【技术实现步骤摘要】
一种用于管式真空炉的自动送料装置
本技术涉及电子半导体工艺专用装备领域，具体为一种用于管式真空炉的自动送料装置。
技术介绍
退火指的是将工件加热到一定温度，保持足够时间，然后以适宜速度冷却，达到降低硬度，消除残余应力，稳定尺寸，减少变形与裂纹倾向等目的。现有技术的管式真空炉炉管及反应管通常较长，进出料机构运动方向要求与反应管严格同心，这对进出料机构的加工及装备精度提出了严格的要求。此外，真空退火炉工艺过程中反应腔内为真空状态，即利用真空抽气系统使在一定的空间内的气体达到一定能够满足样件工艺要求的真空度，所以工艺过程中需对扩散炉反应管进行严格密封。真空密封时要求金属炉门的端面与反应管口端面严格平行，才能保证密封可靠，这些对送料系统的炉门有送料机构的加工及装配精度提出了很高的要求。现有技术的真空退火炉的进出料、炉门开关均为工人手动操作，劳动强度大，且手工操作很容易带来对工件的污染影响。
技术实现思路
为了克服现有技术方案的不足,本技术提供一种用于管式真空炉的自动送料装置，通过直线单元模组上设置的送料底板以及送料台，实现管式真空炉的自动进出料以及炉门的自动开关操作，提高自动...
【技术保护点】
1.一种用于管式真空炉的自动送料装置，其特征在于：包括直线单元模组(1)，所述直线单元模组(1)上端设置有送料底板(2)，所述送料底板(2)上端设置有送料台(3)，所述送料台(3)上设置有送料杆(4)，所述送料杆(4)的一端通过送料杆支撑铰链(5)安装在送料台(3)上，所述送料杆(4)的另一端通过金属波纹管(6)连接有金属炉门(7)，所述金属炉门(7)通过顶杆组件(8)安装于送料台(3)上，且所述顶杆组件(8)包括设置在送料台(3)上的滑座，以及穿过滑座的炉门顶杆，所述炉门顶杆通过铰链(9)与金属炉门(7)相连接，所述炉门顶杆上套装有弹簧(10)。
【技术特征摘要】
1.一种用于管式真空炉的自动送料装置，其特征在于：包括直线单元模组(1)，所述直线单元模组(1)上端设置有送料底板(2)，所述送料底板(2)上端设置有送料台(3)，所述送料台(3)上设置有送料杆(4)，所述送料杆(4)的一端通过送料杆支撑铰链(5)安装在送料台(3)上，所述送料杆(4)的另一端通过金属波纹管(6)连接有金属炉门(7)，所述金属炉门(7)通过顶杆组件(8)安装于送料台(3)上，且所述顶杆组件(8)包括设置在送料台(3)上的滑座，以及穿过滑座的炉门顶杆，所述炉门顶杆通...
【专利技术属性】
技术研发人员：田杰成，陈益民，
申请(专利权)人：湖南艾科威智能装备有限公司，
类型：新型
国别省市：湖南,43
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