本发明是有关于一种数据库，业务内容数据管理服务器和业务内容数据管理程序，需要复杂的帐票程序，可以低成本构筑多样帐票的照会系统。容纳表示业务过程的业务内容的业务内容数据(例如，帐票数据)的数据库(例如，立方体群存储部100)包含作为一维数...

在对便携终端31提供传票数据的帐票查询系统500中，更加提高安全性。便携终端管理服务器10，具有业务信息暂时保管DB16，用以存储向便携终端31提供的传票数据。从传票数据管理服务器中取得最新的传票数据，并将取得的传票数据容纳于业务信息暂...

本发明是有关于一种数据库，管理服务器和管理程序，不需要复杂的帐票程序，可用低成本核对多个帐票。DWH服务器DB310包含：存储成为业务过程的每个业务单位中发生的传票数据的传票明细数据和由上述传票数据生成的传票明细数据的传票明细数据DB1...

减轻ERP系统的数据更新或检索的处理负荷。数据库具有登录了包含含有多个业务过程的与流程相关的各种数据的流程数据的流程表PT，上述流程数据为包含状态数据，通用数据和过程固有数据的数据。上述状态数据为表示在上述流程中包含的多个业务过程各自的...

本发明的目的无需烦琐的检索作业，且易于查询业务进展等的系统。在容纳登录在业务过程的每个业务单位发生的传票数据的检索时使用的索引数据的索引表的数据库中，上述索引数据为包含分别与各传票数据对应的多个传票加工数据的数据，上述传票加工数据为以传...

减轻ERP系统的数据更新或检索的处理负荷。数据库具有登录了包含含有多个业务过程的流程的各种数据的流程数据的流程表PT，登录了表示上述流程数据的更新条件的更新条件数据的更新条件表UT。上述流程数据为包含状态数据，通用数据和过程固有数据的数...

公开了一种衬底处理装置，尤其公开了一种能够对衬底实施诸如退火、沉积和刻蚀等预定工序的衬底处理装置。该衬底处理装置包括：腔室，用于形成密封处理空间，覆盖元件，用于覆盖所述腔室的内表面的至少一部分，以及温度控制元件，安装于所述覆盖元件和所述...

本发明涉及基板处理系统，尤其涉及在基板表面进行处理的基板处理系统及基板处理系统的卸载互锁模块。所述基板处理系统包括：基板交换模块，用于对托盘上完成处理的基板进行卸载，并对将要进行基板处理的基板进行装载；装载互锁模块，用于从所述基板交换模...

公开了一种真空处理装置，其能够实现关于例如用于液晶显示器（ＬＣＤ）面板的玻璃基片的基片的真空处理（例如蚀刻处理和沉积处理）。该真空处理装置包括具有处理空间的真空室；具有矩形形状，且安装于该真空室内的基片支承单元，用于支承基片；安装于该基...

本发明涉及真空处理装置，具体涉及对用于ＬＣＤ控制板的玻璃等基板进行所相关的蚀刻、蒸发等真空处理的真空处理装置。本发明所提供的真空处理装置包括：在真空腔体的内表面中至少一部分上可拆卸地紧密连接的、表面上形成有包括Ｗ、Ｎｉ、Ｗ－Ｎ、Ｃｒ及Ｍ...

本发明涉及真空处理装置，具体涉及对用于ＬＣＤ控制板的玻璃等基板进行所相关的蚀刻、蒸发等真空处理的真空处理装置。本发明所提供的真空处理装置包括相互连接形成对基板进行真空处理的处理空间的腔体本体以及上部盖子、设置于所述上部盖子的下侧，向所述...

本发明涉及真空处理系统，更详细地，涉及在真空状态下对基板表面进行蚀刻、蒸汽沉积等基板真空处理的真空处理系统。一种真空处理系统，其特征在于，上述真空处理系统包括：装载／卸载模块，在托盘上对多个基板进行装载或者卸载；一个以上的工序模块，上述...

公开了一种利用静电引力以吸附的方式固定基板的静电吸盘，以及该静电吸盘的制备方法。所述静电吸盘包括被分成多个电极部分并且连接到直流电源的电极层，以使所述多个电极部分具有相同的极性。因此，静电引力可以被快速产生和释放，并且可以避免一些位置的...

本发明公开了一种用于传送诸如基片的待传送物体的传送装置、具有相同功能的传送室，以及包括具有相同功能装置的真空处理系统。所述传送装置包括：第一传送组件，包括：用于支撑待传送物体的第一手柄，通过旋转线性移动所述第一手柄以传送所述待传送物体的...

公开了一种用于制造太阳能电池的薄膜沉积处理系统，尤其是一种用于制造太阳能电池的、能够在太阳能电池的晶硅片的表面上形成诸如防反射膜的薄膜的薄膜沉积处理系统，以及一种清洗用于制造太阳能电池的薄膜沉积处理组件的方法。该用于制造太阳能电池的薄膜...

本发明公开的是能够用于液晶（ＬＣＤ）面板或晶片在诸如玻璃基片上执行刻蚀或沉积处理的真空处理装置。该真空处理装置，包括：在其内部形成用于真空处理的处理空间，以及形成在腔体一侧或更多侧用于将基片放入取出腔体的门，其中通过切除门的面对着处理空...