【技术实现步骤摘要】
一种太阳能电池及其制备方法
[0001]本专利技术涉及太阳能电池
,特别是涉及一种太阳能电池及其制备方法。
技术介绍
[0002]钙钛矿太阳能电池因其结构简单,理论效率高,在近10年迎来快速发展。浮法超白玻璃的表面粗糙度低,化学、物理性质稳定且对太阳光的透过率高,适合作为薄膜太阳能电池的支撑材料和光线透过材料,因此目前钙钛矿电池的产业化制造主要在玻璃基材上。而钙钛矿电池相比于晶硅电池,轻薄和可折叠是其特有的优势,可以用作于柔性、可穿戴、叠层电池方向。
技术实现思路
[0003]基于此,提供一种太阳能电池及其制备方法。
[0004]本专利技术提出一种太阳能电池,电池的结构由下至上依次包括:柔性金属基底、金属阻隔层、空穴传输层、钙钛矿吸光层、电子传输层和透明导电层;柔性金属基底的抗拉强度不小于150MPa,电阻率不大于5
×
10
‑7Ω
·
m。
[0005]本专利技术还提出一种太阳能电池的制备方法,包括如下步骤:
[0006]S1.对柔性金属基底进行前处理;
[0007]S2.在加热的柔性金属基底上通过磁控溅射法或蒸发法沉积金属阻隔层;
[0008]S3.在金属阻隔层上通过磁控溅射法、蒸发法或ALD原子层沉积法沉积空穴传输层;
[0009]S4.在空穴传输层上通过共蒸法或两步蒸发法沉积钙钛矿吸光层;
[0010]S5.在钙钛矿吸光层上通过ALD原子层沉积法或蒸发法沉积电子传输层;
[0011] ...
【技术保护点】
【技术特征摘要】 【专利技术属性】
1.一种太阳能电池,其特征在于,所述电池的结构由下至上依次包括:柔性金属基底、金属阻隔层、空穴传输层、钙钛矿吸光层、电子传输层和透明导电层;所述柔性金属基底的抗拉强度不小于150MPa,电阻率不大于5
×
10
‑7Ω
·
m。2.根据权利要求1所述的太阳能电池,其特征在于,所述柔性金属基底为Ti箔、不锈钢箔、Ir箔或Pt箔;所述金属阻隔层的材料为Ti、Mo、Ag、Au、Cr或Al中的一种或多种;所述电子传输层的材料为SnO2、TiO2、ZnO、Nb2O5、WO
x
、C60或富勒烯衍生物PCBM中的一种或多种;其中WO
x
中x的取值范围为0<x≤3;所述钙钛矿吸光层的材料为MAPbI3
‑
nCln、FAPbI3
‑
nCln、CsPbI3
‑
nCln、FAmMA1
‑
mPbI3
‑
nCln、MAPbI3
‑
nBrn、FAPbI3
‑
nBrn、MASnI3
‑
nCln、FASnI3
‑
nCln中的一种或者多种;m的取值范围为0~1,n的取值范围为0.5~1;所述空穴传输层的材料为NiO、CuI、CuSCN、Spiro
‑
OMeTAD、聚(3,4
‑
乙烯二氧噻吩)
‑
聚苯乙烯磺酸PEDOT:PSS或聚噻吩PT中的一种或多种;所述透明导电层的材料为AZO、ITO、FTO、IWO、ATO或IMO中的一种或多种。3.一种如权利要求1或2所述的太阳能电池的制备方法,其特征在于,包括如下步骤:S1.对柔性金属基底进行前处理;S2.在加热的柔性金属基底上通过磁控溅射法或蒸发法沉积金属阻隔层;S3.在金属阻隔层上通过磁控溅射法、蒸发法或ALD原子层沉积法沉积空穴传输层;S4.在空穴传输层上通过共蒸法或两步蒸发法沉积钙钛矿吸光层;S5.在钙钛矿吸光层上通过ALD原子层沉积法或蒸发法沉积电子传输层;S6.在电子传输层上通过磁控溅射法或RPD镀膜技术沉积透明导电层,得到太阳能子电池;S7.对太阳能子电池进行串联和封装,得到所述太阳能电池;其中,步骤S2
‑
S6在镀膜腔体中进行。4.根据权利要求3所述的制备方法,其特征在于,当柔性金属基底为Ti箔且金属阻隔层为Ti时,所述步骤S2中在加热的柔性金属基底上通过磁控溅射法沉积金属阻隔层的方法包括:在真空度低于10Pa的环境下对Ti箔进行加热,使Ti箔升温至50~80℃;在镀膜腔体真空度低于5E10
‑4Pa的气压下,通入纯度99.999%的Ar气,至镀膜腔体真空度在0.3~1Pa;使用直流溅射电源输出电压和电流,对纯度99.99%wt以上的Ti靶进行溅射,最终在Ti箔表面沉积一层10~20nm厚的Ti阻隔层。5.根据权利要求3所述的制备方法,其特征在于,当空穴传输层为NiO时,所述步骤S3中在金属阻隔层上通过磁控溅射法沉积空穴传输层的方法包括:在镀膜腔体真空度低于5E10
‑4Pa的气压下,通入纯度99.999%的氩气和纯度99.999%的氧气,氩气和氧气流量比例在(2:1)~(5:1),至镀膜腔体真空度在0.3~1Pa;使用射频溅射电源输出电压和电流,对纯度99.99%wt以上的NiO
y
陶瓷靶进行溅射,最终在金属阻隔层薄膜表面沉积一层15~60nm厚的NiO空穴传输层;y的取值范围为0<y≤1。6.根据权利要求3所述的制备方法,其特征在于,当钙钛矿吸光层为MAPbI3‑
x
Cl
技术研发人员:来华杭,王正安,郭峰,汪潇,王铭杰,顾子莺,
申请(专利权)人:杭纳半导体装备杭州有限公司,
类型:发明
国别省市:
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