本实用新型公开了一种半导体芯片制造专用激光退火设备，涉及激光退火技术领域，具体包括底板，底板上表面的两侧均开设有滑槽，底板通过滑槽滑动连接有连接件，连接件一侧表面的中部活动安装有丝杆，丝杆的中部螺纹连接有安装模组，连接件一侧表面的两侧固...

本实用新型公开了一种微电子半导体厂用CMP废水高效回收装置，涉及废水处理技术领域，包括底座，底座上表面的一侧固定连接有过滤箱，底座上表面的中部固定连接有电解箱，底座上表面的另一侧固定连接有净化箱，电解箱上表面的一侧设置有电机，电机的输出...

本实用新型公开了一种能够兼容多尺寸晶圆花篮的底座，包括：底板，在底板上滑动设置有两块结构、大小均相同的左卡板和右卡板，在左卡板与右卡板之间留有可变间隙，在可变间隙中可设卡置有卡块，在左卡板和右卡板上均设置有若干台阶壁，在靠近各台阶壁的底...

本实用新型公开了一种高粘度高效输胶泵，包括：泵体，在泵体的左右侧壁上分别设置有进料口和出料口，在进料口和出料口上分别设置有一个压力密封阀，在泵体中滑动设置有由聚四氟乙烯制成的软活塞，在软活塞的顶部设置有连接槽，在连接槽中镶嵌有连接件，在...

本实用新型公开了一种在注入机上优化的寻边传感装置，包括：机架，在机架上设置有注入器与旋转托盘，旋转托盘与电机转轴相连，在电机转轴上固定连接有金属圆盘，在金属圆盘上开设有一个平口，在机架上设置有升降机构，在升降机构上设置有寻边传感装置，所...

本实用新型涉及取料装置技术领域，具体为一种用于芯片制造的光刻机光刻版取料装置，包括光刻机主体，所述光刻机主体的一端滑动连接有闭合门。用户取下硅片时，推动料门，料门打开，通过伺服电机、齿轮和齿板可使得料架移动，可将刻制座推至光刻机主体的外...

本实用新型公开了一种半导体微电子芯片制造生产用清洗腐蚀自动提动装置，涉及电子产品加工技术领域，包括包括底座，所述底座中部两侧均固定连接有固定柱，所述底座上端均固定连接在顶板一端，所述底座另一端两侧均固定连接有固定板，所述固定板上端均固定...