一种探针卡放置装置制造方法及图纸

技术编号:40847233 阅读:5 留言:0更新日期:2024-04-01 15:44
本技术涉及探针卡技术领域,更具体地说,它涉及一种探针卡放置装置,探针卡放置装置包括盒体、盒盖和针尖保护罩;所述针尖保护罩用于罩住探针卡上的针尖,且可拆卸地固定在探针卡上;所述盒盖可相对盒体开合,盒盖相对盒体闭合时盒盖与盒体之间形成用于容置探针卡和针尖保护罩的容置空间。根据本技术的技术方案,针尖保护罩、盒体和盒盖配合所形成的结构可以对探针卡的针尖提供双层保护,从而提高了探针卡上的针尖在运输过程中的安全性。

【技术实现步骤摘要】

本技术涉及探针卡,特别是涉及一种探针卡放置装置


技术介绍

1、探针卡具有电路板和设置在电路板上的探针,探针的针尖伸出电路板的一侧。探针卡作为晶圆探针台对于晶圆电性能测试的接触媒介,是至关重要的组件,其中探针卡的针尖需要控制在15um的误差。目前,探针卡在加工完成后一般是放置在保护盒内,以通过保护盒保证探针卡在运输过程中pcb板和针尖的安全和稳定。

2、然而仅通过保护盒的方式仍无法完全保证探针卡上的针尖在运输过程中的安全性,故急需针对这种情况进行解决。


技术实现思路

1、有鉴于此,本技术提供一种探针卡放置装置,主要所要解决的技术问题是:如何提高探针卡上的针尖在运输过程中的安全性。

2、为达到上述目的,本技术主要提供如下技术方案:

3、本技术的实施例提供一种探针卡放置装置,其包括盒体、盒盖和针尖保护罩;

4、所述针尖保护罩用于罩住探针卡上的针尖,且可拆卸地固定在探针卡上;

5、所述盒盖可相对盒体开合,盒盖相对盒体闭合时盒盖与盒体之间形成用于容置探针卡和针尖保护罩的容置空间。

6、在一些实施方式中,所述针尖保护罩呈桶状,针尖保护罩的开口端具有环形凸缘,所述针尖保护罩通过所述环形凸缘与探针卡的电路板可拆卸连接。

7、在一些实施方式中,所述环形凸缘与探针卡的电路板通过胶布实现可拆卸连接。

8、在一些实施方式中,当针尖保护罩容置在所述容置空间内时,针尖保护罩与盒体的底面相对,且两者之间具有间隙。</p>

9、在一些实施方式中,所述的探针卡放置装置还包括定位结构,所述定位结构用于在盒盖相对盒体闭合时对探针卡定位。

10、在一些实施方式中,所述定位结构包括设置在盒体上部的台阶,所述盒体通过所述台阶对探针卡的电路板提供支撑;

11、所述盒盖相对盒体闭合时用于与电路板相抵,以将电路板抵固在台阶上。

12、在一些实施方式中,所述盒体的上部设有扩口槽,所述扩口槽的底面形成所述的台阶,所述盒盖的开口内侧壁为向盒盖外侧张开的斜面;所述盒盖的开口端用于插入所述扩口槽内,所述盒盖通过所述斜面与电路板的背离盒体一侧的侧边相抵。

13、在一些实施方式中,所述扩口槽的宽度大于探针卡的电路板的宽度;和/或,所述扩口槽的长度大于探针卡的电路板的长度。

14、在一些实施方式中,所述的探针卡放置装置还包括锁固装置,所述锁固装置用于在盒盖相对盒体闭合时将盒盖锁固在盒体上或对盒盖解锁;其中,当盒盖锁固在盒体上时,盒盖与盒体保持相对固定;当盒盖被解锁时,盒盖可相对盒体打开。

15、在一些实施方式中,所述锁固装置包括胶带,所述锁固装置通过胶带将盒盖锁固在盒体上或对盒盖解锁。

16、借由上述技术方案,本技术探针卡放置装置至少具有以下有益效果:

17、1、根据本技术的技术方案,探针卡在制作完成后可以先通过针尖保护罩将针尖罩在内部,使针尖保护罩为针尖提供第一层保护;然后再将带有针尖保护罩的探针卡整体放入盒体内,然后将盒盖闭合,盒盖与盒体配合可以对针尖提供第二层保护,如此针尖保护罩、盒体和盒盖配合所形成的结构可以对探针卡的针尖提供双层保护,从而提高了探针卡上的针尖在运输过程中的安全性;

18、2、定位结构可以在盒盖相对盒体闭合时对探针卡定位,防止运输过程中探针卡在盒体内晃动;

19、3、通过设置的锁固装置,可以将盒盖锁固在盒体上,防止在运输的过程中盒盖松脱。

20、上述说明仅是本技术技术方案的概述,为了能够更清楚了解本技术的技术手段,并可依照说明书的内容予以实施,以下以本技术的较佳实施例并配合附图详细说明如后。

21、附图说明

22、为了更清楚地说明本技术实施例或现有技术中的技术方案,下面将对实施例或现有技术描述中所需要使用的附图作简单地介绍,显而易见地,下面描述中的附图仅仅是本技术的一些实施例,对于本领域普通技术人员来讲,在不付出创造性劳动的前提下,还可以根据这些附图示出的结构获得其他的附图。

