一种微电子半导体厂用CMP废水高效回收装置制造方法及图纸

本实用新型专利技术公开了一种微电子半导体厂用CMP废水高效回收装置，涉及废水处理技术领域，包括底座，底座上表面的一侧固定连接有过滤箱，底座上表面的中部固定连接有电解箱，底座上表面的另一侧固定连接有净化箱，电解箱上表面的一侧设置有电机，电机的输出端固定连接有传动轴，传动轴的表面固定连接有搅拌杆，传动轴的表面靠近电机的一端固定连接有第一齿轮，第一齿轮的表面啮合有传动机构，该微电子半导体厂用CMP废水高效回收装置，通过过滤箱、电解箱、净化箱的设置，废水进入过滤箱内进行初次过滤，沉淀后的废水可以通过水泵引入电解箱进行电解，从而降低废水中有害物的含量，同时可以引入净化箱，经过活性炭吸附，去除废水中的异味。异味。异味。

【技术实现步骤摘要】
一种微电子半导体厂用CMP废水高效回收装置


[0001]本技术涉及废水处理
，具体为一种微电子半导体厂用CMP 废水高效回收装置。

技术介绍

[0002]半导体工业是一个十分依赖水资源的行业，也是高耗水的行业，尤其在水资源有限的情形下，限水、缺水对半导体生产企业的营运产生巨大压力，因此，对半导体生产企业节约用水的研究与实践，有助于提升用水效益，降低用水成本，目前，节约用水、中水回用、废水的回收利用已成为半导体业者应对缺水危机的重要措施，特别是废水的回收利用，既能减少对水资源的需求，又能降低生产成本，同时也减少对环境的污染。
[0003]现有的对CMP废水的回收设备在使用过程中对废水的过滤效果不佳，且过滤后不方便对滤网进行清洗，同时不便于对污水处理箱内部的异味进行吸收净化处理。

