一种高粘度高效输胶泵制造技术

本实用新型专利技术公开了一种高粘度高效输胶泵，包括：泵体，在泵体的左右侧壁上分别设置有进料口和出料口，在进料口和出料口上分别设置有一个压力密封阀，在泵体中滑动设置有由聚四氟乙烯制成的软活塞，在软活塞的顶部设置有连接槽，在连接槽中镶嵌有连接件，在连接件上设置有滑杆，在泵体的上侧壁上开设有滑孔，滑杆穿过滑孔后向上伸出于泵体，在滑杆中设置有螺纹孔，在螺纹孔中螺纹连接有螺杆，在泵体上设置有连接架，在连接架上设置有伺服电机，伺服电机的输出轴与螺杆相连。本实用新型专利技术的优点在于：以伺服电机为动力，再通过螺纹传动来驱动软活塞在泵体中的运动，既提高了输胶精度及效率，又不会出现介质泄漏的情况。又不会出现介质泄漏的情况。又不会出现介质泄漏的情况。

【技术实现步骤摘要】
一种高粘度高效输胶泵


[0001]本技术涉及一种高粘度高效输胶泵。

技术介绍

[0002]在半导体光刻工艺中，需要将光刻胶通过输胶泵输入到光刻机中，然后由光刻机对晶圆进行涂层。在以往的工艺中，使用低粘度光刻胶的场合较多，所以传统的气动式或液压式的输胶泵能够满足生产要求，但是由于新工艺的发展，现在使用高粘度光刻胶的场合越来越多，使用传统的气动式或液压式输胶泵输送高粘度光刻胶时，需要更大的载荷力来进行推动，而长时间承载过大载荷就容易使输胶泵中的气、液介质出现泄漏，泄漏的气、液介质就会污染光刻胶，使光刻胶报废。

