本实用新型专利技术涉及磁控溅射镀膜设备领域，并公开了一种用于磁控溅射镀膜设备的挡板驱动装置和一种磁控溅射镀膜设备，所述挡板驱动装置包括壳体(1)、输出轴(2)、传动机构(3)以及线性驱动机构(4)，所述壳体设置有空腔以及与所述空腔连通的第一通孔，所述输出轴包括穿设在所述第一通孔和所述空腔中的第一段以及从所述第一通孔伸出到所述壳体外部的第二段，所述输出轴的第一段中的一部分与所述壳体可旋转地连接，所述传动机构分别与所述线性驱动机构的被驱动端以及所述输出轴的第一段中的另一部分传动连接，以便将所述线性驱动机构输出的线性运动转换为所述输出轴的旋转运动。线性运动转换为所述输出轴的旋转运动。线性运动转换为所述输出轴的旋转运动。
【技术实现步骤摘要】
磁控溅射镀膜设备及其挡板驱动装置
[0001]本技术涉及磁控溅射镀膜设备领域，具体地，涉及一种用于磁控溅射镀膜设备的挡板驱动装置和一种磁控溅射镀膜设备。
技术介绍
[0002]在现有的镀膜设备中，磁控溅射镀膜设备是一项应用极其广泛的真空镀膜设备，被广泛用于镀制工艺美术品、装璜装饰品、玩具等领域。磁控溅射镀膜设备是用高能粒子(通常是由电场加速的正离子)轰击固体表面，固体表面的原子、分子与入射的高能粒子交换动能后，从固体表面飞溅出来的现象称为溅射，溅射出的原子具有一定的能量，它们可以重新沉积聚集在固体基片表面形成薄膜，由此实现溅射镀膜。
[0003]现有的磁控溅射镀膜设备一般都通过其挡板驱动装置驱动其挡板，从而在需要的情况下遮挡基材或者遮挡离子源，然而现有的挡板驱动装置一般采用摆动气缸，从而具有成本高和占用空间大的缺点。
技术实现思路
[0004]本技术的目的是提供一种成本较低且占用空间较小的用于磁控溅射镀膜设备的挡板驱动装置。
[0005]为了实现上述目的，本技术提供一种用于磁控溅射镀膜设备的挡板驱动装置，所述挡板驱动装置包括壳体、输出轴、传动机构以及线性驱动机构，所述壳体设置有空腔以及与所述空腔连通的第一通孔，所述输出轴包括穿设在所述第一通孔和所述空腔中的第一段以及从所述第一通孔伸出到所述壳体外部的第二段，所述输出轴的第一段中的一部分与所述壳体可旋转地连接，所述传动机构分别与所述线性驱动机构的被驱动端以及所述输出轴的第一段中的另一部分传动连接，以便将所述线性驱动机构输出的线性运动转换为所述输出轴的旋转运动。
[0006]进一步地，所述传动机构包括齿轮和齿条，所述壳体还设置与所述空腔连通的第二通孔，所述输出轴的第一段中的另一部分在所述空腔中与所述齿轮传动连接，所述齿条可往复滑动地穿过所述第二通孔并且与所述齿轮啮合，所述线性驱动机构的被驱动端与所述齿条的一端传动连接，以便驱动所述齿条往复滑动。
[0007]进一步地，所述线性驱动机构的线性驱动方向与所述第二通孔的轴线平行，所述传动机构还包括连接板，所述连接板的两端分别与所述线性驱动机构的被驱动端以及所述齿条的一端紧固连接。
[0008]进一步地，所述挡板驱动装置还包括用于限定所述线性驱动机构的行程的行程限定组件。
[0009]进一步地，所述行程限定组件包括行程限定螺栓以及可转动地与所述行程限定螺栓螺纹配合的行程限定螺母，所述连接板设置有行程限定通孔，所述壳体设置有与所述行程限定螺栓相应的螺孔，所述行程限定螺栓穿过所述行程限定通孔而与所述螺孔螺纹紧固
连接，所述行程限定螺母位于所述行程限定螺栓的头部以及所述连接板之间。
[0010]进一步地，所述壳体包括具有第一空腔的轴承座以及具有第二空腔的齿条座，所述第一通孔设置在所述轴承座上，所述第二通孔设置在所述齿条座上，所述轴承座与所述齿条座通过紧固件紧固连接，以便由所述第一空腔和所述第二空腔形成所述壳体的空腔，所述输出轴的第一段中的一部分通过设置在所述第一空腔中的轴承与所述壳体可旋转地连接。
[0011]进一步地，所述第二空腔贯穿所述齿条座，所述壳体还包括在所述齿条座的远离所述轴承座的一侧紧固连接于所述齿条座的盖板。
[0012]进一步地，所述线性驱动机构的驱动端紧固连接于所述壳体的外部。
[0013]进一步地，所述输出轴的第二段在靠近所述第一通孔的位置形成有卡接槽，所述挡板驱动装置还包括与所述卡接槽卡接的限位卡簧。
[0014]此外，本技术还提供一种磁控溅射镀膜设备，所述磁控溅射镀膜设备包括本技术所述的用于磁控溅射镀膜设备的挡板驱动装置。
[0015]本技术的用于磁控溅射镀膜设备的挡板驱动装置由于采用输出轴、传动机构以及线性驱动机构来实现对于挡板的驱动，避免采用现有技术中常用的摆动气缸，从而具有成本较低且占用空间较小的优点。
[0016]本技术的磁控溅射镀膜设备由于包括本技术的挡板驱动装置，因此其同样具有挡板驱动装置的上述优点。
[0017]本技术的其它特征和优点将在随后的具体实施方式部分予以详细说明。
附图说明
[0018]附图是用来提供对本技术的进一步理解，并且构成说明书的一部分，与下面的具体实施方式一起用于解释本技术，但并不构成对本技术的限制。在附图中：
[0019]图1是根据本技术的用于磁控溅射镀膜设备的挡板驱动装置的具体实施方式的立体图；
