本实用新型专利技术涉及取料装置技术领域，具体为一种用于芯片制造的光刻机光刻版取料装置，包括光刻机主体，所述光刻机主体的一端滑动连接有闭合门。用户取下硅片时，推动料门，料门打开，通过伺服电机、齿轮和齿板可使得料架移动，可将刻制座推至光刻机主体的外侧，从而有效的减少用户打开闭合门的次数，减少光刻机主体受到的污染，用户推动推杆，通过三角滑块、滑杆将放置移动板移动，使得放置移动板不在对硅片抵触，便可将硅片取下，将新的硅片放在放置固定板和放置移动板之间后，松开推杆，通过第一弹簧和放置移动板可将硅片固定，放置移动板和放置固定板可避免硅片的底端与刻制座相贴合，从而保证了硅片的正常使用，减少了用户的成本。减少了用户的成本。减少了用户的成本。
【技术实现步骤摘要】
一种用于芯片制造的光刻机光刻版取料装置
[0001]本技术涉及取料装置
，具体为一种用于芯片制造的光刻机光刻版取料装置。
技术介绍
[0002]光刻机又名：掩模对准曝光机，曝光系统，光刻系统等，是制造芯片的核心装备，它采用类似照片冲印的技术，把掩膜版上的精细图形通过光线的曝光印制到硅片上；
[0003]当用户在使用光刻机刻制完成时，需要用户将防护门打开才可将内部刻制好的硅片取下，用户经常开启防护门后，用户手和部分身子进入光刻机内部再将硅片取下，从而容易使得室内空气中和用户身上的灰尘进入光刻机的内部，对光刻机造成污染，且有的部分硅片底端具有粘性，使得用户在取下时容易损坏硅片，进而的导致硅片无法正常使用。
技术实现思路
[0004]本技术的目的在于提供一种用于芯片制造的光刻机光刻版取料装置，以解决上述
技术介绍
中提出的当用户在使用光刻机刻制完成时，需要用户将防护门打开才可将内部刻制好的硅片取下，用户经常开启防护门后，用户手和部分身子进入光刻机内部再将硅片取下，从而容易使得室内空气中和用户身上的灰尘进入光刻机的内部，对光刻机造成污染，且有的部分硅片底端具有粘性，使得用户在取下时容易损坏硅片，进而的导致硅片无法正常使用的问题。
[0005]为实现上述目的，本技术提供如下技术方案：一种用于芯片制造的光刻机光刻版取料装置，包括光刻机主体，所述光刻机主体的一端滑动连接有闭合门，所述闭合门的内部开设有滑道，所述滑道的内部滑动连接有两组料门，所述光刻机主体的内部固定连接有底座，所述底座的顶端固定连接有固定座，所述底座顶端的两侧皆开设有滑轨，所述滑轨的内部滑动连接有料架，所述料架的一端固定连接有刻制座，且刻制座的位于固定座的顶端，所述料架的一端固定连接有伺服电机，所述伺服电机的输出端固定连接有齿轮，所述底座的一端固定连接有齿板，所述刻制座的内部设置有夹持机构。
[0006]优选的，所述齿板与齿轮相互啮合，所述伺服电机的控制端通过外接开关与外界电源电性连接，方便用户通过开关控制伺服电机工作。
[0007]优选的，所述底座的内部开设有固定槽，所述固定槽的内部滑动连接有加固板，且加固板的两端皆与料架固定连接，可对料架进行支撑，提高料架移动的稳定性。
[0008]优选的，所述夹持机构包括滑仓、移动槽、连接槽、三角滑块、滑杆、第一弹簧、连接杆、放置移动板、放置固定板、弹槽、推槽、第二弹簧和推杆，所述刻制座内部开设有滑仓，所述滑仓的内部滑动连接有三角滑块，所述滑仓一端的内壁开设有两组移动槽，所述滑仓另一端的内壁开设有弹槽，所述弹槽一端的内壁贯穿开设有推槽，所述移动槽顶端的内壁贯穿开设有连接槽，所述移动槽的内部皆滑动连接有滑杆，所述滑杆的另一端皆固定连接有第一弹簧，且第一弹簧的一端皆与移动槽的内壁固定连接，所述连接槽的内部皆滑动连接
有连接杆，所述连接杆的顶端皆固定连接有放置移动板，所述底座的顶端固定连接有两组放置固定板，所述弹槽的内部设置有第二弹簧，所述推槽的内部滑动连接有推杆，且推杆的一端穿过第二弹簧与三角滑块的一端固定连接，方便用户对硅片进行安装，防止硅片粘附在刻制座的顶端，保证了硅片的正常使用。
[0009]优选的，所述放置移动板皆呈圆弧状，所述放置固定板皆呈圆弧状，圆弧状的放置移动板和放置固定板可以更好的夹住硅片。
[0010]优选的，所述第二弹簧的两端皆分别与三角滑块的一端和弹槽一端的内壁固定连接，所述推槽的内径与推杆的外径相适配，相适配的尺寸可提高推杆移动的稳定性。
[0011]优选的，所述滑杆的一端皆呈斜面状，所述滑杆斜面的一端皆与三角滑块的一端相贴合，方便三角滑块对滑杆进行移动。
[0012]优选的，所述连接槽的尺寸皆与连接杆的尺寸相适配，所述滑杆的尺寸皆与移动槽的尺寸相适配，相适配的尺寸可提高滑杆和连接杆移动的稳定性。
[0013]与现有技术相比，本技术的有益效果是：
[0014]用户想要取下硅片时，用户推动料门，使得料门打开，通过伺服电机、齿轮和齿板可使得料架移动，可将刻制座推至光刻机主体的外侧，从而有效的减少用户打开闭合门的次数，减少光刻机主体受到的污染，用户推动推杆，通过三角滑块、滑杆将放置移动板移动，使得放置移动板不在对硅片抵触，用户便可将硅片取下，用户将新的硅片放在放置固定板和放置移动板之间后，松开推杆，通过第一弹簧和放置移动板可将硅片固定，放置移动板和放置固定板可避免硅片的底端与刻制座相贴合，从而保证了硅片的正常使用，减少了用户的成本。
