System.ArgumentOutOfRangeException: 索引和长度必须引用该字符串内的位置。 参数名: length 在 System.String.Substring(Int32 startIndex, Int32 length) 在 zhuanliShow.Bind() 一种半导体芯片用化学品输送在线监控设备及使用方法技术_技高网

一种半导体芯片用化学品输送在线监控设备及使用方法技术

技术编号:40359596 阅读:6 留言:0更新日期:2024-02-09 14:46
本发明专利技术属于化学品输送技术领域,尤其是一种半导体芯片用化学品输送在线监控设备及使用方法,其监控设备包括集装箱,集装箱的底部内壁上固定安装有支撑板,支撑板的一侧开设有滑槽,滑槽内滑动连接有移动板,本发明专利技术在对化学品进行运输时,能够对装有化学品的包装桶进行稳定的夹持定位,以此可在运输时,不会造成包装桶发生晃动,并且在对化学品运输时,能够对集装箱内的温度进行监控,可在需要进行通风降温时,能够及时的降温,所以综上两种技术效果,可在对化学品进行运输时,具体良好的安全性。

【技术实现步骤摘要】

本专利技术涉及化学品输送,尤其涉及一种半导体芯片用化学品输送在线监控设备及使用方法


技术介绍

1、目前一些在半导体、太阳能、集成电路等特定领域中应用的特殊化学品,常常具有强腐蚀性、强氧化性、剧毒、遇水剧烈反应等特性,一旦泄漏不仅严重威胁操作人员的身体健康,而且严重污染环境,为企业、个人,社会造成不必要的损失和伤害。因此储存、运输、操作过程中都需十分谨慎。

2、根据公告号:cn211336021u公开了一种半导体用化学品输送装置。该半导体用化学品输送装置,包括运输箱储存箱,所述运输箱的底部与固定块的顶部固定连接,所述固定块的底部与连接杆的顶部固定连接,所述连接杆的底部与滑轮的转轴部分活动连接,所述运输箱的内壁与防潮层的一侧固定连接,所述防潮层的另一层与阻燃层的一侧固定连接。该半导体用化学品输送装置,通过储存箱内设置的存放罐,使大批量化学品在进行输送时也能合理的储存,通过存放罐的双层石英壁结构,使化学品在泄漏时有一定的保障,通过存放罐外层连接的采集环、示警管及示警管内部放置的变色剂,使泄漏发生时,相关人员能及时通过示警管内颜色变化做出紧急处置。

3、现有技术中在对化学品输送时仍存在一些不足:

4、1、目前在长途运输化学品时,一般用于输送化学品的集装箱内没有设置有用于对装有化学试剂的包装桶的夹持定位装置,致使包装桶在输送的过程中会发生晃动,存在一定的安全隐患;

5、2、目前的用于输送化学品的集装箱内没有设置有控温装置,在夏日输送时,往往温度较高,化学试剂在输送的过程中,容易在高温的作用下,存在一定的安全隐患。

6、针对上述问题,本专利技术文件提出了一种半导体芯片用化学品输送在线监控设备及使用方法。


技术实现思路

1、本专利技术提供了一种半导体芯片用化学品输送在线监控设备及使用方法,解决了现有技术中在对化学试剂进行输送时缺少定位装置以及在输送的过程中缺少相应的控温装置,会存在一定的安全隐患的缺点。

2、本专利技术提供了如下技术方案:

3、一种半导体芯片用化学品输送在线监控设备,包括集装箱,集装箱的底部内壁上固定安装有支撑板,支撑板的一侧开设有滑槽,滑槽内滑动连接有移动板,集装箱的两侧内壁上均固定安装有滑轨,两个滑轨上滑动连接有同一个托板,移动板的一侧和托板的一侧均延伸至集装箱的外侧并固定安装有同一个门板,门板完全覆盖集装箱的开口,集装箱的底部对称固定安装有多个连接地脚,该监控设备还包括:

4、两个动力机构,两个动力机构对称安装在托板的底部,且动力机构的底部与集装箱的底部内壁相连接,用于带动托板移入集装箱或移出集装箱;

5、两个夹持机构,两个夹持机构对称安装在托板的顶部,托板上对称开设有两个移动孔,夹持机构的底部贯穿对应的移动孔并延伸至托板的下方;

6、传动机构,传动机构贯穿移动板并与移动板相连接,传动机构分别与两个夹持机构和集装箱的两侧内壁相连接,用于驱动夹持机构进行运动,对装有化学试剂的包装桶进行定位夹持;

