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本申请涉及一种卷对卷镀膜设备，其中卷对卷镀膜设备包括多个主辊和多个靶材，其中多个主辊交替设置在待镀膜基材的正反两面，多个靶材以与多个主辊相反的方式交替设置在待镀膜基材的正反两面。相比于现有的卷对卷镀膜设备，本发明相当于将圆形腔室拉长，不仅极...
该专利属于杭纳半导体装备（杭州）有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过杭纳半导体装备（杭州）有限公司授权不得商用。

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