本实用新型专利技术涉及晶圆检测技术领域，它涉及一种探针台，其包括大理石平台、X向运动机构、Y向运动机构、X向导向机构和Y向导向机构；X向运动机构包括设置在大理石平台上的第一活动基座，X向导向机构包括X向导轨，X向导轨的数量为两个以上、且依次间隔平行设置在大理石平台上，以对第一活动基座导向；Y向运动机构包括设置在第一活动基座上的第二活动基座，第二活动基座用于供探针安装；Y向导向机构包括Y向导轨，Y向导轨的数量为两个以上、且依次间隔平行设置在第一活动基座上，以对第二安装座导向。根据本实用新型专利技术的技术方案，其可以提高探针台的运动导向的直线度和平面度，并且能够有效控制平台运动时产生的pitch/yaw值范围。制平台运动时产生的pitch/yaw值范围。制平台运动时产生的pitch/yaw值范围。
【技术实现步骤摘要】
一种晶圆检测装置及其探针台
[0001]本技术涉及晶圆检测
，特别涉及一种晶圆检测装置及其探针台。
技术介绍
[0002]晶圆检测装置具有探针台，探针台上设有运动机构，运动机构可以带动探针沿X向和Y向运动。运动机构作为探针台的核心部件，对各项技术指标提出了更高的要求，不仅要求常用的运动精度，也要求在平台运动时产生的pitch/yaw能控制在一定范围内，因此对探针台的运动导向的直线度、平面度也有严格要求。
[0003]在通常的XY控制平台中，受导向精度、驱动精度以及安装方法等因素影响，往往会使运动导向的直线度、平面度不能做到5微米级以下，从而导致平台运动时产生的pitch/yaw偏大，对探针台应用端产生极大误差，制约着探针台的检测能力。
技术实现思路
[0004]有鉴于此，本技术提供一种晶圆检测装置及其探针台，主要所要解决的技术问题是：如何提高探针台的运动导向的直线度和平面度。
[0005]为达到上述目的，本技术主要提供如下技术方案：
[0006]第一方面，本技术的实施例提供一种探针台，包括大理石平台、X向运动机构、Y向运动机构、X向导向机构和Y向导向机构；
[0007]所述X向运动机构包括设置在大理石平台上的第一活动基座，所述X向导向机构包括X向导轨，X向导轨的数量为两个以上、且依次间隔平行设置在大理石平台上，以对第一活动基座导向；
[0008]所述Y向运动机构包括设置在第一活动基座上的第二活动基座，所述第二活动基座用于供探针安装；所述Y向导向机构包括Y向导轨，Y向导轨的数量为两个以上、且依次间隔平行设置在第一活动基座上，以对第二安装座导向。
[0009]在一些实施例中，所述探针台还包括X向驱动机构，所述X向驱动机构用于驱动第一活动基座沿X向运动；
[0010]和/或，
[0011]所述探针台还包括Y向驱动机构，所述Y向驱动机构用于驱动第二活动基座沿Y向运动。
[0012]在一些实施例中，所述X向驱动机构包括设置在大理石平台上的第一直线电机，以通过第一直线电机驱动所述第一活动基座沿X向运动；其中，第一直线电机的两侧均设有所述的X向导轨；
[0013]和/或，
[0014]所述Y向驱动机构包括设置在第一活动基座上的第二直线电机，以通过第二直线电机驱动所述第二活动基座沿Y向运动；其中，第二直线电机的两侧均设有所述的Y向导轨。
[0015]在一些实施例中，所述的探针台还包括用于对第一活动基座的位移量进行检测的
第一光栅尺；
[0016]所述大理石平台上设有沿X向延伸的凸板，所述第一光栅尺的标尺光栅设置在凸板的侧面；
[0017]所述探针台还包括第一遮挡板，所述第一遮挡板包括第一支臂和第二支臂，第一支臂和第二支臂两者呈L形连接，所述第一遮挡板通过第一支臂与凸板的上端连接，以遮挡第一光栅尺的标尺光栅的上侧；所述第一遮挡板的第二支臂与第一光栅尺的标尺光栅相对，且两者之间具有间隔；所述第一光栅尺的读数头位于所述间隔内，且与第一活动基座连接。
[0018]在一些实施例中，所述探针台包括第一连接件，所述第一连接件包括第一支撑板和第一连接板，所述第一支撑板与第一连接板两者呈L形连接；其中，所述第一光栅尺的读数头设置在所述第一连接件的第一支撑板上，且通过第一连接件的第一连接板与第一活动基座连接，所述第一遮挡板的第二支臂位于第一连接板与所述第一光栅尺的读数头之间。
[0019]在一些实施例中，所述的探针台还包括用于对第二活动基座的位移量进行检测的第二光栅尺；
[0020]所述第二光栅尺的标尺光栅设置在所述第一活动基座上；
[0021]所述探针台包括第二连接件，所述第二连接件包括第二支撑板和第二连接板，所述第一支撑板与第一连接板两者呈L形连接；其中，所述第二光栅尺的读数头设置在所述第二连接件的第二支撑板上，且通过第二连接件的第二连接板与第二活动基座连接。
[0022]在一些实施例中，所述的探针台还包括走线板和X向拖链；所述X向拖链设置在所述大理石平台上；所述走线板上设有走线槽，所述走线板设置在所述第一活动基座上、且与所述X向拖链连接。
[0023]在一些实施例中，所述的探针台还包括第三连接件，所述第三连接件包括第一走线臂板、第二走线臂板和支臂连接板，所述第一走线臂板和支臂连接板两者呈L形设置，所述第二走线臂板与第一走线臂板连接、且相对第一走线臂板倾斜设置；
