本技术涉及漏真空检测领域，公开了一种屏蔽袋漏真空检测箱，包括机架、第一电动伸缩杆、第一连接架、第二电动伸缩杆、第二连接架、第一壳体、第一腔体、第二腔体、第三腔体、第一单向阀、第二单向阀、电子气压计、第一挡块、通孔、连杆和活塞；本技术利用...

本技术属于半导体生产设备技术领域，具体涉及一种悬浮式导轨，包括支撑组件，所述支撑组件包括调节柱，所述调节柱上镜像连接有轨道侧板，所述轨道侧板和调节柱之间通过螺纹配合的方式进行连接，所述轨道侧板的侧面开设有卡位槽，所述卡位槽内贯穿开设有通...

本技术公开了一种防止芯片粘附的吸嘴，属于半导体生产领域，包括悬梁臂和橡胶吸嘴，所述悬梁臂端部垂直安装有取料臂，所述取料臂底部可拆卸式安装有安装杆，所述安装杆内部与取料臂贯通，所述安装杆底部设置有限位台，所述限位台下表面设置有对接头，所述...

本发明提供一种晶圆检测装置及其检测方法，涉及一种检测结构，包括一组安装有多组定位治具的转盘，定位治具包括有载盘、转杆和三组抱杆，载盘置于治具平台上，三组抱杆由驱动装置驱动以对晶圆进行抱夹定位，其中转盘旋转至上料位，用于筛选出合格直径尺寸...