一种半导体芯片加工用废气处理系统及其工艺技术方案

本发明专利技术涉及一种半导体芯片加工用废气处理系统及其工艺

【技术实现步骤摘要】
一种半导体芯片加工用废气处理系统及其工艺


[0001]本专利技术涉及废气处理
，特别是一种半导体芯片加工用废气处理系统及其工艺
。

技术介绍

[0002]随着工业领域的智能化发展，芯片高度数字化集成化已成趋势，
AI、5G、
数据中心等领域对高速率
、
低功耗
、
低成本的光模块需求的不断增长，将有力推动光芯片的技术升级和更新换代
。
[0003]然而半导体芯片生产线对大气存在污染，主要是器件清洗等表面处理过程中因使用一些化学药剂（如硫酸
、
盐酸
、
氟氯化碳
、
四氯化碳
、
三氯乙烷及其他有机卤化物）挥发造成对大气环境的污染，以及整机装配过程中产生的机械噪声和少量粉尘也会造成环境污染，这些污染气体会造成人群慢性或急性中毒
。
这些有害气体，主要来源于芯片生产的清洗
、
均胶
、
去胶
、
刻蚀
、
显影过程中
。
生产过程中产生的有害废气主要包括大量的酸碱及
VOCs
有机污染物等有毒有害气体
。
如果直接排放就会对大气和人的身体健康造成较为严重的危害
。
[0004]当下半导体芯片生产线废气处理，按照其废气处理工艺分为：酸性废气处理（
SEX
）
、
碱性废气处理
(AEX)、
有机废气处理
(VEX)
和一般排气
(GEX)
等
。
半导体芯片生产线酸碱性废气处理为气液两相逆流接触；含酸性或碱性废气由塔下部进口进入塔内向上运动，通过单层或多层填料，废（尾）气与液相充分接触后吸收或中和，干净的气体经过上层的除雾层排出，从而达到吸收和净化效果；如申请号为
202211034419 .X 的一种半导体废气处理设备，包括反应容器，所述反应容器包括：顶盖
、
壳体和加热器，顶盖连接有废气管路和辅助气体管路；壳体设于所述顶盖的下方，壳体与所述顶盖配合围设出反应腔；加热器穿设于所述壳体的壁面并位于所述反应腔内
。
本专利技术提出的半导体废气处理设备，加热器插设于壳体，加热器的拆装更加简便，拆装工作量降低，拆装对空间要求降低，顶盖的重量降低，降低维护成本
。
但目前的半导体废气处理设备智能化程度低，人工操作频繁，且经常会出现风管堵塞
、
管路腐蚀
、
局部聚积等问题
。

