本技术提供一种堆垛机行走箱及包含该行走箱的堆垛机，该行走箱包括底板以及安装于底板顶面的箱体，底板的底面用于安装沿箱体的长度方向延伸、并与地面上的直线导轨配合的多个滑块；箱体包括沿长度方向紧邻设置的第一箱区及第二箱区；第一箱区内用于安装带...

本说明书实施例提供一种晶圆盒夹爪装置及空中运输车，包括基板和两组夹爪机构，两组夹爪机构可相对于基板移动，基板上安装有驱动组件，驱动组件带动两组夹爪机构相互靠近或远离，以使得两组夹爪机构之间的距离增大或减小，基板顶部沿着远离基板方向依次设...

本申请提供一种皮带定位开孔工装，涉及开孔工装的技术领域，其包括工装框架、压装驱动组件、压装模具组件及压装定位组件；压装模具组件与压装驱动组件连接，包括上模、下模、弹性复位件、冲针、限位部及冲模孔，冲模孔用于供冲针通过；压装定位组件包括开...

本申请提供一种防侧倾装置及OHT小车，涉及物料搬运系统技术领域，其包括基板、滑移组件、驱动件及传动组件；滑移组件包括导轨和两个滑动件，两个滑动件滑动连接于导轨；传动组件包括丝杠机构、丝杠螺母及传动件；丝杠机构包括第一螺纹部和第二螺纹部，...

本申请提供一种OHT悬挂式提升系统及其升降平台组件、防溜车机构，应用于半导体加工设备技术领域，其中防溜车机构包括锁止部和解锁部，锁止部设置于升降平台侧，解锁部与锁止部位于同侧方向；在无外力作用下，锁止部自动从解锁工作状态切换至锁止工作状...

本申请提供一种行走装置及空中运输车，应用于天车技术领域，包括基板、驱动电机和拨动机构，基板联接有两行进轮，驱动电机被配置为可驱动两行进轮转动；基板连接有驱动支架，驱动支架顶部设置有滑动件和限位挡块，滑动件被配置为可在支架顶部往复滑动，限...

本发明提供了一种多车跟行调度方法、装置和存储介质，属于晶圆运输控制领域，具体包括通过行进车辆上的监测设备实时获取单行直线路段内当前行进车辆与邻近车辆的实时测距数值；将所述两辆相邻行进车辆确定为关联车辆；基于规划的行走模式获取关联车辆中至...

本申请提供一种空中运输车及其行进控制系统，应用于半导体搬运设备技术领域，其中行进控制系统包括第一控制器和第二控制器，第一控制器和第二控制器均设置于空中运输车中；第一控制器与上位系统通信连接，接收所述上位系统下发的运输指令，并根据运输指令...

本申请提供一种用于OHT小车的测试工装，涉及OHT调试装置领域，其包括测试框架、定位锁定装置、传感器测试装置、取放料基准测试装置及测试轨道；测试轨道用于承载OHT小车；定位锁定装置连接于测试轨道，测试轨道上设有测试工位，定位锁定装置用于...

本申请涉及一种晶圆盒的转运装置、转运系统及转运方法，用于供晶圆处理设备与空中运输车交换晶圆盒，其中转运装置包括机台和机械手模组，机台沿Y向设有天车对接口和设备对接口，天车对接口包括沿X向间隔设有至少两个上料工位；机械手模组，包括平移机构...

本申请提供一种空中运输车悬挂式提升系统，应用于半导体搬运设备技术领域，其中空中运输车悬挂式提升系统包括：顶棚安装组件固定安装于顶棚下表面，升降提升组件和对接轨道安装于顶棚安装组件中，升降提升组件通过柔性皮带的收放控制升降平台组件的升降，...

本申请提供一种洁净设备接口电路及采样控制系统，应用于半导体制造设备技术领域，其中洁净设备接口电路包括相互通信连接的一级控制电路和二级控制电路，二级控制电路包括若干接口，这些接口用于向外部电路提供通信连接接口，一级控制电路能够一对多地与二...

本申请提供一种OHT悬挂式提升系统及其升降平台组件、无线取电组件，应用于半导体搬运设备技术领域，其中无线取电组件包括：取电器、供电电缆和若干支架，取电器安装于OHT悬挂式提升系统一侧，以跟随OHT悬挂式提升系统进行升降，供电电缆和若干支...

本申请提供一种应用于晶圆盒净化系统的排气装置及装载设备，涉及半导体处理设备的领域，其包括气嘴本体，气嘴本体包括贴合部及基部；贴合部开设有贴合内腔及导气通道；贴合内腔的直径和贴合部外壁的直径均从第一端到第二端增大，且贴合内腔和贴合部外壁之...

本申请提供一种轨道对接防坠落机构

本申请提供一种双层行进轨道系统及自动物料搬运系统，应用于自动物料搬运系统技术领域，其中双层行进轨道系统包括：第一轨道

本申请提供一种

本申请提供一种

本申请提供一种

本申请提供一种空中运输车轨道对接方法及防溜车对接机构