[0020]图2是图1中的挡板驱动装置的剖视图。
[0021]附图标记说明
[0022]1、壳体
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2、输出轴
[0023]3、传动机构
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4、线性驱动机构
[0024]5、行程限定组件
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6、轴承
[0025]7、限位卡簧
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8、平键
[0026]9、第一密封圈
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10、第二密封圈
[0027]11、轴承座
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12、齿条座
[0028]13、盖板
[0029]31、齿轮
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32、齿条
[0030]33、连接板
[0031]51、行程限定螺栓
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52、行程限定螺母
具体实施方式
[0032]以下结合附图对本技术的具体实施方式进行详细说明。应当理解的是，此处所描述的具体实施方式仅用于说明和解释本技术，并不用于限制本技术。
[0033]本技术提供一种用于磁控溅射镀膜设备的挡板驱动装置，具体地，如图1和图2所示，所述挡板驱动装置包括壳体1、输出轴2、传动机构3以及线性驱动机构4，所述壳体1设置有空腔以及与所述空腔连通的第一通孔，所述输出轴2包括穿设在所述第一通孔和所述空腔中的第一段以及从所述第一通孔伸出到所述壳体1外部的第二段(以便利用输出轴2的第二段与磁控溅射镀膜设备的挡板传动连接，从而驱动挡板旋转)，所述输出轴2的第一段中的一部分与所述壳体1可旋转地连接，所述传动机构3分别与所述线性驱动机构4的被驱动端以及所述输出轴2的第一段中的另一部分传动连接，以便将所述线性驱动机构4输出的线性运动转换为所述输出轴2的旋转运动。
[0034]本技术的用于磁控溅射镀膜设备的挡板驱动装置由于采用输出轴2、传动机构3以及线性驱动机构4来实现对于挡板(图中未显示)的驱动，避免采用现有技术中常用的摆动气缸，从而具有成本较低且占用空间较小的优点。
[0035]需要说明的是，上述壳体1、输出轴2、传动机构3以及线性驱动机构4的具体结构形式或者具体类型以及上述空腔和第一通孔的具体形状及大小均可以根据需要设置，这些均属于本技术的技术构思范围之内本文档来自技高网...
【技术保护点】
【技术特征摘要】
1.一种用于磁控溅射镀膜设备的挡板驱动装置，其特征在于，所述挡板驱动装置包括壳体(1)、输出轴(2)、传动机构(3)以及线性驱动机构(4)，所述壳体(1)设置有空腔以及与所述空腔连通的第一通孔，所述输出轴(2)包括穿设在所述第一通孔和所述空腔中的第一段以及从所述第一通孔伸出到所述壳体(1)外部的第二段，所述输出轴(2)的第一段中的一部分与所述壳体(1)可旋转地连接，所述传动机构(3)分别与所述线性驱动机构(4)的被驱动端以及所述输出轴(2)的第一段中的另一部分传动连接，以便将所述线性驱动机构(4)输出的线性运动转换为所述输出轴(2)的旋转运动。2.根据权利要求1所述的用于磁控溅射镀膜设备的挡板驱动装置，其特征在于，所述传动机构(3)包括齿轮(31)和齿条(32)，所述壳体(1)还设置与所述空腔连通的第二通孔，所述输出轴(2)的第一段中的另一部分在所述空腔中与所述齿轮(31)传动连接，所述齿条(32)可往复滑动地穿过所述第二通孔并且与所述齿轮(31)啮合，所述线性驱动机构(4)的被驱动端与所述齿条(32)的一端传动连接，以便驱动所述齿条(32)往复滑动。3.根据权利要求2所述的用于磁控溅射镀膜设备的挡板驱动装置，其特征在于，所述线性驱动机构(4)的线性驱动方向与所述第二通孔的轴线平行，所述传动机构(3)还包括连接板(33)，所述连接板(33)的两端分别与所述线性驱动机构(4)的被驱动端以及所述齿条(32)的一端紧固连接。4.根据权利要求3所述的用于磁控溅射镀膜设备的挡板驱动装置，其特征在于，所述挡板驱动装置还包括用于限定所述线性驱动机构(4)的行程的行程限定组件(5)。5.根据权利要求4所述的用于磁控溅射镀膜设备的挡板驱动装置，其特征在于，所述行程限定组件(5)包括行程限定螺栓...
【专利技术属性】
技术研发人员：田杰成，李俊，
申请(专利权)人：湖南艾科威智能装备有限公司，
类型：新型
国别省市：
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