本发明公开了真空密封炉门的装置，包括水平移动模组、石英管、不锈钢炉门、两个心轴炉门支撑杆和两个碳化硅杆，水平移动模组的正面开设有水平滑槽，水平滑槽的内部滑动连接有螺母连接座，螺母连接座的底部固定安装有支撑底板，支撑底板顶端的中部固定安装...

本发明公开了一种负压抽液装置，包括真空腔室、波纹抽液管和接液桶，真空腔室正面的开口处通过安装的活页件连接有真空密封门，真空腔室顶端中部的接口处与波纹抽液管法兰连接，真空腔室顶端的边侧固定安装有负压表，真空腔室一侧的顶部固定安装有真空发生...

本实用新型提供了一种用于磁控溅射镀膜设备的离子源，包括第一法兰板、放电组件、安装于第一法兰板上的进气管及接电杆，第一法兰板安装于磁控溅射镀膜设备的真空腔室上，放电组件安装于第一法兰板上并位于真空腔室内，进气管、接电杆分别与第一法兰板密封...

本发明公开了一种热工设备的匀气机构，包括炉体、炉丝、石英管、加工产品、石英舟、进气管口和出气管口，炉丝为弹簧形结构，炉丝固定设置在炉体顶部的内壁处和底部的内壁处，石英管贯穿设置在炉体的中部，石英管内腔的中部与石英舟活动连接，石英舟的中心...

本发明公开了一种基于CCD视觉定位机构的激光封焊机，包括第一模组，第一驱动电机，第二模组，第二驱动电机，第一传感器安装架，第一限位传感器，第二传感器安装架，第二限位传感器。本发明通过操作面板控制CNC控制系统控制第一驱动电机和第二驱动电...

本实用新型提供了一种激光封焊与检测一体化设备，包括支架10、工件放置机构20、封焊机构及检测机构，封焊机构与检测机构分别安装于支架10上，工件放置机构20将待封焊的工件输送至封焊机构处进行封焊，工件放置机构20将封焊后的工件输送至检测机...

本实用新型提供了一种磁控溅射镀膜设备用旋转装置及磁控溅射镀膜设备，包括旋转密封机构、加热机构和冷却机构，旋转密封机构可拆卸连接加热机构或者冷却机构；旋转密封机构包括转动组件、轴承座、第一安装板及进出水组件，转动组件的一端穿过第一安装板可...

本实用新型涉及磁控溅射镀膜设备领域，并公开了一种用于磁控溅射镀膜设备的挡板驱动装置和一种磁控溅射镀膜设备，所述挡板驱动装置包括壳体(1)、输出轴(2)、传动机构(3)以及线性驱动机构(4)，所述壳体设置有空腔以及与所述空腔连通的第一通孔...

本实用新型属于铌酸锂晶体生产领域，尤其是一种适用于铌酸锂晶体质子交换炉搅拌机构，针对现有的石英舟在苯甲酸液体中进行搅拌，存在搅拌不充分、不稳定的问题，现提出如下方案，其包括升降模组，所述升降模组上滑动连接有连接件，且连接件上转动连接有摆...

本实用新型公开一种磁控溅射靶挡板装置，包括挡板本体和挡板驱动机构；所述挡板驱动机构包括驱动轴、弹性结构件、滑块和凸轮，所述弹性结构件的一端套接固定于所述驱动轴，所述弹性结构件的另一端连接所述滑块，所述滑块相对连接所述弹性结构件的另一端设...

本发明公开一种适用于硅片电池片料盒的万向传输装置，包括：第一直线传输机构、第二直线传输机构、若干料盒和换向机构，其中，每组第一直线传输机构包括两条平行设置的第一直线传输轨道；第二直线传输机构包括两条平行设置的第二直线传输轨道，第二直线传...

本发明公开一种水平可调节推舟系统及应用该系统的低压扩散炉，该系统包括座板、承载立板、驱动装置、传动机构、凸轮随动器、交叉滚子轴承和夹持装置；其中，承载立板的一端开设有横置的腰型孔，传动机构包括丝杠和连接块，丝杠连接驱动装置的输出轴，连接...

本实用新型涉及管式扩散炉领域并公开了一种管式扩散炉，所述管式扩散炉包括炉体(1)和炉门(2)，所述炉体(1)内设有反应管(3)和用于加热所述反应管(3)的内部的主加热装置，所述管式扩散炉还包括用于加热所述反应管(3)的内部的辅助加热装置...

本发明实施例公开了一种用于扩散炉的称重恒温槽，包括对源液冷却控温的温控平台、罩设在所述温控平台上方的隔热外壳，以及设置在所述温控平台上方且用于放置源液的源瓶托盘，所述源瓶托盘上设有用于实时计算源液重量的称重单元，所述称重单元连接有总控制...

本实用新型公开了一种电池片矫正机构及一种适用于电注入设备的上下料设备，该电池片矫正机构(1)包括：前后夹持矫正组件，前后夹持矫正组件包括用于夹持电池片的前夹持块(2)、用于夹持电池片的后夹持块(3)以及用于驱动前夹持块和后夹持块从前后方...

本实用新型公开了一种温度可调的恒温槽装置，包括恒温腔体和控制恒温腔体的控制系统，所述恒温腔体包括腔体本体和导热平台，所述腔体本体包括底座、侧座、恒温腔前部以及恒温腔后部，所述恒温腔前部、恒温腔后部和导热平台均安装在所述底座上，所述导热平...

本实用新型公开了一种可提升氧化炉炉口硅片氧化膜厚均匀性的装置，包括石英炉门和连接着石英炉门用于硅片氧化的石英管，位于所述石英管管口位置分别设有石英管测压口和补气进气口，所述石英管测压口和补气进气口之间连接有进量控制系统；所述进量控制系统...

本实用新型公开了一种用于管式真空炉的自动送料装置，包括直线单元模组，所述直线单元模组上端设置有送料底板，所述送料底板上端设置有送料台，所述送料台上设置有送料杆，所述送料杆的一端通过送料杆支撑铰链安装在送料台上，所述送料杆的另一端通过金属...

本发明公开了一种适用于低压扩散炉的源压控制结构，包括源瓶，所述源瓶上连接有两根管道，两根管道上分别设置有第一开关阀和第二开关阀，两根管道之间连通有通管，通管上设置有平衡气动阀，一根管道的一端设置有进气气动阀，管道上设置有进气质量流量控制...

本实用新型公开了一种用于高温箱式炉的快速冷却装置，包括反应腔体，所述反应腔体的两端设置有金属炉门，所述反应腔体的内侧壁两端安装有冷却氮气进气口，所述反应腔体的底部设置有抽气口；所述反应腔体内部安装有加热电阻丝，所述加热电阻丝内侧设置有载...