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本实用新型涉及半导体蒸镀技术领域，具体涉及一种电子束蒸镀装置，包括真空箱、透明操作窗、基板放置架和夹持定位座，透明操作窗安装在真空箱的一侧，基板放置架安装在真空箱内，夹持定位座位于真空箱内，还包括换取组件；换取组件包括连接柱、驱动架、驱动构...
该专利属于桂林光隆科技集团股份有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过桂林光隆科技集团股份有限公司授权不得商用。

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