【技术实现步骤摘要】
本技术涉及探针卡，特别是涉及一种探针卡放置装置。
技术介绍
1、探针卡具有电路板和设置在电路板上的探针，探针的针尖伸出电路板的一侧。探针卡作为晶圆探针台对于晶圆电性能测试的接触媒介，是至关重要的组件，其中探针卡的针尖需要控制在15um的误差。目前，探针卡在加工完成后一般是放置在保护盒内，以通过保护盒保证探针卡在运输过程中pcb板和针尖的安全和稳定。
2、然而仅通过保护盒的方式仍无法完全保证探针卡上的针尖在运输过程中的安全性，故急需针对这种情况进行解决。
技术实现思路
1、有鉴于此，本技术提供一种探针卡放置装置，主要所要解决的技术问题是：如何提高探针卡上的针尖在运输过程中的安全性。
2、为达到上述目的，本技术主要提供如下技术方案：
3、本技术的实施例提供一种探针卡放置装置，其包括盒体、盒盖和针尖保护罩；
4、所述针尖保护罩用于罩住探针卡上的针尖，且可拆卸地固定在探针卡上；
5、所述盒盖可相对盒体开合，盒盖相对盒体闭合时盒盖与盒体之间...
【技术保护点】
1.一种探针卡放置装置，其特征在于，包括盒体(1)、盒盖(2)和针尖保护罩(4)；
2.如权利要求1所述的探针卡放置装置，其特征在于，
3.如权利要求2所述的探针卡放置装置，其特征在于，
4.如权利要求1至3中任一项所述的探针卡放置装置，其特征在于，
5.如权利要求1至3中任一项所述的探针卡放置装置，其特征在于，还包括定位结构，所述定位结构用于在盒盖(2)相对盒体(1)闭合时对探针卡(3)定位。
6.如权利要求5所述的探针卡放置装置，其特征在于，
7.如权利要求6所述的探针卡放置装置，其特征在于，
8.如...
【技术特征摘要】
1.一种探针卡放置装置，其特征在于，包括盒体(1)、盒盖(2)和针尖保护罩(4)；
2.如权利要求1所述的探针卡放置装置，其特征在于，
3.如权利要求2所述的探针卡放置装置，其特征在于，
4.如权利要求1至3中任一项所述的探针卡放置装置，其特征在于，
5.如权利要求1至3中任一项所述的探针卡放置装置，其特征在于，还包括定位结构，所述定位结构用于在盒盖(2)相对盒体(1)闭合时对探针卡(3)定位。
6.如权利要求5所述的探针卡放置装置，其特征在于，
【专利技术属性】
技术研发人员：张绍辉，梁经伦，张文涛，蒋泉生，劳才高，
申请(专利权)人：广东华矽半导体设备有限公司，
类型：新型
国别省市：
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