算机程序产品。方法包括：获取物流搬运设备的当前运动特征以及目标运动轨迹；根据当前运动特征从目标运动轨迹中确定物流搬运设备的目标轨迹点；根据目标轨迹点在目标...

本申请涉及一种半导体搬运设备运动控制方法、装置、半导体搬运设备运动控制设备、计算机可读存储介质和计算机程序产品。方法包括：接收针对搬运设备的路径规划数据，确定路径控制点对于待生成运动曲线的影响规则在待生成运动曲线的曲线生成进度控制参数的...

本申请涉及一种半导体搬运设备运动控制方法、装置和计算机设备。方法包括：获取搬运设备的实时行驶状态；若实时行驶状态表征直线行驶状态，分别获取搬运设备的第一轮以及第二轮的累计行驶里程；第一轮与所述第二轮设置于所述搬运设备的不同侧；根据第一轮...

本申请涉及一种晶圆搬运装置控制方法、系统及半导体制造搬运系统。方法包括：在晶圆搬运装置响应于第一命令，执行当前任务，将晶圆盒搬运到当前放货点的过程中，获取到第二命令，第二命令用于指示控制晶圆搬运装置搬运晶圆盒至目标放货点；响应于第二命令...

本申请涉及一种智能设备的模式切换方法、装置、计算机设备、存储介质和计算机程序产品。应用于智能机台，智能机台用于存放晶圆传送盒，方法包括：响应于触发的模式切换操作，启动检测程序；通过检测程序，检测目标传感器的状态；在状态符合模式切换条件的...

本申请提供了一种半导体存储系统及载具调度控制方法。包括至少一个塔式存储库以及两个并列设置的传送装置；传送装置包括固定框架；多个载具放置位固定设置于固定框架上，用于接收和/或暂存晶圆盒；双直线导轨固定设置于固定框架上且位于多个载具放置位的...

本申请涉及一种天车轨道清洁设备，能够对天车轨道中的多个清洁对象进行清洁，包括：行走装置，用以在天车轨道的轨道面行走；清扫装置，用以放置在天车轨道的轨道面，与所述行走装置连接且位于行走装置的行走方向的一侧，所述清扫装置包括第一刷吸部件、第...

本发明提供了一种半导体存储设备的防掉落装置和提升设备。该防掉落装置包括固定齿板和安装于传动带上的防掉落机构，固定齿板平行于传动带，且齿面朝向防掉落机构设置；防掉落机构包括安装座、弹性件、移动板和固定杆，安装座固设于传动带上，且通过传动带...

本发明提供了应用于半导体存储系统的提升装置，包括：外围由封板合围而成的容纳空间、主动轮和从动轮、以及设于容纳空间内部的传动带、连接机构、配重机构和立柱；从动轮和主动轮分布于容纳空间的上下两侧，且均与传动带连接形成传动结构；传动带包括第一...

本申请涉及一种半导体制造系统中搬运设备仿真方法和装置。所述方法包括：接收上位系统发送的搬运指令，并基于所述搬运指令以及预先加载的虚拟仿真环境确定目标路径；基于所述目标路径调用所述搬运设备模拟器对应的第一运行轴的运行逻辑，控制所述搬运设备...

本申请涉及一种半导体制造系统全在环仿真方法和装置。所述方法包括：接收仿真任务；通过复用实际软件，对所述仿真任务对应的各搬运任务进行处理，以调度硬件模拟器，所述硬件模拟器是通过配置的方式复现实际硬件的特性；通过所述硬件模拟器执行所述搬运任...

本申请涉及一种自动化物料搬运系统的监控方法、装置、计算机设备、可读存储介质和程序产品。该方法包括：获取目标系统的布局配置文件；对所述布局配置文件进行解析，得到所述目标系统中至少一个候选监控对象的初始配置参数；所述候选监控对象包括物料搬运...

本申请涉及一种晶圆搬运装置控制方法、装置和系统。所述方法应用于晶圆搬运装置控制系统，所述晶圆搬运装置控制系统连接至少一个所述晶圆搬运装置，包括：接收第一搬运指令，解析所述第一搬运指令得到晶圆盒第一信息、晶圆盒当前位置以及目的地；基于所述...

本技术提供一种搬运治具以及包括该搬运治具的吊装搬运设备，所述搬运治具应用于吊装搬运设备中并包括治具本体和搬运部，所述治具本体上设有用于检测所述治具本体是否到达预定位置的到位检测组件，所述搬运部上设有用于检测所述搬运部上是否装载有目标物料...

本申请涉及一种调试治具、空中轨道调试及测量系统，能够调试及测量弯导向条与内侧弯轨元件之间的间距，其中所述调试治具用以调整第一弯曲对象和第二弯曲对象之间的间距；所述调试治具包括：第一安装底座，配置为可拆卸地固定于所述第一弯曲对象，所述第一...

本发明提供了一种横移装置、输送系统及其应用。该横移装置使处于同一高度的两条相互平行且间隔设置的输送线相互连通，横移装置包括横移单元；横移单元能够在两条输送线之间的垂线上移动；横移装置包括第一磁性阻挡机构和第二磁性阻挡机构，第一磁性阻挡机...

本申请涉及一种半导体制造系统中仿真监控方法和装置。所述方法包括：接收仿真任务，所述仿真任务携带有搬运设备的数量；基于所述仿真任务调用预先配置的各监控服务，每一所述监控服务与所述半导体制造系统中一仿真子系统对应；通过所述监控服务调用各所述...

本申请涉及一种半导体制造系统中制造执行系统仿真方法、装置和设备。所述方法包括：获取虚拟环境地图，所述虚拟环境地图包括至少两个制程区域，每个所述制程区域包括至少一个Bay区域，每个所述Bay区域包括至少一个设备；基于所述虚拟环境地图中的所...