技术实现思路

[0003]本技术的目的是提供一种高粘度高效输胶泵，从而提高对高粘度光刻胶输送效率以及提高输胶泵的使用寿命。
[0004]为实现上述目的，本技术所采用的技术方案是：一种高粘度高效输胶泵，包括：泵体，在泵体的左右侧壁上分别设置有进料口和出料口，在进料口和出料口上分别设置有一个压力密封阀，所述压力密封阀包括：T型壳，在T型壳中设置有型腔，在T型壳上设置有与型腔相连的锥形进口与柱形出口，锥形进口与柱形出口呈垂直设置，在型腔中滚动设置有滚珠，在型腔中连接有弹簧，滚珠抵靠在弹簧上，滚珠在弹簧的弹力作用下封堵在锥形进口处，泵体的进料口与压力密封阀的柱形出口相连，泵体的出料口与压力密封阀的锥形进口相连；在泵体中滑动设置有由聚四氟乙烯制成的软活塞，在软活塞的外缘设置有主密封部及副密封部，主密封部与副密封部均紧贴在泵体的内侧壁上，主密封部与副密封部之间的横截面为V形结构，在软活塞的底部设置有波纹槽，在软活塞的顶部设置有连接槽，在连接槽中镶嵌有连接件，在连接件上设置有滑杆，在泵体的上侧壁上开设有滑孔，滑杆穿过滑孔后向上伸出于泵体，在滑杆中设置有螺纹孔，在螺纹孔中螺纹连接有螺杆，在泵体上设置有连接架，在连接架上设置有伺服电机，伺服电机的输出轴与螺杆相连。
[0005]进一步的，前述的一种高粘度高效输胶泵，其中，在软活塞的顶部设置有补偿槽，在补偿槽中设置有菊花弹片。
[0006]进一步的，前述的一种高粘度高效输胶泵，其中，在补偿槽的内侧壁上设置有限位块，限位块抵靠在菊花弹片的顶壁上。
[0007]进一步的，前述的一种高粘度高效输胶泵，其中，在向上伸出于泵体的滑杆上设置有滑板。
[0008]进一步的，前述的一种高粘度高效输胶泵，其中，在泵体与连接架之间设置有两根导柱，滑板滑动设置在两根导柱上。
[0009]进一步的，前述的一种高粘度高效输胶泵，其中，在滑孔中设置有密封圈，滑杆的外侧壁与密封圈紧贴合。
[0010]进一步的，前述的一种高粘度高效输胶泵，其中，伺服电机的输出轴与螺杆之间通过联轴器相连。
[0011]本技术的优点在于：以伺服电机为动力，再通过螺纹传动来驱动软活塞在泵体中的运动，既提高了输胶精度及效率，又不会出现介质泄漏的情况；采用聚四氟乙烯制成的软活塞具有耐酸耐腐蚀及耐高温的特性，能够延长软活塞的使用期限；在软活塞上设置菊花弹片能够给主密封部提供弹力，当主密封部出现轻微磨损时，能够弥补主密封部与泵体之间的间隙，从而保证软活塞与泵体之间的密封性；当软活塞在挤压高粘度光刻胶时，高粘度光刻胶会填满并撑开纹槽，这样就能提高软活塞副密封部与泵体之间的密封性。
附图说明
[0012]图1是本技术所述的一种高粘度高效输胶泵的结构示意图。
[0013]图2是本技术所述的一种高粘度高效输胶泵吸胶时的结构示意图。
[0014]图3是本技术所述的一种高粘度高效输胶泵输胶时的结构示意图。
具体实施方式
[0015]下面结合附图及优选实施例对本技术所述的技术方案作进一步说明。
[0016]如图1所示，本技术所述的一种高粘度高效输胶泵，包括：泵体1，在泵体1的左右侧壁上分别设置有进料口11和出料口12，在进料口11和出料口12上分别设置有一个压力密封阀2，所述压力密封阀2包括：T型壳21，在T型壳21中设置有型腔22，在T型壳21上设置有与型腔22相连的锥形进口23与柱形出口24，锥形进口23与柱形出口24呈垂直设置，在型腔22中滚动设置有滚珠25，在型腔22中连接有弹簧26，滚珠25抵靠在弹簧26上，滚珠25在弹簧26的弹力作用下封堵在锥形进口23处，泵体1的进料口11与压力密封阀2的柱形出口24相连，泵体1的出料口12与压力密封阀2的锥形进口23相连；在泵体1中滑动设置有由聚四氟乙烯制成的软活塞3，在软活塞3的外缘设置有主密封部31及副密封部32，主密封部31与副密封部32均紧贴在泵体1的内侧壁上，主密封部31与副密封部32之间的横截面为V形结构，在软活塞3的底部设置有波纹槽33，在软活塞3的顶部设置有补偿槽34，在补偿槽34中设置有菊花弹片4，在补偿槽34的内侧壁上设置有限位块35，限位块35抵靠在菊花弹片4的顶壁上。在软活塞3的顶部还设置有连接槽，在连接槽中镶嵌有连接件5，在连接件5上设置有滑杆6，在泵体1的上侧壁上开设有滑孔，在滑孔中设置有密封圈13，滑杆6穿过滑孔后向上伸出于泵体1，滑杆6的外侧壁与密封圈13紧贴合，在滑杆6中设置有螺纹孔61，在螺纹孔61中螺纹连接有螺杆7，在泵体1上设置有连接架8，在连接架8上设置有伺服电机81，伺服电机81的输出轴与螺杆7通过联轴器71相连，在向上伸出于泵体1的滑杆6上设置有滑板62，在泵体1与连接架8之间设置有两根导柱82，滑板62滑动设置在两根导柱82上。
[0017]本技术的工作原理如下：如图2所示，当需要将光刻胶从胶桶中吸入到泵体1中时，启动伺服电机81驱动螺杆7反旋转动，反旋转动的螺杆7通过螺纹传动驱动滑杆6带动软活塞3在泵体1中向上运动，软活塞3在向上运动的过程中会使泵体1中产生负压，出料口12处的压力密封阀2中的滚珠25在负压及弹簧26的双重作用下封堵住锥形进口23，而进料口11处的压力密封阀2中的滚珠15在负压作用下会克服弹簧26的弹力松开锥形进口23，光刻胶就会受到负压的作用经过锥形进口23、柱形出口24及进料口11进入到泵体1中，在此过
程中，高粘度光刻胶会向上顶推滚珠15，使滚珠15克服弹簧26的弹力后完全松开锥形进口23。如图3所示，当需要将泵体1中的光刻胶输入到光刻机中时，启动伺服电机81驱动螺杆7正旋转动，正旋转动的螺杆7通过螺纹传动驱动滑杆6带动软活塞3在泵体1中向下运动，软活塞3在向下运动的过程中会挤压泵体1中的光刻胶，进料口11处的压力密封阀2中的滚珠15在光刻胶的推力及弹簧26的弹力作用下封堵住锥形进口23，而出料口12处的压力密封阀2中的滚珠15在光刻胶的推力作用下克服弹簧26的弹力松开锥形进口23，泵体1中的光刻胶就会经过出料口12、锥形进口23及柱形出口24进入到光刻机中。
[0018]本技术的优点在于：以伺服电机为动力，再通过螺纹传动来驱动软活塞在泵体中的运动，既提高了输胶精度及效率，又不会出现介质泄漏的情况；采用聚四氟乙烯制成的软活塞具有耐酸耐腐蚀及耐高温的特性，能够延长软活塞本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种高粘度高效输胶泵，包括：泵体，在泵体的左右侧壁上分别设置有进料口和出料口，其特征在于：在进料口和出料口上分别设置有一个压力密封阀，所述压力密封阀包括：T型壳，在T型壳中设置有型腔，在T型壳上设置有与型腔相连的锥形进口与柱形出口，锥形进口与柱形出口呈垂直设置，在型腔中滚动设置有滚珠，在型腔中连接有弹簧，滚珠抵靠在弹簧上，滚珠在弹簧的弹力作用下封堵在锥形进口处，泵体的进料口与压力密封阀的柱形出口相连，泵体的出料口与压力密封阀的锥形进口相连；在泵体中滑动设置有由聚四氟乙烯制成的软活塞，在软活塞的外缘设置有主密封部及副密封部，主密封部与副密封部均紧贴在泵体的内侧壁上，主密封部与副密封部之间的横截面为V形结构，在软活塞的底部设置有波纹槽，在软活塞的顶部设置有连接槽，在连接槽中镶嵌有连接件，在连接件上设置有滑杆，在泵体的上侧壁上开设有滑孔，滑杆穿过滑孔后向上伸出于泵体，在滑杆中设置有螺纹...

【专利技术属性】
技术研发人员：张维海，
申请(专利权)人：江苏联芯半导体科技有限公司，
类型：新型
国别省市：