【技术实现步骤摘要】
本专利技术涉及半导体原材料运输领域，具体是一种半导体加工用超高纯化学品运输监控系统及方法。
技术介绍
1、半导体，指常温下导电性能介于导体与绝缘体之间的材料；半导体在收音机、电视机以及测温上有着广泛的应用；如二极管就是采用半导体制作的器件，半导体在加工时需要使用到超高纯化学品，如超高纯氨水，而这些超高纯氨水需要使用超高纯化学品运输装置将其输送到加工厂进行加工，由于超高纯氨水属于有毒液体，发生泄漏时不仅会污染环境，还可能会威胁到周围居民，所以现有的超高纯化学品运输装置不仅会设置双层储存结构，且运输装置上还通常自带有监控系统，使得在运输中可实时监控超高纯化学品是否存在渗漏问题。
2、比如现有中国专利（公开号：cn218505724u）公开了一种箱式智能化监控危险化学品运输车，箱体与车体之间设有阻尼减震器，减弱箱体的振动，车体内设有弹簧，防止箱体晃动撞击车体导致损坏，车体在受到撞击后存在形变空间，提高箱体内危险化学品的保护性，箱体内设有检测液体泄漏的液位传感器，气压阀可检测放置室内的气压，在气体泄漏后进行预警，散热机构可降低箱体温度，防止化学品在高温下不稳定，进一步提高防护效果。
3、但是上述设计的箱式智能化监控危险化学品运输车在实际应用中还存在一些缺点：该箱式智能化监控危险化学品运输车在对化学品运输监控时，是使用精密仪器进行监控，但是过于依赖精密仪器，这就使得当精密监控仪器出现故障时，容易出现误判的问题，进而给运输人员不便，且精密监控仪器在使用一段时间后可能需要维护或者调试，这不仅费时费力，还较为麻烦，此外，
4、为此，我们设计了一种半导体加工用超高纯化学品运输监控系统及方法用来解决上述问题。
技术实现思路
1、本专利技术的目的在于：为了解决现有的半导体加工用超高纯化学品运输监控系统容易出现误判及运输安全性较低的问题，提供一种半导体加工用超高纯化学品运输监控系统及方法。
2、为实现上述目的，本专利技术提供如下技术方案：一种半导体加工用超高纯化学品运输监控系统，包括车头，所述车头的一侧设置有车厢，所述车厢内设置有底架，所述底架的顶部设置有滑槽，所述滑槽内对称滑动插接有两个滑块，所述滑块的顶部设置有安装座，所述安装座内转动设置有转动件，所述转动件的另一端转动套接有固定座，所述固定座的另一侧设置有储液箱，所述储液箱内用于储存超高纯氨水，两个所述滑块相背的一侧均设置有缓冲弹簧和阻尼缸，所述缓冲弹簧和阻尼缸的另一端与滑槽侧壁固定连接，所述缓冲弹簧活动套接在阻尼缸上，两个所述滑块相对的一侧分别设置有触块和电磁按钮，所述触块和电磁按钮在储液箱内超高纯氨水泄漏时配合相抵，所述车厢的顶部设置有警报器，所述电磁按钮与警报器电性连接，所述底架内，所述底架内还设置有收集组件，所述收集组件包括安装槽、转轴、封堵件和两个发条，所述安装槽开设在底架内，所述底架内设置有储存腔，所述滑槽、安装槽和储存腔相连通，所述转轴转动设置在安装槽内，所述封堵件固定套接在转轴上，所述发条活动套接在转轴上且两端分别与封堵件和安装槽固定连接，所述底架的一侧设置有第二水龙头，所述储液箱的一侧设置有第一水龙头，所述车厢内对称设置有两个斜板。
3、作为本专利技术再进一步的方案：所述安装座内设置有第一销轴，所述固定座内设置有第二销轴，所述转动件的两端分别转动套接在第一销轴和第二销轴上。