附图说明
[0015]图1为本技术的立体示意图；
[0016]图2为本技术中闭合门和滑道的剖面立体示意图；
[0017]图3为本技术中滑轨和固定槽的剖面立体示意图；
[0018]图4为本技术中滑仓和移动槽的剖面立体示意图；
[0019]图5为本技术中夹持机构的爆炸立体示意图。
[0020]图中：1、光刻机主体；2、闭合门；3、滑道；4、料门；5、底座；6、固定座；7、滑轨；8、料架；9、刻制座；10、伺服电机；11、齿轮；12、齿板；13、固定槽；14、加固板；15、滑仓；16、移动槽；17、连接槽；18、三角滑块；19、滑杆；20、第一弹簧；21、连接杆；22、放置移动板；23、放置固定板；24、弹槽；25、推槽；26、第二弹簧；27、推杆。
具体实施方式
[0021]下面将结合本技术实施例中的附图，对本技术实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本技术一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本技术中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本技术保护的范围。
[0022]请参阅图1
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5，本技术提供的一种实施例：
[0023]一种用于芯片制造的光刻机光刻版取料装置，包括光刻机主体1，光刻机主体1的
一端滑动连接有闭合门2，闭合门2的内部开设有滑道3，滑道3的内部滑动连接有两组料门4，光刻机主体1的内部固定连接有底座5，底座5的顶端固定连接有固定座6，底座5顶端的两侧皆开设有滑轨7，滑轨7的内部滑动连接有料架8，料架8的一端固定连接有刻制座9，且刻制座9的位于固定座6的顶端，料架8的一端固定连接有伺服电机10，伺服电机10的输出端固定连接有齿轮11，底座5的一端固定连接有齿板12，刻制座9的内部设置有夹持机构；
[0024]进一步的，夹持机构包括滑仓15、移动槽16、连接槽17、三角滑块18、滑杆19、第一弹簧20、连接杆21、放置移动板22、放置固定板23、弹槽24、推槽25、第二弹簧26和推杆27，刻制座9内部开设有滑仓15，滑仓15的内部滑动连接有三角滑块18，滑仓15一端的内壁开设有两组移动槽16，滑仓15另一端的内壁开设有弹槽24，弹槽24一端的内壁贯穿开设有推槽25，移动槽16顶端的内壁贯穿开设有连接槽17，移动槽16的内部皆滑动连接有滑杆1本文档来自技高网...
【技术保护点】
【技术特征摘要】
1.一种用于芯片制造的光刻机光刻版取料装置，包括光刻机主体(1)，其特征在于：所述光刻机主体(1)的一端滑动连接有闭合门(2)，所述闭合门(2)的内部开设有滑道(3)，所述滑道(3)的内部滑动连接有两组料门(4)，所述光刻机主体(1)的内部固定连接有底座(5)，所述底座(5)的顶端固定连接有固定座(6)，所述底座(5)顶端的两侧皆开设有滑轨(7)，所述滑轨(7)的内部滑动连接有料架(8)，所述料架(8)的一端固定连接有刻制座(9)，且刻制座(9)的位于固定座(6)的顶端，所述料架(8)的一端固定连接有伺服电机(10)，所述伺服电机(10)的输出端固定连接有齿轮(11)，所述底座(5)的一端固定连接有齿板(12)，所述刻制座(9)的内部设置有夹持机构。2.根据权利要求1所述的一种用于芯片制造的光刻机光刻版取料装置，其特征在于：所述齿板(12)与齿轮(11)相互啮合，所述伺服电机(10)的控制端通过外接开关与外界电源电性连接。3.根据权利要求1所述的一种用于芯片制造的光刻机光刻版取料装置，其特征在于：所述底座(5)的内部开设有固定槽(13)，所述固定槽(13)的内部滑动连接有加固板(14)，且加固板(14)的两端皆与料架(8)固定连接。4.根据权利要求1所述的一种用于芯片制造的光刻机光刻版取料装置，其特征在于：所述夹持机构包括滑仓(15)、移动槽(16)、连接槽(17)、三角滑块(18)、滑杆(19)、第一弹簧(20)、连接杆(21)、放置移动板(22)、放置固定板(23)、弹槽(24)、推槽(25)、第二弹簧(26)和推杆(27)，所述刻制座(9)内部开设有滑仓(15)，所述滑仓(15)的内部滑动连接有三角滑块...
【专利技术属性】
技术研发人员：亓信中，王文东，
申请(专利权)人：江苏联芯半导体科技有限公司，
类型：新型
国别省市：
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