本技术公开了一一种用于等离子刻蚀的夹紧装置，涉及光电技术领域，旨在解决方便对硅片夹紧的技术问题。其技术方案要点是：包括下夹板与上夹板，所述下夹板的两侧壁设置有竖直的支杆，所述支杆的开设有贯穿其顶部的滑动槽，所述滑动槽内滑动连接有滑动杆，...

本技术公开了一种用于晶圆加工的提升机构，涉及晶圆提升设备技术领域，旨在解决晶圆稳定提升的技术问题。其技术方案要点是：包括工作台，所述工作台表面沿其水平方向滑动连接有滑座，还包括用于驱动滑座的驱动组件，所述滑座表面设置有置料盘，所述工作台...

本技术公开了一种用于RTP工艺中的压力调节装置，涉及半导体生产技术领域。其技术方案要点是：包括RTP工艺室，其依次连接有氧气传感器与真空泵，位于氧气传感器与真空泵之间设置有流量调节机构。本技术的目的在于提供一种用于RTP工艺中的压力调节...

本技术公开了一种晶圆承载托架，涉及承载托架技术领域。其技术方案要点是：包括底座，所述底座包括呈正多边形的底板，所述底板周侧的每个侧边均设置有竖直设置的侧板，所述侧板均开设有滑槽并滑动连接有托盘，所述托盘底部靠近底板中心的一端设置有导向块...

本技术涉及刻蚀腔室的领域，公开了用于金属干法刻蚀设备的刻蚀腔室，包括刻蚀箱，所述刻蚀箱的一侧开设有加工槽，所述加工槽的内部可拆卸的设置有活动板，所述活动板的顶面开设有固定槽，所述固定槽的内部底面固定有驱动电机，所述驱动电机的输出轴固定有...

本技术公开了一种用于芯片的清洗装置，涉及芯片清洗设备技术领域，旨在解决对芯片的无伤清洗的技术问题。其技术方案要点是：包括清洗筒，所述清洗筒内的底部内壁转动连接有转动轴，所述转动轴上可拆卸连接有置料架，所述清洗筒内设置有用于驱动转动轴的电...

本技术公开了一种用于晶圆的保护夹具，涉及晶圆夹具技术领域，旨在解决晶圆保护的技术问题。其技术方案要点是：包括下定位环，所述下定位环的表面沿其圆周内壁开设有用于放置晶圆的凹槽，所述下定位环的表面还设置有上定位环，所述上定位环能够下表面能够...

本技术公开了一种用于晶圆的快速热处理设备，涉及晶圆热处理设备技术领域，旨在解决进气均匀度较差的技术问题。其技术方案要点是：包括热处理外壳与设置于热处理外壳内的置料架，所述热处理外壳内部设置有加热装置，所述热处理外壳的顶部开设有用于放入置...

本技术公开了一种用于晶圆的定位装置，涉及晶圆定位装置技术领域，旨在解决晶圆稳定定位的技术问题。其技术方案要点是：包括底板，所述底板的两侧设置有朝向外侧倾斜的侧板，所述侧板的内侧表面均匀设置有若干挡板，所述挡板之间形成有用于放置晶圆的放置...

本技术涉及电介质刻蚀机设备的领域，公开了一种气体分配器，包括分配板，所述分配板的顶面开设有分配腔，所述分配腔的内部底面开设有若干个分配孔，若干个所述分配孔的内部分别设有若干个导流块，所述导流块的外壁开设有若干个分流槽，所述导流块的底面开...

本技术涉及刻蚀槽的领域，公开了一种湿法刻蚀槽，包括刻蚀槽主体，刻蚀槽主体的顶面固定有两个第一气缸，第一气缸伸缩杆的一端贯穿刻蚀槽主体的顶面，第一气缸伸缩杆的一端固定有喷气嘴，刻蚀槽主体的上方设置有两个气泵，刻蚀槽主体的一侧设置有两个水泵...

本技术涉及晶圆加工的领域，公开了一种晶圆清洗装置，包括清洗箱，所述清洗箱的上方设有移动架，所述移动架的内壁固定有若干个支撑杆，每个所述支撑杆的顶面分别开设有活动孔，每个所述支撑杆的上方分别设有两个活动柱，上方的所述活动柱的顶面与移动架的...

本技术公开了一种多尺寸晶圆刻蚀托盘装置，涉及晶圆托盘技术领域，旨在解决使用范围小的技术问题。其技术方案要点是：包括底板，所述底板的上方设置有托盘，所述托盘表面开设有放置槽，所述底板表面设置有连接杆，所述托盘开设有供连接杆穿设的连接槽，还...

本技术涉及半导体的领域，公开了一种介质窗加热装置，包括底座，所述底座的一侧固定有PLC控制器，所述底座的顶面固定有两个支撑块，所述支撑块的顶面开设有放置槽，所述放置槽的内部底面固定有加热板，所述加热板的顶面固定有若干个金属条，所述放置槽...

本实用新型涉及换热器的领域，公开了用于刻蚀机的微控换热器，包括固定壳体，固定壳体，的内部固定有若干个导热板，导热板的顶面固定有顶板，导热板的顶面开设有若干个热介质流道，导热板的顶面开设有若干个冷介质流道，若干个热介质流道与若干个冷介质流...

本发明公开了一种具有水平度自动调节装置的等离子刻蚀设备，涉及刻蚀设备技术领域，旨在解决水平度调节的技术问题。其技术方案要点是：包括水平度调整平台与刻蚀机本体，水平度调整平台包括用于放置刻蚀机本体的底座，底座的两端设置竖直的第一支杆与第二...

本发明涉及晶圆转运的领域，公开了一种具有水平校准功能的晶圆转运装置，包括转运块，所述转运块的一侧开设有存放孔，所述存放孔的内部转动设置有储存箱，所述存放孔的内壁面开设有滑轨凹槽，所述储存箱的两侧分别固定有连接杆，所述储存箱的底面固定有支...