本技术公开了高纯气体秤重系统，涉及高纯气体领域，为解决现有技术中的目前现有的高纯气体称重系统需要用到气体称重罐，现有的气体称重罐没有设置温度控制装置，在对低温气体称量时，由于温度改变导致称重不准确的问题。所述外罐体一侧中部固定连接有压力...

本技术公开了一种废水处理系统，涉及废水处理相关领域，为解决目前产生絮凝沉淀后需要静置使沉淀完全沉下水底，再对水体进行输送或者泵送至过滤结构内进行过滤，过滤后的水体再输送，由于需要将絮凝物与水体进行分离，需要多个设备辅助操作，整个絮凝沉淀...

本发明公开了一种半导体芯片加工用高纯气体输送系统及方法，包括用于安装固定的基础安装机构和储气的气罐本体，所述基础安装机构的右侧安装有用于传输清理的过滤自清机构，所述基础安装机构包括工作平台，所述工作平台顶部的左侧固定连接有弧形安装座，且...

本技术公开了高纯化学品秤重系统，涉及化学品秤重技术领域，为解决现有技术中的现有称重装置在进行大批量高纯度化学品称重时，操作麻烦，不适用，实用性差的问题。所述底台上方的中间固定安装有定量罐，所述定量罐包括罐体和罐盖，所述罐盖固定安装于罐体...

本发明属于化学品输送技术领域，尤其是一种半导体芯片用化学品输送在线监控设备及使用方法，其监控设备包括集装箱，集装箱的底部内壁上固定安装有支撑板，支撑板的一侧开设有滑槽，滑槽内滑动连接有移动板，本发明在对化学品进行运输时，能够对装有化学品...

本发明公开了一种半导体加工用超高纯化学品运输监控系统及方法，包括车头，车头的一侧设置有车厢，车厢内设置有底架；本发明通过设置触块和电磁按钮，可在储液箱内出现泄漏时，因储液箱的质量变轻而使缓冲弹簧推动两个滑块互相靠近，使得触块与电磁按钮相...

本发明公开了一种用于半导体光源的电力供应控制设备及方法，通过卡接组件的设置，实现功能罩与外壳之间的便捷拆装固定，方便检修的同时，配合供电组件、绝缘杆和三个导电组件的设置，调整外壳方向，即可实现LED灯组的供电调节，使LED灯组的照明控制...

本发明涉及一种半导体芯片加工用废气处理系统及其工艺

本实用新型公开了一种高纯化学供应系统全自动集中高纯供液柜，涉及全自动集中高纯供液柜技术领域。所述柜体的顶部固定安装有顶部固定架，所述顶部固定架内部中间固定安装有吊杆，所述吊杆的底部固定安装有吊顶式灭火器，所述柜体的底部的四个顶角固定安装...

本实用新型公开了一种高纯气体供应系统特气气瓶柜，包括箱体，所述箱体的内部表面固定安装有U形固定槽，所述U形固定槽的表面固定安装有橡胶保护垫，所述U形固定槽的一侧固定安装有固定编织带，所述箱体的内部通过螺栓固定安装有气压表安装板，所述箱体...

本实用新型公开了一种高纯化学供应系统高纯化学品调配柜，包括罐体放置箱，所述罐体放置箱的上方固定安装有调配箱，所述调配箱的上方固定安装有控制箱，所述罐体放置箱与调配箱之间内部设置有防爆板，所述防爆板的表面贯穿开设有两个连接孔，所述隔板的一...

本发明公开了一种化学供应系统及其净化方法，属于半导体制造领域。将输送管路上安装参数测量单元，并控制信号将参数测量单元传来的信息送至流体供应装置中，通过调控流体压力，从而快速调节化学稀释液体装置中液体的浓度，直至液体的参数在设定的参数范围...

本实用新型公开了一种高纯度化学品系统分流箱，涉及分流箱技术领域。包括柜体，所述柜体底部的四个顶角固定安装有底座，所述底座的底部固定安装有防护柜，所述防护柜内部的顶端开设有出风口，所述防护柜顶部的中间固定安装有吸风管，所述出风口和吸风管相...

本实用新型公开了一种高纯气体供应系统特气气瓶架，包括底座，所述底座的顶部设置有限位架，所述限位架的两侧表面皆通过合页活动安装有挡板，所述限位架的内侧通过隔板间隔设置有限位槽，所述限位槽和挡板的内部皆环绕设置有套筒，所述套筒的内侧通过连接...

本实用新型公开了大流量特殊气体供应系统，包括供应罐，所述供应罐内部的底端设置有压力传感器，所述供应罐的顶部设置有警报器，所述警报器的一侧设置有泄压口，所述泄压口上设置有控制阀，所述供应罐的一侧设置有底板，所述底板的顶部设置有净化箱，所述...

本实用新型公开了高纯气体供应系统特气供应分流盘，包括盘体，所述盘体的内部环绕设置有过滤网格，所述盘体的外侧表面设置有进气口，所述进气口的顶部设置有控制阀，所述盘体的顶部设置有盖板，所述盖板的顶部设置有调节柱，所述调节柱的外侧表面套设有套...

本实用新型公开了高纯气体供应系统特气供应分流柜，包括分流箱，所述分流箱的上方活动安装有控制箱，所述控制箱是上方固定安装有支撑杆，所述支撑杆的上方固定安装有指示灯，所述分流箱的内部表面固定安装有阀门控制盘，所述阀门控制盘的表面固定安装有输...

本实用新型公开了一种用于半导体气体侦测的电化学传感器，其技术方案要点是：包括安装机构，所述安装机构顶部固定安装有外防护盒，所述外防护盒内部固定安装有电化学传感器本体，所述外防护盒顶部固定连接有收卷立柱，所述收卷立柱表面套接有收卷辊，所述...

本实用新型公开了一种用于半导体制程混合气体设备，其技术方案要点是：包括混合箱，所述混合箱的右侧顶部开设有第一入气孔，通过将封盖拧转下来，将两种气体分别从第一入气孔和第二入气孔输送至分流管内，通过分流孔进入混合箱的内部，封闭机构将第一入气...

本实用新型公开了一种用于管路保温加热自动控制模块，其技术方案要点是：包括第一套管和第二套管，所述第一套管的外表面焊接有第一凸块，所述第一凸块上螺纹连接有第一紧固螺栓，所述第二套管的外表面焊接有第二凸块，所述第一凸块和所述第二凸块通过所述...