技术实现思路

[0005]本专利技术要解决的技术问题是提供一种易于操控
、
智能化程度高，降低人工成本且不易发生风管堵塞
、
管路腐蚀
、
局部聚积等问题的半导体芯片加工用废气处理系统及其工艺
。
[0006]为解决上述技术问题，本专利技术提供一种半导体芯片加工用废气处理系统，包括洗涤塔机构
、
废液处理机构
、
双桶翻转式活性炭吸附机构
、
管路机构
。
[0007]所述洗涤塔机构包括自动翻板洗涤塔
、
吸附球筛板
、
筛板轴
、
筛板轴承
、
散齿轮一
、
伞齿轮二
、
翻板电机
、
喷淋泵
、
喷淋网管
、
电控球阀
、
浓度监测仪
、
蝶式电动管道球阀
、
排水
管
、
洗涤塔主支架
、
喷淋主管路；所述自动翻板洗涤塔固定设置在所述洗涤塔主支架上，所述自动翻板洗涤塔上固定焊接有三组电机座
、
三组轴承尾座
、
六组电磁推杆座，所述筛板轴承固定设置于所述电机座
、
轴承尾座中，所述筛板轴穿过所述电机座
、
轴承尾座中的筛板轴承，所述吸附球筛板固定套设在所述筛板轴上，所述翻板电机固定设置于所述电机座上，所述散齿轮一固定设置于所述筛板轴靠近所述电机座一端，所述伞齿轮二固定设置于所述翻板电机轴端，所述散齿轮一与所述伞齿轮二啮合；所述吸附球筛板包括筛板一
、
筛板二
、
筛板三，所述喷淋网管有两组，分别固定设置于筛板一
、
筛板二的上方；所述喷淋网管通过所述电控球阀
、
喷淋主管路与所述喷淋泵连接；所述浓度监测仪固定设置于所述自动翻板洗涤塔中筛板二
、
筛板三中间位置的侧壁上；所述自动翻板洗涤塔底部开设有进气口
、
出水口，顶部开设有出气口，侧面开设有三组视窗分别位于筛板一
、
筛板二
、
筛板三的上方；所述蝶式电动管道球阀固定设置于出水口下部，下接排水管
。
[0008]所述废液处理机构包括水箱
、
链轮轴
、
链轮
、
链条
、
电机支架
、
导污电机
、
导污板
、
自动加药器
、
辅助支架，所述水箱固定设置于所述自动翻板洗涤塔下部，所述链轮轴设置有两组，分别活动设置于水箱上，所述链轮设置有两组，每组两个，分别套设在链轮轴靠近水箱内侧的两端，所述链条设置有两组，分别套设在两组链轮上，所述电机支架固定设置于水箱上，所述导污电机固定设置于所述电机支架上，所述导污电机与所述链轮轴通过散齿啮合连接；所述导污板固定设置于两组链条上，所述自动加药器固定设置于所述辅助支架上
。
[0009]所述双桶翻转式活性炭吸附机构包括双桶翻转式活性炭吸附箱
、
翻转主齿轮
、
翻转小齿轮
、
翻转电机
、
底架
、
轴承座支撑架
、
翻转轴承
、
旋转通气腔
、
抽屉 、
抽屉锁扣
、
所述双桶翻转式活性炭吸附箱开设有双桶吸附箱进气口
、
双桶吸附箱出气口，所述旋转通气腔开设有旋转通气腔进气口
、
旋转通气腔出气口，所述翻转主齿轮固定套设在双桶翻转式活性炭吸附箱上，所述翻转电机固定设置于所述底架上，所述翻转小齿轮固定设置于所述翻转电机轴端，所述翻转主齿轮与所述翻转小齿轮啮合，所述轴承座支撑架设置有两组，分别固定设置于所述底架上，布置于所述双桶翻转式活性炭吸附箱的双桶吸附箱进气口
、
双桶吸附箱出气口的两侧，所述翻转轴承设置有两组，分别固定设置于两组所述轴承座支撑架内，支撑双桶吸附箱进气口
、
双桶吸附箱出气口两端，所述旋转通气腔设本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.
一种半导体芯片加工用废气处理系统，其特征在于，包括洗涤塔机构（1）
、
废液处理机构（2）
、
双桶翻转式活性炭吸附机构（3）
、
管路机构（5）；所述洗涤塔机构（1）包括自动翻板洗涤塔（
101
）
、
吸附球筛板（
102
）
、
筛板轴（
103
）
、
筛板轴承（
104
）
、
散齿轮一（
105
）
、
伞齿轮二（
106
）
、
翻板电机（
107
）
、
喷淋泵（
112
）
、
喷淋网管（
113
）
、
电控球阀（
114
）
、
浓度监测仪（
115
）
、
蝶式电动管道球阀（
118
）
、
排水管（
119
）
、
洗涤塔主支架（
120
）
、
喷淋主管路（
121
）；所述自动翻板洗涤塔（
101
）固定设置在所述洗涤塔主支架（
120
）上，所述自动翻板洗涤塔（
101
）上固定焊接有三组电机座（
1107
）
、
三组轴承尾座（
1108
）
、
六组电磁推杆座（
1109
），所述筛板轴承（
104
）固定设置于所述电机座（
1107
）
、
轴承尾座（
1108
）中，所述筛板轴（
103
）穿过所述电机座（
1107
）
、
轴承尾座（
1108
）中的筛板轴承（
104
），所述吸附球筛板（
102
）固定套设在所述筛板轴（
103
）上，所述翻板电机（
107
）固定设置于所述电机座（
1107
）上，所述散齿轮一（
105
）固定设置于所述筛板轴（
103
）靠近所述电机座（
1107
