【技术实现步骤摘要】
本技术涉及晶圆定位装置，更具体地说，它涉及一种用于晶圆的定位装置。
技术介绍
1、在半导体集成电路生产制造中，为了确保晶圆的安全储存、搬迁并避免破损和污染，广泛运用晶圆匣作为晶圆的承载以及运输工具。参照图1，图1显示的是现有技术中的晶圆匣及承载在其内部的晶圆的三维结构示意图。图1中，包括晶圆匣1，其上端开口且包含有两个彼此相对的侧板101；所述侧板上设有若干贯通于所述开口且横向层叠的槽位102；所述两个侧板上的槽位两两对应并用于承载晶圆103；所述晶圆103在手动传送至所述晶圆匣中 时，正常情况下所述晶圆被插入图1中左右两个侧板上两两对应的槽位中，所谓两两对应的槽位指的是图1中，左右两个侧板上能够使晶圆在同一平面内的两个对应的槽位。
2、上述技术方案中将晶圆放置于对应的槽位内可以有效保证晶圆在水平方向上的稳定性，但是若在运输或其它震动情况下，其在垂直方向上的稳定性难以保证，晶圆易发生震动，甚至从槽位内颠出，对晶圆造成损坏。
3、因此亟需一种新的技术方案来解决上述技术问题。
技术实现思路
1、针对现有技术存在的不足，本技术的目的在于提供一种用于晶圆的定位装置。
2、本技术的上述技术目的是通过以下技术方案得以实现的：一种用于晶圆的定位装置，包括底板，所述底板的两侧设置有朝向外侧倾斜的侧板，所述侧板的内侧表面均匀设置有若干挡板，所述挡板之间形成有用于放置晶圆的放置槽，所述挡板沿水平方向开设有通槽，所述通槽内穿设有用于对晶圆起到定位作用的定位杆。
...【技术保护点】
1.一种用于晶圆的定位装置，其特征在于：包括底板，所述底板的两侧设置有朝向外侧倾斜的侧板，所述侧板的内侧表面均匀设置有若干挡板，所述挡板之间形成有用于放置晶圆的放置槽，所述挡板沿水平方向开设有通槽，所述通槽内穿设有用于对晶圆起到定位作用的定位杆。
2.根据权利要求1所述的一种用于晶圆的定位装置，其特征在于：所述定位杆的一端设置有抵接板，其另一端设置有螺杆，所述螺杆上螺纹连接有螺母。
3.根据权利要求1所述的一种用于晶圆的定位装置，其特征在于：所述定位杆朝向晶圆的侧壁呈抵接于晶圆一侧的第一圆弧凹面，所述第一圆弧凹面的表面设置有第一弹性垫。
4.根据权利要求1所述的一种用于晶圆的定位装置，其特征在于：所述底板的表面开设有凹槽，所述凹槽内沿竖直方向滑动连接有定位底座，所述凹槽的底部与底座的下表面设置有若干弹簧，所述定位底座的表面呈抵接于晶圆底部的第二圆弧凹面。
5.根据权利要求4所述的一种用于晶圆的定位装置，其特征在于：所述第二圆弧凹面内设置有第二弹性垫。
6.根据权利要求4所述的一种用于晶圆的定位装置，其特征在于：所述定位底
...【技术特征摘要】
1.一种用于晶圆的定位装置，其特征在于：包括底板，所述底板的两侧设置有朝向外侧倾斜的侧板，所述侧板的内侧表面均匀设置有若干挡板，所述挡板之间形成有用于放置晶圆的放置槽，所述挡板沿水平方向开设有通槽，所述通槽内穿设有用于对晶圆起到定位作用的定位杆。
2.根据权利要求1所述的一种用于晶圆的定位装置，其特征在于：所述定位杆的一端设置有抵接板，其另一端设置有螺杆，所述螺杆上螺纹连接有螺母。
3.根据权利要求1所述的一种用于晶圆的定位装置，其特征在于：所述定位杆朝向晶圆的侧壁呈抵接于晶圆一侧...
【专利技术属性】
技术研发人员：苏竑森，管士亚，
申请(专利权)人：嘉芯闳扬半导体设备科技浙江有限公司，
类型：新型
国别省市：
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