7、多个测温传感器,多个测温传感器对称固定安装在集装箱的两侧顶部内壁上;

8、通风机构,通风机构安装在集装箱的顶部,多个测温传感器均与通风机构电性连接。

9、在一种可能的设计中,所述动力机构包括固定安装在托板底部的安装板,安装板的一侧底部固定安装有连接板,连接板的一侧固定安装有移动箱,移动箱的底部滑动连接有导轨,导轨与集装箱的底部内壁相连接,安装板的一侧固定安装有驱动电机,驱动电机的输出轴延伸至移动箱内并连接有齿轮组件,齿轮组件的底部延伸至移动箱的下方并与导轨的顶部相连接。

10、在一种可能的设计中,所述齿轮组件包括贯穿移动箱的底部内壁并与移动箱的底部内壁转动连接的传动轴,传动轴的底端固定安装有传动齿轮,导轨的顶部固定安装有传动齿条,传动齿轮与传动齿条相啮合,传动轴的顶端固定安装有从动伞齿轮,驱动电机的输出轴上固定安装有主动伞齿轮,主动伞齿轮与从动伞齿轮相啮合。

11、在一种可能的设计中,所述夹持机构包括固定安装在托板顶部的固定夹板和滑动连接在托板顶部的移动夹板,移动夹板与固定夹板相配合,用于对装有化学试剂的包装桶进行定位夹持,移动孔内贯穿滑动连接有螺纹板,螺纹板上贯穿螺纹连接有位于托板上方的调节丝杆,调节丝杆的一端与移动夹板转动连接,传动机构与螺纹板相连接。

12、在一种可能的设计中,所述传动机构包括贯穿移动板并与移动板固定连接的支撑管,支撑管内贯穿转动连接有双向螺杆,双向螺杆分别贯穿两个螺纹板,双向螺杆通过设置在其上的两段方向相反的螺纹分别与两个螺纹板螺纹连接,双向螺杆的两端均固定安装有驱动齿轮,集装箱的两侧内壁上均固定安装有固定齿条,驱动齿轮与对应的固定齿条相啮合。

13、在一种可能的设计中,所述通风机构包括固定安装在集装箱顶部的安装箱,安装箱内连接有多个抽风组件,集装箱的顶部一侧安装有驱动组件,驱动组件的一侧延伸至安装箱内并分别与多个抽风组件相连接,集装箱的顶部固定安装有位于安装箱一侧的集合箱,多个抽风组件的一端均延伸至集合箱内并与集合箱的一侧内壁相连接,集合箱的另一侧内壁上固定安装有排风管,排风管的底端延伸至集装箱内并与集装箱的顶部内壁固定连接,排风管内固定安装有网板,用于对气体中的粉尘进行过滤,集合箱内安装有清理组件,用于对附着在网板上的粉尘刮落,清理组件的一侧延伸至集合箱的外侧并与驱动组件相连接。

14、在一种可能的设计中,所述抽风组件包括贯穿安装箱一侧内壁并与安装箱一侧内壁固定连接的锥形管,锥形管的一端转动连接有转动管,转动管内固定安装有轴流叶片,转动管与驱动组件相连接,锥形管的另一端延伸至集合箱内并与集合箱的一侧内壁固定连接。

15、在一种可能的设计中,所述驱动组件包括固定安装在集装箱顶部的传动电机,传动电机与多个测温传感器通过控制器电性连接,安装箱内转动连接有驱动轴,驱动轴上等间距固定套设有多个蜗杆,转动管上固定套设有蜗轮,蜗杆与对应的蜗轮相啮合,驱动轴的一端延伸至安装箱的外侧并固定安装有连接伞齿轮,传动电机的输出轴上固定安装有传动伞齿轮,传动伞齿轮与连接伞齿轮相啮合,驱动轴与清理组件相连接。

16、在一种可能的设计中,所述清理组件包括转动连接在集合箱内的转轴,转轴上固定套设有传动辊,传动辊上套设有传动环,传动环的内侧固定安装有挡块,传动辊上开设有呈螺旋状的环形槽,挡块的一侧延伸至环形槽内并与环形槽的内壁传动配合,传动环的一侧固定安装有刮板,刮板与集合箱的内壁滑动连接,刮板的一侧与网板的一侧相接触,用于清除附着在网板上的粉尘,转轴的一端延伸至集合箱的外侧,转轴和驱动轴上传动套设有同一个传动带。

17、所述的半导体芯片用化学品输送在线监控设备的使用方法,包括以下步骤:

18、s1、通过转动调节丝杆带动移动夹板进行移动,对移动夹板的初始位置进行调节,所以在对移动夹板的位置调节时,能够适应不同尺寸的包装桶;

19、s2、将装有化学品的包装桶本文档来自技高网...