）一端，所述伞齿轮二（
106
）固定设置于所述翻板电机（
107
）轴端，所述散齿轮一（
105
）与所述伞齿轮二（
106
）啮合；所述吸附球筛板（
102
）包括筛板一（
1201
）
、
筛板二（
1202
）
、
筛板三（
1203
），所述喷淋网管（
113
）有两组，分别固定设置于筛板一（
1201
）
、
筛板二（
1202
）的上方；所述喷淋网管（
113
）通过所述电控球阀（
114
）
、
喷淋主管路（
121
）与所述喷淋泵（
112
）连接；所述浓度监测仪（
115
）固定设置于所述自动翻板洗涤塔（
101
）中筛板二（
1202
）
、
筛板三（
1203
）中间位置的侧壁上；所述自动翻板洗涤塔（
101
）底部开设有进气口（
1101
）
、
出水口（
1103
），顶部开设有出气口（
1102
），侧面开设有三组视窗（
1104
）分别位于筛板一（
1201
）
、
筛板二（
1202
）
、
筛板三（
1203
）的上方；所述蝶式电动管道球阀（
118
）固定设置于出水口（
1103
）下部，下接排水管（
119
）；所述废液处理机构（2）包括水箱（
201
）
、
链轮轴（
202
）
、
链轮（
203
）
、
链条（
204
）
、
电机支架（
205
）
、
导污电机（
206
）
、
导污板（
207
）
、
自动加药器（
208
）
、
辅助支架（
209
），所述水箱（
201
）固定设置于所述自动翻板洗涤塔（
101
）下部，所述链轮轴（
202
）设置有两组，分别活动设置于水箱（
201
）上，所述链轮（
203
）设置有两组，每组两个，分别套设在链轮轴（
202
）靠近水箱内侧的两端，所述链条（
204
）设置有两组，分别套设在两组链轮（
203
）上，所述电机支架（
205
）固定设置于水箱（
201
）上，所述导污电机（
206
）固定设置于所述电机支架（
205
）上，所述导污电机（
206
）与所述链轮轴（
202
）通过散齿啮合连接；所述导污板（
207
）固定设置于两组链条（
204
）上，所述自动加药器（
208
）固定设置于所述辅助支架（
209
）上；所述双桶翻转式活性炭吸附机构（3）包括双桶翻转式活性炭吸附箱（
301
）
、
翻转主齿轮（
302
）
、
翻转小齿轮（
303
）
、
翻转电机（
304
）
、
底架（
305
）
、
轴承座支撑架（
306
）
、
翻转轴承（
307
）
、
旋转通气腔（
308
）
、
抽屉（
311
）
、
抽屉锁扣（
312
）
、
所述双桶翻转式活性炭吸附箱（
301
）开设有双桶吸附箱进气口（
3101
）
、
双桶吸附箱出气口（
3102
），所述旋转通气腔（
308
）开设有旋转通气腔进气口（
3103
）
、
旋转通气腔出气口（
3104
），所述翻转主齿轮（
302
）固定套设在双桶翻转式活性炭吸附箱（
301
）上，所述翻转电机（
304
）固定设置于所述底架（
305
）上，所述翻转小齿轮（
303
）固定设置于所述翻转电机（
304
）轴端，所述翻转主齿轮（
302
）与所述翻转小齿轮（
303
）啮合，所述轴承座支撑架（
306
）设置有两组，分别固定设置于所述底架（
305
）上，布置于所述双桶翻转式活性炭吸附箱（
301
）的双桶吸附箱进气口（
3101
）
、
双桶吸附箱出气口（
3102
）的两侧，所述翻转轴承（
307
）设置有两组，分别固定设置于两组所述轴承座支撑架（
306
）内，支撑双桶吸附箱进气口（
3101
）
、
双桶吸附箱出气口（
3102
）两端，所述旋转通气腔
（
308
）设置有两组，分别固定设置于所述轴承座支撑架（
306
）远离所述双桶翻转式活性炭吸附箱（
301
）的两端，所述旋转通气腔（
308
）包括旋转通气腔一（
3201
）
、
旋转通气腔二（
3202
），所述双桶吸附箱进气口（
3101
）与旋转通气腔一（
3201
）的旋转通气腔出气口（
3104
）相连接，所述双桶吸附箱出气口（
3102
）与旋转通气腔二（
3202
）的旋转通气腔出气口（
3104
）相连接；所述抽屉（
311
）设置有多组，通过所述抽屉锁扣（
312
）固定设置于双桶翻转式活性炭吸附箱（
301
）上；所述管路机构（5）包括进气管（
501
）
、
洗涤出气管（
502
）
、
活性炭吸附出气管（
506
）
、
风机（
508
）
、
排气烟囱（
509
），所述进气管（
501
）固定设置于自动翻板洗涤塔（
101
）的进气口（
1101
）上，所述洗涤出气管（
502
）固定设置于自动翻板洗涤塔（
101
）的出气口（
1102
）上，所述活性炭吸附出气管（
...

【专利技术属性】
技术研发人员：陈胜前，贾云义，
申请(专利权)人：江苏虎虎机电科技有限公司，
类型：发明
国别省市：