技术实现思路

[0004]解决的技术问题
[0005]针对现有技术的不足，本技术提供了一种微电子半导体厂用CMP废水高效回收装置，解决了上述
技术介绍
中提出的问题。
[0006]技术方案
[0007]为实现以上目的，本技术通过以下技术方案予以实现：包括底座，所述底座上表面的一侧固定连接有过滤箱，所述底座上表面的中部固定连接有电解箱，所述底座上表面的另一侧固定连接有净化箱，所述电解箱上表面的一侧设置有电机，所述电机的输出端固定连接有传动轴，所述传动轴的表面固定连接有搅拌杆，所述传动轴的表面靠近电机的一端固定连接有第一齿轮，所述第一齿轮的表面啮合有传动机构，所述传动机构的输出端啮合有第二齿轮，所述第二齿轮的中部固定连接有支撑轴，所述支撑轴的表面固定连接有两组搅拌叶，所述过滤箱内侧壁的底部固定连接有过滤网，所述净化箱的内侧壁搭接有活性炭吸附层。
[0008]可选的，所述过滤箱的背面固定连接有排放窗，所述排放窗的内侧壁插接有密封板，所述密封板的侧面设置有橡胶密封圈，所述排放窗的正面开设有与过滤箱相连通的排放口，从而方便人员清理过滤在过滤网上方的杂质，同时便于密封排放窗。
[0009]可选的，所述传动机构包括传动杆，所述传动杆的两端均固定连接有第三齿轮，从而方便与传动第一齿轮和第二齿轮。
[0010]可选的，所述第三齿轮与第一齿轮和第二齿轮相适配，所述传动杆通过防水轴承固定安装在过滤箱的正面，从而通过第一齿轮带动传动机构工作。
[0011]可选的，所述过滤箱的一侧固定设置有水泵，所述水泵的输入端与过滤箱相连通，所述水泵的输出端连通设置有分流管，通过水泵将水输送到净化箱和电解箱内。
[0012]可选的，所述分流管的表面连通设置有两个支管，其中一个支管与电解箱相连通，
另一个支管与净化箱相连通，所述支管的表面设置有第一电磁阀，从而方便控制支管。
[0013]可选的，所述净化箱和电解箱表面的底部均固定连接有排放管，所述排放管的表面设置有第二电磁阀，从而方便排放净化过的废水。
[0014]可选的，所述搅拌叶的数量为若干个，若干个所述搅拌叶呈环形阵列在所述支撑轴的表面，从而方便废水在过滤箱内过滤沉淀。
[0015]有益效果
[0016]本技术提供了一种微电子半导体厂用CMP废水高效回收装置，具备以下有益效果：
[0017]该微电子半导体厂用CMP废水高效回收装置，通过过滤箱、电解箱、净化箱、电机、传动轴、搅拌杆、第一齿轮、传动机构、第二齿轮、支撑轴、过滤网和活性炭吸附层的设置，废水进入过滤箱内进行初次过滤，杂质留存在过滤网的上方，便于处理，搅拌叶转动提高废水与沉淀剂的混合度，从而提高沉淀效率，沉淀后的废水可以通过水泵引入电解箱进行电解，从而降低废水中有害物的含量，同时可以引入净化箱，经过活性炭吸附，去除废水中的异味。
附图说明
[0018]图1为本技术立体结构示意图；
[0019]图2为本技术第二形态结构示意图；
[0020]图3为本技术第三形态结构示意图；
[0021]图4为本技术传动机构及搅拌叶的结构示意图；
[0022]图5为本技术电解箱的结构示意图；
[0023]图6为本技术净化箱的结构示意图。
[0024]图中：1
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底座、2
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过滤箱、3
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电解箱、4
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净化箱、5
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电机、6
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传动轴、 7
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搅拌杆、8
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第一齿轮、9
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传动机构、901
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传动杆、902
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第三齿轮、10
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第二齿轮、11
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支撑轴、12
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搅拌叶、13
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过滤网、14
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活性炭吸附层、15
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排放窗、 16
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水泵、17
‑
排放管。
具体实施方式
[0025]下面将结合本技术实施例中的附图，对本技术实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本技术一部分实施例，而不是全部的实施例，基于本技术中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本技术保护的范围。
[0026]请参阅图1至图6，本技术提供一种技术方案：一种微电子半导体厂用CMP废水高效回收装置，包括底座1，底座1上表面的一侧固定连接有过滤箱2，底座1上表面的中部固定连接有电解箱3，底座1上表面的另一侧固定连接有净化箱4，电解箱3上表面的一侧设置有电机5，电机5的输出端固定连接有传动轴6，传动轴6的表面固定连接有搅拌杆7，传动轴6的表面靠近电机5的一端固定连接有第一齿轮8，第一齿轮8的表面啮合有传动机构9，传动机构9的输出端啮合有第二齿轮10，第二齿轮10的中部固定连接有支撑轴11，支撑轴11的表面固定连接有两组搅拌叶12，过滤箱2内侧壁的底部固定连接有过滤网13，净化箱4的内侧壁搭接有活性炭吸附层14。
[0027]过滤箱2的一侧固定设置有水泵16，水泵16的输入端与过滤箱2相连通，水泵16的输出端连通设置有分流管，通过水泵16将水输送到净化箱4和电解箱3内，分流管的表面连通设置有两个支管，其中一个支管与电解箱3相连通，另一个支管与净化箱4相连通，支管的表面设置有第一电磁阀，从而方便控制支管，净化箱4和电解箱3表面的底部均固定连接有排放管17，排放管17的表面设置有第二电磁阀，从而方便排放净化过的废水，搅拌叶12 的数量为若干个，若干个搅拌叶12呈环形阵列在支撑轴11的表面，从而方便废水在过滤箱2内过滤沉淀，过滤箱2的背面固定连接有排放窗15，排放窗15的内侧壁插接有密封板，密封板的侧面设置有橡胶密封圈，排放窗15 的正面开设有与过滤箱2相连通的排放口，从而方便人员清理过滤在过滤网 13上方的杂质，同时便于密封排放窗15，传动机构9包括传动杆901，传动杆9本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种微电子半导体厂用CMP废水高效回收装置，包括底座(1)，其特征在于：所述底座(1)上表面的一侧固定连接有过滤箱(2)，所述底座(1)上表面的中部固定连接有电解箱(3)，所述底座(1)上表面的另一侧固定连接有净化箱(4)，所述电解箱(3)上表面的一侧设置有电机(5)，所述电机(5)的输出端固定连接有传动轴(6)，所述传动轴(6)的表面固定连接有搅拌杆(7)，所述传动轴(6)的表面靠近电机(5)的一端固定连接有第一齿轮(8)，所述第一齿轮(8)的表面啮合有传动机构(9)，所述传动机构(9)的输出端啮合有第二齿轮(10)，所述第二齿轮(10)的中部固定连接有支撑轴(11)，所述支撑轴(11)的表面固定连接有两组搅拌叶(12)，所述过滤箱(2)内侧壁的底部固定连接有过滤网(13)，所述净化箱(4)的内侧壁搭接有活性炭吸附层(14)。2.根据权利要求1所述的一种微电子半导体厂用CMP废水高效回收装置，其特征在于：所述过滤箱(2)的背面固定连接有排放窗(15)，所述排放窗(15)的内侧壁插接有密封板，所述密封板的侧面设置有橡胶密封圈，所述排放窗(15)的正面开设有与过滤箱(2)相连通的排放口。3.根据权利要求1所述的一种微电子半导体厂用CMP废水高效回收装置，其特征在于：所述传动机构(...

【专利技术属性】
技术研发人员：亓信中，秦正健，
申请(专利权)人：江苏联芯半导体科技有限公司，
类型：新型
国别省市：