【技术保护点】

1.一种半导体芯片用化学品输送在线监控设备,包括集装箱(1),集装箱(1)的底部内壁上固定安装有支撑板(3),支撑板(3)的一侧开设有滑槽,滑槽内滑动连接有移动板(5),集装箱(1)的两侧内壁上均固定安装有滑轨(2),两个滑轨(2)上滑动连接有同一个托板(4),移动板(5)的一侧和托板(4)的一侧均延伸至集装箱(1)的外侧并固定安装有同一个门板(6),门板(6)完全覆盖集装箱(1)的开口,集装箱(1)的底部对称固定安装有多个连接地脚(7),其特征在于,该监控设备还包括:

2.根据权利要求1所述的半导体芯片用化学品输送在线监控设备,其特征在于,所述动力机构包括固定安装在托板(4)底部的安装板(16),安装板(16)的一侧底部固定安装有连接板(23),连接板(23)的一侧固定安装有移动箱(19),移动箱(19)的底部滑动连接有导轨(18),导轨(18)与集装箱(1)的底部内壁相连接,安装板(16)的一侧固定安装有驱动电机(17),驱动电机(17)的输出轴延伸至移动箱(19)内并连接有齿轮组件,齿轮组件的底部延伸至移动箱(19)的下方并与导轨(18)的顶部相连接。

<p>3.根据权利要求2所述的半导体芯片用化学品输送在线监控设备,其特征在于,所述齿轮组件包括贯穿移动箱(19)的底部内壁并与移动箱(19)的底部内壁转动连接的传动轴(20),传动轴(20)的底端固定安装有传动齿轮(21),导轨(18)的顶部固定安装有传动齿条(22),传动齿轮(21)与传动齿条(22)相啮合,传动轴(20)的顶端固定安装有从动伞齿轮(25),驱动电机(17)的输出轴上固定安装有主动伞齿轮(24),主动伞齿轮(24)与从动伞齿轮(25)相啮合。

4.根据权利要求1所述的半导体芯片用化学品输送在线监控设备,其特征在于,所述夹持机构包括固定安装在托板(4)顶部的固定夹板(8)和滑动连接在托板(4)顶部的移动夹板(9),移动夹板(9)与固定夹板(8)相配合,用于对装有化学试剂的包装桶进行定位夹持,移动孔内贯穿滑动连接有螺纹板(10),螺纹板(10)上贯穿螺纹连接有位于托板(4)上方的调节丝杆(11),调节丝杆(11)的一端与移动夹板(9)转动连接,传动机构与螺纹板(10)相连接。

5.根据权利要求1所述的半导体芯片用化学品输送在线监控设备,其特征在于,所述传动机构包括贯穿移动板(5)并与移动板(5)固定连接的支撑管(12),支撑管(12)内贯穿转动连接有双向螺杆(13),双向螺杆(13)分别贯穿两个螺纹板(10),双向螺杆(13)通过设置在其上的两段方向相反的螺纹分别与两个螺纹板(10)螺纹连接,双向螺杆(13)的两端均固定安装有驱动齿轮(14),集装箱(1)的两侧内壁上均固定安装有固定齿条(15),驱动齿轮(14)与对应的固定齿条(15)相啮合。

6.根据权利要求1所述的半导体芯片用化学品输送在线监控设备,其特征在于,所述通风机构包括固定安装在集装箱(1)顶部的安装箱(28),安装箱(28)内连接有多个抽风组件,集装箱(1)的顶部一侧安装有驱动组件,驱动组件的一侧延伸至安装箱(28)内并分别与多个抽风组件相连接,集装箱(1)的顶部固定安装有位于安装箱(28)一侧的集合箱(37),多个抽风组件的一端均延伸至集合箱(37)内并与集合箱(37)的一侧内壁相连接,集合箱(37)的另一侧内壁上固定安装有排风管(27),排风管(27)的底端延伸至集装箱(1)内并与集装箱(1)的顶部内壁固定连接,排风管(27)内固定安装有网板(43),用于对气体中的粉尘进行过滤,集合箱(37)内安装有清理组件,用于对附着在网板(43)上的粉尘刮落,清理组件的一侧延伸至集合箱(37)的外侧并与驱动组件相连接。

