本技术属于磁控溅射领域，具体是涉及到一种真空镀膜用旋转基片架装置及真空镀膜系统，包括真空腔、基片周转架、若干个基片架自转机构和基片安装板；基片周转架转动设置在真空腔内，并通过旋转驱动组件驱动旋转；基片架自转机构包括固定齿轮以及若干个基片...

本技术属于磁控溅射领域，具体是涉及到一种真空镀膜系统，包括真空腔、基片周转架和若干个靶材装置；基片周转架转动设置在真空腔内，并通过旋转驱动组件驱动旋转；靶材装置设置在真空腔内壁，且若干个靶材装置沿基片周转架的旋转方向依次设置；靶材装置包...

本技术属于真空镀膜技术领域，具体是涉及到一种真空腔室用门体机构及其真空腔，其中，真空腔室用门体机构包括平移板主体、门板主体、第一移动机构和第二移动机构；平移板主体与门板主体平行设置，并通过第二移动机构相互连接，门板主体可以沿第二移动机构...

本技术公开了一种电磁屏蔽布，属于电磁屏蔽技术领域，包括布体以及所述布体上依次设置的填隙层、第一屏蔽层、第二屏蔽层和保护层。本技术采用双屏蔽层组合，避免每层屏蔽层膜层过厚，有利于提高膜层附着力，防止膜层过厚龟裂脱落，延长电磁屏蔽产品的使用...

本技术公开了一种真空镀膜夹持机构及真空镀膜机，属于真空镀膜技术领域，包括：载台和基片架，所述载台包括安装架、弹性连接组件以及至少两个夹条，两个所述夹条分别设置在所述安装架底部的相对两侧，所述夹条与所述安装架通过所述弹性连接组件可移动连接...

本技术属于真空镀膜领域，具体是涉及到一种基于水冷旋转基片载台装置及真空镀膜系统，包括真空腔壁、旋转机构、基片载台和水冷机构，真空腔壁上设置有安装孔；旋转机构包括设置在真空腔壁外侧的固定架、转动设置在固定架上的中空转轴机构和设置在真空腔壁...

本技术属于镀膜设备领域，具体是涉及到一种真空镀膜用自动挡板装置及真空镀膜系统，包括真空腔壁、旋转驱动机构和挡板机构，真空腔壁上设置有安装孔；旋转驱动机构包括设置在真空腔壁外侧的旋转驱动件以及与旋转驱动件输出端连接的转轴，转轴另一端通过安...

本实用新型涉及一种立式卷绕真空镀膜设备，包括放料腔、收料腔及类环形传输轨道，类环形传输轨道包括至少一个制程腔与至少两个过渡腔，各过渡腔与制程腔依次间隔连接，且类环形传输轨道两端均为过渡腔；放料腔、收料腔分别与类环形传输轨道两端的过渡腔相...

本实用新型属于磁控溅射领域，具体是涉及到一种磁控溅射系统，其中电子吸引装置包括电源和相互连接的导电外壳和磁铁Ⅰ，所述电源用于给导电外壳提供正电压，本电子吸引装置用于吸引磁控溅射系统中加速冲向基材和真空腔体的自由电子，降低电子沉积于基材和...

本实用新型属于磁控溅射领域，具体是涉及到一种管状基材磁控溅射镀膜系统，包括真空腔体和设置在真空腔体内的溅射装置，所述溅射装置包括由外至内依次设置的电磁线圈、管状靶材和棒状靶材，所述电磁线圈、管状靶材和棒状靶材同轴设置，所述棒状靶材外壁和...

本实用新型磁控溅射领域，具体是涉及到一种磁控溅射系统，包括真空腔体以及依次设置在真空腔体内的基材安装位、靶材安装位、条形磁体和旋转平台，所述旋转平台固定设置在真空腔体内，所述条形磁体固定在旋转平台输出端，所述旋转平台的旋转轴线位于条形磁...

本发明属于磁控溅射领域，具体是涉及到一种磁控溅射系统及方法，包括真空腔室、物料输送装置和至少两个镀膜单元；镀膜单元包括镀膜腔室和设置在镀膜腔室内的镀膜机构；物料输送装置用于输送基材经过至少两个镀膜单元；真空腔室连接有抽真空装置，每个镀膜...

本发明属于磁控溅射领域，具体是涉及到一种电子吸引装置、磁控溅射系统及方法，其中电子吸引装置包括电源和相互连接的导电外壳和磁铁Ⅰ，所述电源用于给导电外壳提供正电压，本电子吸引装置用于吸引磁控溅射系统中加速冲向基材和真空腔体的自由电子，降低...

本申请涉及一种卷对卷镀膜设备，其中卷对卷镀膜设备包括多个主辊和多个靶材，其中多个主辊交替设置在待镀膜基材的正反两面，多个靶材以与多个主辊相反的方式交替设置在待镀膜基材的正反两面。相比于现有的卷对卷镀膜设备，本发明相当于将圆形腔室拉长，不...

本实用新型属于磁控溅射靶材领域，具体是涉及到一种旋转靶材，包括靶管，所述靶管包括圆筒部Ⅰ和设置在圆筒部Ⅰ两端的圆筒部Ⅱ，所述圆筒部Ⅰ和圆筒部Ⅱ的外径一致，所述圆筒部Ⅰ的内径小于所述圆筒部Ⅱ的内径，本实用新型能够很好的解决旋转靶材两端过刻...

本申请涉及一种卷对卷镀膜设备和镀膜方法，其中卷对卷镀膜设备包括多个主辊和多个靶材，其中多个主辊交替设置在待镀膜基材的正反两面，多个靶材以与多个主辊相反的方式交替设置在待镀膜基材的正反两面。相比于现有的卷对卷镀膜设备，本发明相当于将圆形腔...

本申请涉及一种复合电子传输层及其制备方法和一种太阳能电池及其制备方法，本发明中通过涂覆一层TiO2对ZnO进行表面包裹，提高了ZnO电子传输层的长期稳定性，进而提高了电池的稳定性，且能够短暂耐酸、碱环境下钙钛矿前驱体溶液对ZnO的腐蚀，...

本发明涉及一种钙钛矿吸光层制备方法和一种太阳能电池及其制备方法，其中钙钛矿吸光层的制备采用三步涂布法，具体包括：在加热的基板上先后进行第一前驱体溶液和第二前驱体溶液的涂布，两者发生化学反应反应并快速结晶。在本发明中，钙钛矿的化学反应及钙...

本申请涉及一种太阳能电池及其制备方法，本发明中的太阳能电池以柔性金属为基底，最上层为透明导电层。相比于导电玻璃基材，金属基材中的活泼元素易与其相邻的载流子传输层发生反应，为了避免电池制备过程中出现这种状况，本发明在柔性金属基底与空穴传输...