一种电子束蒸镀装置制造方法及图纸

本实用新型专利技术涉及半导体蒸镀技术领域，具体涉及一种电子束蒸镀装置，包括真空箱、透明操作窗、基板放置架和夹持定位座，透明操作窗安装在真空箱的一侧，基板放置架安装在真空箱内，夹持定位座位于真空箱内，还包括换取组件；换取组件包括连接柱、驱动架、驱动构件、隔开构件和拿取构件，连接柱与真空箱固定连接，驱动架与夹持定位座固定连接，驱动构件位于真空箱的一侧，隔开构件位于真空箱的一侧，拿取构件位于真空箱的一侧，实现了当材料更换完成后只需要对隔离区域进行抽真空处理即可保证真空箱内部的真空环境，极大的缩减了真空抽取的时间，优化了整个材料更换过程的效率。优化了整个材料更换过程的效率。优化了整个材料更换过程的效率。

【技术实现步骤摘要】
一种电子束蒸镀装置


[0001]本技术涉及半导体蒸镀
，尤其涉及一种电子束蒸镀装置。

技术介绍

[0002]电子束蒸馏时物理气相沉积的一中，以往的电子束蒸发镀膜不便于对装有蒸镀材料的坩埚进行定位，使得在对蒸镀材料进行更换时更加麻烦。
[0003]现有专利CN216427394U公开了一种E
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Beam电子束蒸发镀膜装置，通过在真空箱内设置对应的夹持固定机构来对放置台上的敢做进行夹持固定，避免坩埚上时间使用后会发生晃动偏移。
[0004]但是采用上述方式，在对蒸镀材料进行更换时，需要打开真空的箱体，在真空的箱体内进行材料的更换，如此真空的箱体内便会涌入大量空气，从而在更换完成后还需要对真空的箱体整体内部进行抽真空操作才能继续后续的加工，使得整个更换过程会花费大量时间。

技术实现思路

[0005]本技术的目的在于提供一种电子束蒸镀装置，能够通过设置的构件将用于蒸镀材料放置的机构移动到对应的隔离区域，使得在进行材料更换时真空箱内不会灌入大量空气，当材料更换完成后只需要对隔离区域进行抽真空处理即可保证本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种电子束蒸镀装置，包括真空箱、透明操作窗、基板放置架和夹持定位座，所述透明操作窗安装在所述真空箱的一侧，所述基板放置架安装在所述真空箱内，所述夹持定位座位于所述真空箱内，其特征在于，还包括换取组件；所述换取组件包括连接柱、驱动架、驱动构件、隔开构件和拿取构件，所述连接柱与所述真空箱固定连接，并位于所述真空箱内，所述驱动架与所述夹持定位座固定连接，并滑动安装在所述连接柱的一侧，所述驱动构件位于所述真空箱的一侧，所述隔开构件位于所述真空箱的一侧，所述拿取构件位于所述真空箱的一侧。2.如权利要求1所述的电子束蒸镀装置，其特征在于，所述驱动构件包括驱动螺杆和驱动电机，所述驱动螺杆与所述驱动架螺纹连接，并转动安装在所述真空箱的一侧；所述驱动电机的输出轴与所述驱动螺杆连接，所述驱动电机固定安装在所述真空箱的一侧。3.如权利要求1所述的电子束蒸镀装置，其特征在于，所述隔开构件包括隔离箱、抽气机和密封部...

【专利技术属性】
技术研发人员：屈显波，陈春明，蒋华，许昆，
申请(专利权)人：桂林光隆科技集团股份有限公司，
类型：新型
国别省市：