高纯气体供应系统特气供应分流柜技术方案

本实用新型专利技术公开了高纯气体供应系统特气供应分流柜，包括分流箱，所述分流箱的上方活动安装有控制箱，所述控制箱是上方固定安装有支撑杆，所述支撑杆的上方固定安装有指示灯，所述分流箱的内部表面固定安装有阀门控制盘，所述阀门控制盘的表面固定安装有输送管，所述输送管的表面固定安装有真空泵，所述输送管的上方固定安装有分流管，所述分流管的表面固定安装有气动阀，所述分流管的一侧固定安装有支流管，所述支流管的表面固定安装有单向阀，所述分流箱的一侧固定安装有气体泄漏传感器，所述气体泄漏传感器的一端贯穿分流箱与报警器相互连接。通过气体泄漏传感器和报警器，使工作人员在第一时间知悉气体泄漏情况，并做出相应措施。应措施。应措施。

【技术实现步骤摘要】
高纯气体供应系统特气供应分流柜


[0001]本技术涉及高纯气体供应系统
，具体为高纯气体供应系统特气供应分流柜

技术介绍

[0002]高纯特种气体供应系统是一种用于物理学领域的科学仪器，项目覆盖半导体、集成光路、光电、新能源、微电子、生物医药、科研所、标准检测等高科技行业，特气分流柜是为气源分流而专门设计的，适用于一路或多路气源供应多路用气设备，输送过程中基本不影响气源的纯度和水氧含量。
[0003]现有的特气供应分流柜大多结构简单，不具备防火防爆的效果，在气体输送过程中存在一定的隐患，在输送过程中当气体泄漏时，工作人员并不能在第一时间知悉。