7.根据权利要求6所述的半导体芯片用化学品输送在线监控设备,其特征在于,所述抽风组件包括贯穿安装箱(28)一侧内壁并与安装箱(28)一侧内壁固定连接的锥形管(36),锥形管(36)的一端转动连接有转动管(29),转动管(29)内固定安装有轴流叶片(42),转动管(29)与驱动组件相连接,锥形管(36)的另一端延伸至集合箱(37)内并与集合箱(37)的一侧内壁固定连接。

8.根据权利要求7所述的半导体芯片用化学品输送在线监控设备,其特征在于,所述驱动组件包括固定安装在集装箱(1)顶部的传动电机(30),传动电机(30)与多个测温传感器(26)通过控制器电性连接,安装箱(28)内转动连接有驱动轴(32),驱动轴(32)上等间距固定套设有多个蜗杆(34),转动管(29)上固定套设有蜗轮(35),蜗杆(34)与对应的蜗轮(35)相啮合,驱动轴(32)的一端延伸至安装箱(28)的外侧并固定安装有连接伞齿轮(33)...

【技术特征摘要】

1.一种半导体芯片用化学品输送在线监控设备,包括集装箱(1),集装箱(1)的底部内壁上固定安装有支撑板(3),支撑板(3)的一侧开设有滑槽,滑槽内滑动连接有移动板(5),集装箱(1)的两侧内壁上均固定安装有滑轨(2),两个滑轨(2)上滑动连接有同一个托板(4),移动板(5)的一侧和托板(4)的一侧均延伸至集装箱(1)的外侧并固定安装有同一个门板(6),门板(6)完全覆盖集装箱(1)的开口,集装箱(1)的底部对称固定安装有多个连接地脚(7),其特征在于,该监控设备还包括:

2.根据权利要求1所述的半导体芯片用化学品输送在线监控设备,其特征在于,所述动力机构包括固定安装在托板(4)底部的安装板(16),安装板(16)的一侧底部固定安装有连接板(23),连接板(23)的一侧固定安装有移动箱(19),移动箱(19)的底部滑动连接有导轨(18),导轨(18)与集装箱(1)的底部内壁相连接,安装板(16)的一侧固定安装有驱动电机(17),驱动电机(17)的输出轴延伸至移动箱(19)内并连接有齿轮组件,齿轮组件的底部延伸至移动箱(19)的下方并与导轨(18)的顶部相连接。

3.根据权利要求2所述的半导体芯片用化学品输送在线监控设备,其特征在于,所述齿轮组件包括贯穿移动箱(19)的底部内壁并与移动箱(19)的底部内壁转动连接的传动轴(20),传动轴(20)的底端固定安装有传动齿轮(21),导轨(18)的顶部固定安装有传动齿条(22),传动齿轮(21)与传动齿条(22)相啮合,传动轴(20)的顶端固定安装有从动伞齿轮(25),驱动电机(17)的输出轴上固定安装有主动伞齿轮(24),主动伞齿轮(24)与从动伞齿轮(25)相啮合。

4.根据权利要求1所述的半导体芯片用化学品输送在线监控设备,其特征在于,所述夹持机构包括固定安装在托板(4)顶部的固定夹板(8)和滑动连接在托板(4)顶部的移动夹板(9),移动夹板(9)与固定夹板(8)相配合,用于对装有化学试剂的包装桶进行定位夹持,移动孔内贯穿滑动连接有螺纹板(10),螺纹板(10)上贯穿螺纹连接有位于托板(4)上方的调节丝杆(11),调节丝杆(11)的一端与移动夹板(9)转动连接,传动机构与螺纹板(10)相连接。

5.根据权利要求1所述的半导体芯片用化学品输送在线监控设备,其特征在于,所述传动机构包括贯穿移动板(5)并与移动板(5)固定连接的支撑管(12),支撑管(12)内贯穿转动连接有双向螺杆(13),双向螺杆(13)分别贯穿两个螺纹板(10),双向螺杆(13)通过设置在其上的两段方向相反的螺纹分别与两个螺纹板(10)螺纹连接,双向螺杆(13)的两端均固定安装有驱动齿轮(14),集装箱(1)的两侧内壁上均固定安装有固定齿条(15),驱动齿轮(14)与对应的固定齿条(15)相啮合。

6.根据权利要求1所述的半导体...

【专利技术属性】
技术研发人员:陈胜前王迎来
申请(专利权)人:江苏虎虎机电科技有限公司
类型:发明
国别省市:

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