4、作为本专利技术再进一步的方案：所述车厢内侧壁设置有滚轮组，所述滚轮组包括架体和轮体，所述架体设置在车厢内侧壁，所述轮体转动设置在架体上，所述储液箱的底部设置有绳索，所述绳索的一端与轮体相抵且设置有夹持架，所述夹持架内设置有夹持组件，所述夹持组件包括导向杆、驱动组件、两个齿条、固定件和夹持件，所述导向杆设置在夹持架内，所述齿条滑动套接在导向杆上，所述固定件设置在齿条的顶部，所述夹持件设置在固定件的一侧，且所述夹持件与储液箱配合相抵，所述驱动组件设置在夹持架内且两侧分别与绳索和齿条连接。
5、作为本专利技术再进一步的方案：所述夹持架的顶部开设有滑口，所述固定件滑动连接在滑口内。
6、作为本专利技术再进一步的方案：所述驱动组件包括滑轨、滑条、滑件、两个第一连接件、第一固定轴、第二连接件、第二固定轴、第三连接件、第三固定轴和扇形齿轮，所述滑轨开设在夹持架内，所述滑条滑动插接在滑轨内且与滑件固定连接，所述第一连接件设置在滑件的一侧，所述第一固定轴固定插接在第一连接件上，所述第二连接件转动套接在第一固定轴上，所述第二固定轴固定插接在第二连接件上，所述第三连接件转动套接在第二固定轴上，所述第三固定轴转动设置在夹持架内，且所述第三连接件的另一端和扇形齿轮均固定套接在第三固定轴上，所述扇形齿轮与齿条啮合连接，所述夹持架的底部设置有通孔，所述绳索穿过通孔并与滑件固定连接。
7、作为本专利技术再进一步的方案：所述车厢的三面均开设有固定槽，所述固定槽内设置有气囊，所述车厢的顶部设置有充气组件，所述充气组件包括充气箱、活塞、复位弹簧、动力组件、单向吸气阀、单向排气阀、四通管和多个输气管，所述充气箱设置在车厢的顶部，所述活塞滑动设置在充气箱内，所述复位弹簧的两端分别与活塞和充气箱连接，所述动力组件设置在充气箱上且与活塞连接，所述单向吸气阀和单向排气阀分别固定插接在充气箱的一侧和底部，所述四通管设置在单向排气阀上，多个所述输气管均固定插接在四通管相适配的口内，且所述输气管的另一端固定插接在气囊内。
8、作为本专利技术再进一步的方案：所述充气箱内设置有滑腔，所述活塞滑动连接在滑腔内，所述复位弹簧的两端分别与活塞和滑腔内壁固定连接。
9、作为本专利技术再进一步的方案：所述动力组件包括传动轴、凸轮和电机，所述传动轴转动设置在滑腔内，所述凸轮固定套接在传动轴上且与活塞相抵，所述电机设置在充气箱的前侧，且所述电机与传动轴的一端传动连接，所述电机与电磁按钮电性连接。
10、作为本专利技术再进一步的方案：所述车厢的一侧设置有下料口，所述车厢一侧的两端均设置有第三销轴，所述下料口上通过第三销轴转动设置有两个封堵门。
11、本专利技术还公开了一种半导体加工用超高纯化学品运输监控方法，采用上述一种半导体加工用超高纯化学品运输监控系统，包括以下步骤：
12、s1、首先将超高纯氨水通过第一水龙头注入储液箱内，使得在运输时，超高纯氨水有储液箱和车厢双层保护，然后当储液箱内超高纯氨水在运输中发生泄漏时，此时储液箱的质量会变轻，使得缓冲弹簧会因自身弹力将两个滑块推动靠近，此过程中转动件会在安装座和固定座内转动调整角度，当触块与电磁按钮相抵时，此时说明储液本文档来自技高网...
