一种探针卡夹紧机构制造技术

本技术涉及探针台技术领域，更具体地说，它涉及一种探针卡夹紧机构，其包括安装座、活动块和锁固机构，所述安装座上设有供探针卡放入的安装通孔，所述安装通孔的内侧设有用于对探针卡的电路板提供支撑的支撑台；所述活动块设置在所述安装座上，所述活动块用于运动至第一位置将电路板抵固在所述支撑台上；所述活动块用于运动至第二位置时松开所述电路板，使探针卡可从所述安装通孔退出；其中，所述锁固机构用于在活动块运动至所述第一位置时对活动块上锁。本技术的技术方案，其可以提高探针卡的夹紧稳定性，并且还可对探针进行调平。

【技术实现步骤摘要】

技术介绍

技术实现思路

【技术保护点】

1.一种探针卡夹紧机构，其特征在于，包括安装座(1)、活动块(2)和锁固机构，所述安装座(1)上设有供探针卡(10)放入的安装通孔(101)，所述安装通孔(101)的内侧设有用于对探针卡(10)的电路板(103)提供支撑的支撑台(41)；

2.如权利要求1所述的探针卡夹紧机构，其特征在于，

3.如权利要求2所述的探针卡夹紧机构，其特征在于，

4.如权利要求1至3中任一项所述的探针卡夹紧机构，其特征在于，

5.如权利要求1至3中任一项所述的探针卡夹紧机构，其特征在于，还包括支撑件(4)，所述支撑件(4)可拆卸地安装在所述安装座(1)上，所述支撑台(41)形成在所述支撑件(4)上。

6.如权利要求1至3中任一项所述的探针卡夹紧机构，其特征在于，

7.如权利要求6所述的探针卡夹紧机构，其特征在于，

8.如权利要求7所述的探针卡夹紧机构，其特征在于，

9.如权利要求8所述的探针卡夹紧机构，其特征在于，

【技术特征摘要】

1.一种探针卡夹紧机构，其特征在于，包括安装座(1)、活动块(2)和锁固机构，所述安装座(1)上设有供探针卡(10)放入的安装通孔(101)，所述安装通孔(101)的内侧设有用于对探针卡(10)的电路板(103)提供支撑的支撑台(41)；

2.如权利要求1所述的探针卡夹紧机构，其特征在于，

3.如权利要求2所述的探针卡夹紧机构，其特征在于，

4.如权利要求1至3中任一项所述的探针卡夹紧机构，其特征在于，

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【专利技术属性】
技术研发人员：张文涛，梁经伦，张绍辉，郭龙龙，刘雨成，
申请(专利权)人：广东华矽半导体设备有限公司，
类型：新型
国别省市：