23、图1是本技术的一实施例提供的一种探针卡放置装置的结构示意图;

24、图2是探针卡放置装置的分解示意图;

25、图3是探针卡放置装置的剖视图;

26、图4是图3中a处的放大示意图。

27、附图标记:1、盒体;2、盒盖;3、探针卡;4、针尖保护罩;11、扩口槽;21、盒盖的开口内侧壁;31、电路板;32、针尖;41、环形凸缘;101、台阶。

28、具体实施方式

29、下面将结合本技术实施例中的附图,对本技术实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述,显然,所描述的实施例仅仅是本技术的一部分实施例,而不是全部的实施例。基于本技术中的实施例,本领域普通技术人员在没有作出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例,都属于本技术保护的范围。

30、需要说明,若本技术实施例中有涉及方向性指示(诸如上、下、左、右、前、后……),则该方向性指示仅用于解释在某一特定姿态(如附图所示)下各部件之间的相对位置关系、运动情况等,如果该特定姿态发生改变时,则该方向性指示也相应地随之改变。

31、另外,若本技术实施例中有涉及“第一”、“第二”等的描述,则该“第一”、“第二”等的描述仅用于描述目的,而不能理解为指示或暗示其相对重要性或者隐含指明所指示的技术特征的数量。由此,限定有“第一”、“第二”的特征可以明示或者隐含地包括至少一个该特征。另外,各个实施例之间的技术方案可以相互结合,但是必须是以本领域普通技术人员能够实现为基础,当技术方案的结合出现相互矛盾或无法实现时应当认为这种技术方案的结合不存在,也不在本技术要求的保护范围之内。

32、如图1和图2所示,本技术的一个实施例提出的一种探针卡放置装置,其包括盒体1、盒盖2和针尖保护罩4。针尖保护罩4用于罩住探针卡3上的针尖32,且可拆卸地固定在探针卡3上。由于探针卡3的电路板31的尺寸较大,优选的,针尖保护罩4用于可拆卸地设置在探针卡3的电路板31上。

33、前述的盒盖2可相对盒体1开合,盒盖2相对盒体1闭合时盒盖2与盒体1之间形成用于容置探针卡3和针尖保护罩4的容置空间。

34、探针卡3在制作完成后需要先保证针尖32的安全,不能和外界有实质性的接触。在上述示例中,探针卡3在制作完成后可以先通过针尖保护罩4将针尖32罩在内部,使针尖保护罩4为针尖32提供第一层保护;然后再将带有针尖保护罩4的探针卡3整体放入盒体1内,然后将盒盖2闭合,盒盖2与盒体1配合可以对针尖32提供第二层保护,如此针尖保护罩4、盒体1和盒盖2配合所形成的结构可以对探针卡3的针尖32提供双层保护,从而提高了探针卡3上的针尖32在运输过程中的安全性。

35、如图2所示,前述的针尖保护罩4可以呈桶状,针尖保护罩4本文档来自技高网...

【技术保护点】

1.一种探针卡放置装置,其特征在于,包括盒体(1)、盒盖(2)和针尖保护罩(4);

2.如权利要求1所述的探针卡放置装置,其特征在于,

3.如权利要求2所述的探针卡放置装置,其特征在于,

4.如权利要求1至3中任一项所述的探针卡放置装置,其特征在于,

5.如权利要求1至3中任一项所述的探针卡放置装置,其特征在于,还包括定位结构,所述定位结构用于在盒盖(2)相对盒体(1)闭合时对探针卡(3)定位。

6.如权利要求5所述的探针卡放置装置,其特征在于,

7.如权利要求6所述的探针卡放置装置,其特征在于,

8.如权利要求7所述的探针卡放置装置,其特征在于,

9.如权利要求1至3、6至8中任一项所述的探针卡放置装置,其特征在于,还包括锁固装置,所述锁固装置用于在盒盖(2)相对盒体(1)闭合时将盒盖(2)锁固在盒体(1)上或对盒盖(2)解锁;其中,当盒盖(2)锁固在盒体(1)上时,盒盖(2)与盒体(1)保持相对固定;当盒盖(2)被解锁时,盒盖(2)可相对盒体(1)打开。

10.如权利要求9所述的探针卡放置装置,其特征在于,

...

【技术特征摘要】

1.一种探针卡放置装置,其特征在于,包括盒体(1)、盒盖(2)和针尖保护罩(4);

2.如权利要求1所述的探针卡放置装置,其特征在于,

3.如权利要求2所述的探针卡放置装置,其特征在于,

4.如权利要求1至3中任一项所述的探针卡放置装置,其特征在于,

5.如权利要求1至3中任一项所述的探针卡放置装置,其特征在于,还包括定位结构,所述定位结构用于在盒盖(2)相对盒体(1)闭合时对探针卡(3)定位。

6.如权利要求5所述的探针卡放置装置,其特征在于,

【专利技术属性】
技术研发人员:张绍辉梁经伦张文涛蒋泉生劳才高
申请(专利权)人:广东华矽半导体设备有限公司
类型:新型
国别省市:

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