【技术保护点】
1.一种半导体加工用超高纯化学品运输监控系统，包括车头（1），其特征在于，所述车头（1）的一侧设置有车厢（2），所述车厢（2）内设置有底架（3），所述底架（3）的顶部设置有滑槽（4），所述滑槽（4）内对称滑动插接有两个滑块（5），所述滑块（5）的顶部设置有安装座（6），所述安装座（6）内转动设置有转动件（8），所述转动件（8）的另一端转动套接有固定座（7），所述固定座（7）的另一侧设置有储液箱（40），所述储液箱（40）内用于储存超高纯氨水，两个所述滑块（5）相背的一侧均设置有缓冲弹簧（9）和阻尼缸（10），所述缓冲弹簧（9）和阻尼缸（10）的另一端与滑槽（4）侧壁固定连接，所述缓冲弹簧（9）活动套接在阻尼缸（10）上，两个所述滑块（5）相对的一侧分别设置有触块（11）和电磁按钮（12），所述触块（11）和电磁按钮（12）在储液箱（40）内超高纯氨水泄漏时配合相抵，所述车厢（2）的顶部设置有警报器（13），所述电磁按钮（12）与警报器（13）电性连接，所述底架（3）内，所述底架（3）内还设置有收集组件，所述收集组件包括安装槽（16）、转轴（17）、封堵件（18）和两个发条（19）
2.根据权利要求1所述的一种半导体加工用超高纯化学品运输监控系统，其特征在于，所述安装座（6）内设置有第一销轴（14），所述固定座（7）内设置有第二销轴（15），所述转动件（8）的两端分别转动套接在第一销轴（14）和第二销轴（15）上。
3.根据权利要求1所述的一种半导体加工用超高纯化学品运输监控系统，其特征在于，所述车厢（2）内侧壁设置有滚轮组（22），所述滚轮组（22）包括架体和轮体，所述架体设置在车厢（2）内侧壁，所述轮体转动设置在架体上，所述储液箱（40）的底部设置有绳索（23），所述绳索（23）的一端与轮体相抵且设置有夹持架（24），所述夹持架（24）内设置有夹持组件，所述夹持组件包括导向杆（25）、驱动组件、两个齿条（26）、固定件（27）和夹持件（28），所述导向杆（25）设置在夹持架（24）内，所述齿条（26）滑动套接在导向杆（25）上，所述固定件（27）设置在齿条（26）的顶部，所述夹持件（28）设置在固定件（27）的一侧，且所述夹持件（28）与储液箱（40）配合相抵，所述驱动组件设置在夹持架（24）内且两侧分别与绳索（23）和齿条（26）连接。
4.根据权利要求3所述的一种半导体加工用超高纯化学品运输监控系统，其特征在于，所述夹持架（24）的顶部开设有滑口（29），所述固定件（27）滑动连接在滑口（29）内。
5.根据权利要求3所述的一种半导体加工用超高纯化学品运输监控系统，其特征在于，所述驱动组件包括滑轨（30）、滑条（31）、滑件（32）、两个第一连接件（33）、第一固定轴（34）、第二连接件（35）、第二固定轴（36）、第三连接件（37）、第三固定轴（38）和扇形齿轮（39），所述滑轨（30）开设在夹持架（24）内，所述滑条（31）滑动插接在滑轨（30）内且与滑件（32）固定连接，所述第一连接件（33）设置在滑件（32）的一侧，所述第一固定轴（34）固定插接在第一连接件（33）上，所述第二连接件（35）转动套接在第一固定轴（34）上，所述第二固定轴（36）固定插接在第二连接件（35）上，所述第三连接件（37）转动套接在第二固定轴（36）上，所述第三固定轴（38）转动设置在夹持架（24）内，且所述第三连接件（37）的另一端和扇形齿轮（39）均固定套接在第三固定轴（38）上，所述扇形齿轮（39）与齿条（26）啮合连接，所述夹持架（24）的底部设置有通孔，所述绳索（23）穿过通孔并与滑件（32）固定连接。
6.根据权利要求1所述的一种半导体加工用超高纯化学品运输监控系统，其特征在于，所述车厢（2）的三面均开设有固定槽（50），所述固定槽（50）内设置有气囊（51），所述车厢（2）的顶部设置有充气组件，所述充气组件包括充气箱（41）、活塞（42）、复位弹簧（43）、动力组件、单向吸气阀（46）、单向排气阀（47）、四通管（48）和多个输气管（49），所述充气箱（41）设置在车厢（2）的顶部，所述活塞（42）滑动设置在充气箱（41）内，所述复位弹簧（...