[0024]其中，所述第三连接件通过第一走线臂板与X向拖链连接、且通过第二走线臂板与走线板的一端连接，以连接X向拖链和走线板；所述第三连接件还通过支臂连接板与第一活动基座连接。
[0025]在一些实施例中，所述的探针台还包括第一Y向拖链和第二Y向拖链，第一Y向拖链和第二Y向拖链两者均位于第二活动基座的一侧，且两者的一端均安装在所述走线板上，且两者的另一端均与第二活动基座连接；
[0026]其中，第一Y向拖链和第二Y向拖链均呈U形设置，第一Y向拖链的所述一端位于第二Y向拖链的U形槽内，第二Y向拖链的所述另一端位于第一Y向拖链的U形槽内。
[0027]第二方面，本技术的实施例还提供一种晶圆检测装置，其可以包括上述任一种的探针台。
[0028]借由上述技术方案，本技术晶圆检测装置及其探针台至少具有以下
[0029]有益效果：
[0030]在本技术提供的技术方案中，通过增加X向导轨和Y向导轨的数量，可以提高探针台的运动导向的直线度；另外，通过设置的大理石平台，可以提高探针台的平面度。其中，在平台导向的直线度、平面度达到5微米级以内时，在提高XY运动精度的同时，能有效控
制平面运动末端产生的pitch/yaw值，从而为晶元检测提供更高精度的定位系统。
[0031]上述说明仅是本技术技术方案的概述，为了能够更清楚了解本技术的技术手段，并可依照说明书的内容予以实施，以下以本技术的较佳实施例并配合附图详细说明如后。
附图说明
[0032]图1是本技术的一实施例提供的一种探针台的结构示意图；
[0033]图2是图1中A处的放大示意图；
[0034]图3是第一光栅尺的安装示意图；
[0035]图4是第二光栅尺的安装示意图。
[0036]附图标记：1、大理石平台；2、第一活动基座；3、第二活动基座；4、X向导轨；5、第一直线电机；6、Y向导轨；7、第二直线电机；8、走线板；9、第三连接件；10、X向拖链；11、第二Y向拖链；12、第一Y向拖链；13、凸板；14、第一遮挡板；15、第一光栅尺；16、第一连接件；17、第二连接件；18、第二光栅尺；19、第二遮挡板；91、第一走线臂板；92、支臂连接板；93、第二走线臂板；801、走线槽；110、第二Y向拖链的U形槽；120、第一Y向拖链的U形槽；111、第二Y向拖链的另一端；121、第一Y向拖链的一端；141、第一支臂；142、第二支臂；151本文档来自技高网...
【技术保护点】
【技术特征摘要】
1.一种探针台，其特征在于，包括大理石平台(1)、X向运动机构、Y向运动机构、X向导向机构和Y向导向机构；所述X向运动机构包括设置在大理石平台(1)上的第一活动基座(2)，所述X向导向机构包括X向导轨(4)，X向导轨(4)的数量为两个以上、且依次间隔平行设置在大理石平台(1)上，以对第一活动基座(2)导向；所述Y向运动机构包括设置在第一活动基座(2)上的第二活动基座(3)，所述第二活动基座(3)用于供探针安装；所述Y向导向机构包括Y向导轨(6)，Y向导轨(6)的数量为两个以上、且依次间隔平行设置在第一活动基座(2)上，以对第二安装座导向。2.根据权利要求1所述的探针台，其特征在于，所述探针台还包括X向驱动机构，所述X向驱动机构用于驱动第一活动基座(2)沿X向运动；和/或，所述探针台还包括Y向驱动机构，所述Y向驱动机构用于驱动第二活动基座(3)沿Y向运动。3.根据权利要求2所述的探针台，其特征在于，所述X向驱动机构包括设置在大理石平台(1)上的第一直线电机(5)，以通过第一直线电机(5)驱动所述第一活动基座(2)沿X向运动；其中，第一直线电机(5)的两侧均设有所述的X向导轨(4)；和/或，所述Y向驱动机构包括设置在第一活动基座(2)上的第二直线电机(7)，以通过第二直线电机(7)驱动所述第二活动基座(3)沿Y向运动；其中，第二直线电机(7)的两侧均设有所述的Y向导轨(6)。4.根据权利要求3所述的探针台，其特征在于，还包括用于对第一活动基座(2)的位移量进行检测的第一光栅尺(15)；所述大理石平台(1)上设有沿X向延伸的凸板(13)，所述第一光栅尺(15)的标尺光栅(151)设置在凸板(13)的侧面；所述探针台还包括第一遮挡板(14)，所述第一遮挡板(14)包括第一支臂(141)和第二支臂(142)，第一支臂(141)和第二支臂(142)两者呈L形连接，所述第一遮挡板(14)通过第一支臂(141)与凸板(13)的上端连接，以遮挡第一光栅尺(15)的标尺光栅(151)的上侧；所述第一遮挡板(14)的第二支臂(142)与第一光栅尺(15)的标尺光栅(151)相对，且两者之间具有间隔；所述第一光栅尺(15)的读数头(152)位于所述间隔内，且与第一活动基座(2)连接。5.根据权利要求4所述的探针台，其特征在于，所述探针台包括第一连接件(16)，所述第一连接件(16)包括第一支撑板(161)和第一连接板(162)，所述第一支撑板(161)与第一连接板(162)两者呈L形连接；其中，所述第一光栅尺(15)的读数头(152)设置...
【专利技术属性】
技术研发人员：梁经伦，张文涛，张绍辉，郭龙龙，陈金宇，
申请(专利权)人：广东华矽半导体设备有限公司，
类型：新型
国别省市：
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