一种卷对卷镀膜设备制造技术

本申请涉及一种卷对卷镀膜设备，其中卷对卷镀膜设备包括多个主辊和多个靶材，其中多个主辊交替设置在待镀膜基材的正反两面，多个靶材以与多个主辊相反的方式交替设置在待镀膜基材的正反两面。相比于现有的卷对卷镀膜设备，本发明专利技术相当于将圆形腔室拉长，不仅极大提高了设备的兼容性，还因为将单主辊结构的集中拉力形式分解为多个小的拉力，大大降低了对基材的局部拉力，避免了超薄基材的形变；此外，由于靶材和主辊的交替设置，实现直接在同一个腔室中对基材的正反面同时镀膜，同时将单主辊的连续镀膜变成多主辊和多靶材的间隔镀膜，避免了镀膜时基材的温度积累，实现了低/常温镀膜。实现了低/常温镀膜。实现了低/常温镀膜。

【技术实现步骤摘要】
一种卷对卷镀膜设备


[0001]本申请涉及基材镀膜
，特别是涉及一种卷对卷镀膜设备。

技术介绍

[0002]现有的卷对卷镀膜采用单主辊轮承载柔性基材，通过主辊对基材提供支撑、控温及纠偏等功能。单主辊镀膜存在以下问题：
[0003]1)单一主辊结构对膜层的拉力承载有较高的要求，一般适用于20um以上的柔性基材镀膜。但是对于超薄基材(一般厚度＜10um),单一主辊结构下极易产生基材拉升而造成膜层龟裂及脱落。
[0004]2)单一主辊结构采用连续溅射的方式，一个主棍对应基材的一个镀膜面。且连续沉积会造成一定的温度积累。而对于基材双面镀膜及对温度要求较低的镀膜，很难使用单一的主辊结构设备进行对应。

技术实现思路

[0005]基于此，有必要针对上述技术问题，提供一种卷对卷镀膜设备，以便解决现有设备对基材的较大拉伸力造成基材变形的问题、设备溅射过程中基材的温度积累的问题。
[0006]一种卷对卷镀膜设备，包括：
[0007]多个主辊和多个靶材；
[0008]多个主辊交替设置在待镀膜基材的正反两面；<本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种卷对卷镀膜设备，其特征在于，所述设备包括：多个主辊和多个靶材；所述多个主辊交替设置在待镀膜基材的正反两面；所述多个靶材以与所述多个主辊相反的方式交替设置在所述待镀膜基材的正反两面；其中，主辊和靶材是一对一设置的，且数量相同。2.根据权利要求1所述的设备，其特征在于，各个所述主辊内部包含预设温度的液体；各个所述主辊内部的液体的预设温度不尽相同。3.根据权利要求...

【专利技术属性】
技术研发人员：王正安，来华杭，谢斌斌，朱冰冰，顾子莺，李建镇，
申请(专利权)人：杭纳半导体装备杭州有限公司，
类型：新型
国别省市：