【技术特征摘要】
1.一种半导体加工用超高纯化学品运输监控系统，包括车头（1），其特征在于，所述车头（1）的一侧设置有车厢（2），所述车厢（2）内设置有底架（3），所述底架（3）的顶部设置有滑槽（4），所述滑槽（4）内对称滑动插接有两个滑块（5），所述滑块（5）的顶部设置有安装座（6），所述安装座（6）内转动设置有转动件（8），所述转动件（8）的另一端转动套接有固定座（7），所述固定座（7）的另一侧设置有储液箱（40），所述储液箱（40）内用于储存超高纯氨水，两个所述滑块（5）相背的一侧均设置有缓冲弹簧（9）和阻尼缸（10），所述缓冲弹簧（9）和阻尼缸（10）的另一端与滑槽（4）侧壁固定连接，所述缓冲弹簧（9）活动套接在阻尼缸（10）上，两个所述滑块（5）相对的一侧分别设置有触块（11）和电磁按钮（12），所述触块（11）和电磁按钮（12）在储液箱（40）内超高纯氨水泄漏时配合相抵，所述车厢（2）的顶部设置有警报器（13），所述电磁按钮（12）与警报器（13）电性连接，所述底架（3）内，所述底架（3）内还设置有收集组件，所述收集组件包括安装槽（16）、转轴（17）、封堵件（18）和两个发条（19），所述安装槽（16）开设在底架（3）内，所述底架（3）内设置有储存腔，所述滑槽（4）、安装槽（16）和储存腔相连通，所述转轴（17）转动设置在安装槽（16）内，所述封堵件（18）固定套接在转轴（17）上，所述发条（19）活动套接在转轴（17）上且两端分别与封堵件（18）和安装槽（16）固定连接，所述底架（3）的一侧设置有第二水龙头（20），所述储液箱（40）的一侧设置有第一水龙头（21），所述车厢（2）内对称设置有两个斜板。
2.根据权利要求1所述的一种半导体加工用超高纯化学品运输监控系统，其特征在于，所述安装座（6）内设置有第一销轴（14），所述固定座（7）内设置有第二销轴（15），所述转动件（8）的两端分别转动套接在第一销轴（14）和第二销轴（15）上。
3.根据权利要求1所述的一种半导体加工用超高纯化学品运输监控系统，其特征在于，所述车厢（2）内侧壁设置有滚轮组（22），所述滚轮组（22）包括架体和轮体，所述架体设置在车厢（2）内侧壁，所述轮体转动设置在架体上，所述储液箱（40）的底部设置有绳索（23），所述绳索（23）的一端与轮体相抵且设置有夹持架（24），所述夹持架（24）内设置有夹持组件，所述夹持组件包括导向杆（25）、驱动组件、两个齿条（26）、固定件（27）和夹持件（28），所述导向杆（25）设置在夹持架（24）内，所述齿条（26）滑动套接在导向杆（25）上，所述固定件（27）设置在齿条（26）的顶部，所述夹持件（28）设置在固定件（27）的一侧，且所述夹持件（28）与储液箱（40）配合相抵，所述驱动组件设置在夹持架（24）内且两侧分别与绳索（23）和齿条（26）连接。
4.根据权利要求3所述的一种半导体加工用超高纯化学品运输监控系统，其特征在于，所述夹持架（24）的顶部开设有滑口（29），所述固定件（27）滑动连接在滑口（29）内。
5.根据权利要求3所述的一种半导体加工用超高纯化学品运输监控...
【专利技术属性】
技术研发人员：陈胜前，
申请(专利权)人：江苏虎虎机电科技有限公司，
类型：发明
国别省市：
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