技术实现思路

[0004]本技术的目的在于提供高纯气体供应系统特气供应分流柜，以解决上述
技术介绍
中提出的现有的特气供应分流柜大多结构简单，不具备防火防爆的效果，在气体输送过程中存在一定的隐患，在输送过程中当气体泄漏时，工作人员并不能在第一时间知悉。
[0005]为实现上述目的，本技术提供如下技术方案：高纯气体供应系统特气供应分流柜，包括分流箱，其特征在于：所述分流箱的上方活动安装有控制箱，所述控制箱是上方固定安装有支撑杆，所述支撑杆的上方固定安装有指示灯，所述分流箱的内部表面固定安装有阀门控制盘，所述阀门控制盘的表面固定安装有输送管，所述输送管的表面固定安装有真空泵，所述输送管的上方固定安装有分流管，所述分流管的表面固定安装有气动阀，所述分流管的一侧固定安装有支流管，所述支流管的表面固定安装有单向阀，所述分流箱的一侧固定安装有气体泄漏传感器，所述气体泄漏传感器的一端贯穿分流箱与报警器相互连接。
[0006]优选的，所述分流箱内部两侧固定安装有散热器，所述散热器内部表面固定安装有固定杆，所述固定杆的一端固定安装有电机，所述电机的一侧转动安装有转轴，所述转轴的一端固定安装有扇叶，所述散热器的两端内部表面固定安装有防护网。
[0007]优选的，所述分流箱的表面通过第一合页活动安装有分流箱门，所述分流箱门的表面贯穿设置有观察玻璃，所述分流箱门表面的一侧固定安装有第一门把手，所述分流箱两侧的表面贯穿设置有通风口。
[0008]优选的，所述控制箱的内部通过螺栓固定安装有元器件安装板，所述控制箱表面通过第二合页活动安装有控制箱门，所述控制箱门的外表面固定安装有数据显示控制器，所述数据显示控制器的一侧固定安装有调节按钮，所述控制箱门表面的一侧固定安装有第二门把手。
[0009]优选的，所述分流箱的顶部贯穿设置有连接管，所述连接管的上方固定安装有密封接头，所述连接管与输送管相互连接。
[0010]优选的，所述分流箱的下方固定安装有支撑腿，所述支撑腿的下方固定安装有橡胶防滑垫。
[0011]与现有技术相比，本技术的有益效果是：
[0012]该特气供应分流柜，在日常使用的过程中，通过散热器与通风口对分流箱内部进行通风散热，避免箱内温度过高造成的起火从而引发爆炸的危险。
[0013]该特气供应分流柜，在日常使用的过程中，通过气体泄漏传感器与报警器的配合使用，可以使工作人员在第一时间知悉气体泄漏情况，并做出相应措施。
附图说明
[0014]图1为本技术的正视结构图；
[0015]图2为本技术的正视内部结构图；
[0016]图3为本技术的侧视结构图；
[0017]图4为本技术的散热器结构图；
[0018]图中：1、分流箱；2、控制箱；3、阀门控制盘；4、输送管；5、真空泵；6、分流管；7、气动阀；8、支流管；9、单向阀；10、气体泄漏传感器；11、报警器；12、散热器；13、螺栓；14、元器件安装板；15、第一合页；16、分流箱门；17、观察玻璃；18、第一门把手；19、第二合页；20、数据显示控制器；21、调节按钮；22、第二门把手；23、支撑杆；24、指示灯；25、连接管；26、密封接头；27、支撑腿；28、橡胶防滑垫；29、通风口；30、固定杆；31电机；32、转轴；33、扇叶；34、防护网；35控制箱门。
具体实施方式
[0019]下面将结合本技术实施例中的附图，对本技术实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本技术一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本技术中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本技术保护的范围。
[0020]请参阅图1
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4，本技术提供一种技术方案：高纯气体供应系统特气供应分流柜，包括分流箱1，分流箱1主要讲气体进行分流，分流箱1的上方活动安装有控制箱2，控制箱2是控制分流箱1进行工作，控制箱2是上方固定安装有支撑杆23，支撑杆23的上方固定安装有指示灯24，指示灯24具有知识预警的作用，分流箱1的内部表面固定安装有阀门控制盘3，阀门控制盘3主要安装各种阀门以及分流管道，阀门控制盘3的表面固定安装有输送管4，输送管4的表面固定安装有真空泵5，通过真空泵5可以将管内残余气体进行排空，输送管4的上方固定安装有分流管6，分流管6的表面固定安装有气动阀7，通过气动阀7可以关闭一个管道而其他可以继续工作，分流管6的一侧固定安装有支流管8，支流管8的表面固定安装有单向阀9，单向阀9可以使气体只能单向输送而不会发生回流，分流箱1的一侧固定安装有气体泄漏传感器10，气体泄漏传感器10可以监测分流箱1内部是否有气体泄漏，气体泄漏传感器10的一端贯穿分流箱1与报警器11相互连接，当气体发生泄漏报警器11可以发出警报，分流箱1内部两侧固定安装有散热器12，散热器12对分流箱1内部进行散热，避免内部空间温度过高，散热器12内部表面固定安装有固定杆30，固定杆30的一端固定安装有电机31，电机31的一侧转动安装有转轴32，转轴32的一端固定安装有扇叶33，通过电机31的运行带动
转轴32的旋转，从而使扇叶33进行旋转可以达到散热的效果，散热器12的两端内部表面固定安装有防护网34。
[0021]分流箱1的表面通过第一合页15活动安装有分流箱门16，分流箱门16具有防火防爆的功能，分流箱门16的表面贯穿设置有观察玻璃17，观察玻璃17可以在不打开分流箱门16的情况下检查各分流管6气压状况，分流箱门16表面的一侧固定安装有第一门把手18，分流箱1两侧的表面贯穿设置有通风口29，通风口29可以对分流箱1内部进行通风，控制箱2的内部通过螺栓13固定安装有元器件安装板14，控制箱2表面通过第二合页19活动安装有控制箱门35，控制箱门35的外表面固定安装有数据显示控制器20，通过数据显示控制器20可以直接了解到各分流管6的气体输送情况，数据显示控制器20的一侧固定安装有调节按钮21，通过调节按钮21可以对各分流管6进行调节，控制箱门35表面的一侧固定安装有第二门把手22，分流箱1的顶部贯穿设置有连接管25，通过连接管25将气体输送进分流箱1内进行分流，连接管25的上方固定安装有密封接头26，连接管25与输送管4本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.高纯气体供应系统特气供应分流柜，包括分流箱(1)，其特征在于：所述分流箱(1)的上方活动安装有控制箱(2)，所述控制箱(2)是上方固定安装有支撑杆(23)，所述支撑杆(23)的上方固定安装有指示灯(24)，所述分流箱(1)的内部表面固定安装有阀门控制盘(3)，所述阀门控制盘(3)的表面固定安装有输送管(4)，所述输送管(4)的表面固定安装有真空泵(5)，所述输送管(4)的上方固定安装有分流管(6)，所述分流管(6)的表面固定安装有气动阀(7)，所述分流管(6)的一侧固定安装有支流管(8)，所述支流管(8)的表面固定安装有单向阀(9)，所述分流箱(1)的一侧固定安装有气体泄漏传感器(10)，所述气体泄漏传感器(10)的一端贯穿分流箱(1)与报警器(11)相互连接。2.根据权利要求1所述的高纯气体供应系统特气供应分流柜，其特征在于：所述分流箱(1)内部两侧固定安装有散热器(12)，所述散热器(12)内部表面固定安装有固定杆(30)，所述固定杆(30)的一端固定安装有电机(31)，所述电机(31)的一侧转动安装有转轴(32)，所述转轴(32)的一端固定安装有扇叶(33)，所述散热器(12)的两端内部表面固定安装有防护网(34)。3.根据权利要求1所述...

【专利技术属性】
技术研发人员：陈胜前，
申请(专利权)人：江苏虎虎机电科技有限公司，
类型：新型
国别省市：