【技术实现步骤摘要】
本专利技术涉及 一种通过利用静电引力支撑基板的静电吸盘，以及该 静电吸盘的制备方法。
技术介绍
静电吸盘是一种通过利用静电引力支撑基板的设备。静电吸盘通 常用于在真空状态中使用等离子体处理基板的基板处理设备(例如真 空处理设备)中支撑小心固定的物体(例如基板)。通过静电吸盘固定的基板包括用于液晶面板的玻璃基板。用于液 晶面板的玻璃基板正为高产量大批量生产并且与更大的液晶显示器 相适应。随着基板变大，静电吸盘也在变大。根据电源供应的方法，静电吸盘分为成对形成具有精细图案(minute patterns)的阳极和阴极的双极性类型，和使用单一极性的 单极性类型。然而，所述双极性类型静电吸盘在用于更大的静电吸盘时存在问题。更具体地，当双极性类型静电吸盘通过烧结陶瓷片或者使用聚酰 胺制备时，在具有分钟模式的电极会出现短路现象。并且，使用烧结 方式或者压制方式的制备方法可能存在各自的问题。相反，所述单极性类型的静电吸盘由于使用等离子体喷涂工艺这 种易于制造的方法正被广泛使用。但是，所述单极性类型静电吸盘也 存在下述问题。第一，当单极性类型静电吸盘变大时，需要花费长时间来为静...
【技术保护点】
一种静电吸盘，包括： 电极层，被分成多个电极部分，并且连接到直流电源以使所述多个电极部分具有相同的极性。
【技术特征摘要】
KR 2008-9-19 10-2008-00924091、一种静电吸盘，包括电极层，被分成多个电极部分，并且连接到直流电源以使所述多个电极部分具有相同的极性。2、 一种静电吸盘，包括 本体；第一绝缘层，形成于所述本体上；在所述第一绝缘层上的电极层，其被分成多个电极部分，并且连 接到直流电源以使所述多个电极部分具有相同极性；以及 第二绝缘层，形成于所述电极层上。3、 如权利要求2所述的静电吸盘，其中，所述本体接地，或者 装备有射频电源。4、 如权利要求2所述的静电吸盘，其中，在所述第二绝缘层上形成用于支撑基板的多个凸起。5、 如权利要求1至4中任一项所述的静电吸盘，其中，所述多 个电极部分并联地连接到所述直流电源。6、 如权利要求1至4中任一项所述的静电吸盘，其中，提供多 个所述直流电源，且多个直流电源分别与所述电极部分相连。7、 一种静电吸盘，包括被分为与基板中心部分相对应的中心电极部分的电极层，以及被 形成以包围所述中心电极部分的外围电极部分，其中，所述中心电极 部分和所述外围电极部分与直流电源连接。8、 如权利要求7所述的静电吸盘，其中，所述中心电极部分整 体形成，或者被分成多个部分。9、 如权利要求8所述的静电吸盘，其中，所述中心电极部分还 包括至少一个向所述静电吸盘外围扩展且与所述直流电源连接的延 伸部分。10、 如权利要求7所述的静电吸盘，其中，所述外围电极部分整 体形成，或者被分为多个部分。11、 如权利要求7至10中任一项所述的静电吸盘，其中，所述 中心电极部分和所述外围电极部分与所述直流电源连接，以便具有相 同的极性或不同的极性。12、 如权利要求7至10中任一项所述的静电吸盘，其中，施...
【专利技术属性】
技术研发人员：曺生贤，朴镕均，
申请(专利权)人：IPS株式会社，
类型：发明
国别省市：KR[韩国]
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