本技术涉及晶圆检测探针技术领域，更具体地说，它涉及一种探针台及其高精度重负载探针升降机构，其中，高精度重负载探针升降机构包括底座、活动块和导向机构，所述活动块可升降地设置在所述底座上，所述活动块用于供探针安装；所述导向机构用于对活动块的...

本技术涉及探针台技术领域，更具体地说，它涉及一种探针卡夹紧机构，其包括安装座、活动块和锁固机构，所述安装座上设有供探针卡放入的安装通孔，所述安装通孔的内侧设有用于对探针卡的电路板提供支撑的支撑台；所述活动块设置在所述安装座上，所述活动块...

本技术涉及探针卡技术领域，更具体地说，它涉及一种探针卡放置装置，探针卡放置装置包括盒体、盒盖和针尖保护罩；所述针尖保护罩用于罩住探针卡上的针尖，且可拆卸地固定在探针卡上；所述盒盖可相对盒体开合，盒盖相对盒体闭合时盒盖与盒体之间形成用于容...

本技术涉及晶圆扫料识别技术领域，它涉及一种晶圆扫料识别系统，其包括晶舟识别机构和供晶舟上料的上料工位；所述晶舟识别机构用于对上料工位处的晶舟的类型进行识别，并生成相应的晶舟类型信号。在本技术提供的技术方案中，由于晶舟识别机构识别出上料工...

本技术涉及晶圆检测技术领域，它涉及一种晶圆扫料机构，其包括基座、升降块、第一驱动机构、活动件、扫料传感器和第二驱动机构；升降块设置在基座上，活动件设置在升降块上，扫料传感器设置在活动件上；第一驱动机构用于驱动升降块在第一极限位置和第二极...

本技术涉及电机测试技术领域，更具体地说，它涉及一种电机性能测试装置，其包括底座、传动机构、升降座、负载和水平调节机构；所述底座上设有供电机安装的电机安装部；所述传动机构用于与电机连接，以带动升降座升降；所述负载用于设置在升降座上，以在升...

本实用新型涉及料盒技术领域，它涉及一种料盒及其盒盖旋钮开锁机构，盒盖旋钮开锁机构可转动地设置在盒盖上的旋钮，旋钮用于旋转至第一位置时锁固盒盖，和旋转至第二位置时对盒盖解锁；旋钮的数量为两个、且间隔设置；盒盖旋钮开锁机构包括第一连杆、第二...

本实用新型涉及晶圆检测技术领域，它涉及一种探针台及其探针位置调节机构，探针位置调节机构包括基座、活动块、探针安装座和直线驱动机构；探针安装座可转动地设置在基座上；探针安装座上设有受推部；活动块上设有两个推动部，两个推动部分布在受推部的两...

本实用新型涉及晶圆检测技术领域，它涉及一种探针台，其包括大理石平台、X向运动机构、Y向运动机构、X向导向机构和Y向导向机构；X向运动机构包括设置在大理石平台上的第一活动基座，X向导向机构包括X向导轨，X向导轨的数量为两个以上、且依次间隔...