【技术实现步骤摘要】
本技术涉及晶圆检测探针，特别是涉及一种探针台及其高精度重负载探针升降机构。
技术介绍
1、高精度、高刚性垂直升降机构作为探针台的重要运动部件，影响着晶元检测的稳定性与可检测芯片大小的能力。
2、在传统的垂直升降结构设计中，由于高负载及高刚性的要求，对导向机构的精度、间隙以及加工零件的平面度、平行度、垂直度要求极高，各导向部件的最终安装精度会极大的影响机构的定位精度和使用寿命。传统使用的直线导轨为滚珠结构，接触面为点接触结构，在承受重负载尤其是偏载时会不可避免的存在间隙问题，最终导致行走精度变差，故继续针对这种情况进行解决。
技术实现思路
1、有鉴于此，本技术提供一种探针台及其高精度重负载探针升降机构，主要所要解决的技术问题是：如何提高升降机构在重负载下的导向精度。
2、为达到上述目的，本技术主要提供如下技术方案：
3、第一方面，本技术的实施例提供一种高精度重负载探针升降机构，其包括底座、活动块和导向机构，所述活动块可升降地设置在所述底座上，所述活动块用于供探针安装；
4、所述导向机构用于对活动块的升降导向；
5、其中，导向机构包括滚针导柱，以通过滚针导柱对活动块的升降导向。
6、在一些实施方式中，所述滚针导柱具有导套，所述活动块上设有贯穿的安装孔，所述导套穿过所述安装孔，且与安装孔的孔壁之间通过胶水粘接固定。
7、在一些实施方式中，所述导套的两端均伸出所述安装孔。
8、在一些实施方式中，
9、在一些实施方式中，所述底座上设有用于对滚针导柱的导套进行避位的避位槽，所述避位槽的底面作为所述的支撑面。
10、在一些实施方式中，所述的高精度重负载探针升降机构还包括驱动电机和光栅尺，所述驱动电机用于对活动块的升降提供动力；所述光栅尺用于在活动块上的探针运动至设定位置时生成停转信号；
11、所述驱动电机用于根据所述停转信号停止运转。
12、在一些实施方式中，所述高精度重负载探针升降机构还包括对射型光电传感器，所述对射型光电传感器设置在所述底座上，所述活动块上设有限位件；其中，限位件用于在活动块运动至极限位置时在活动块的带动下运动至对射型光电传感器的感应光路上，使对射型光电传感器控制驱动电机停止运转。
13、在一些实施方式中，所述对射型光电传感器的数量为三个，分别为上对射型光电传感器、中间对射型光电传感器和下对射型光电传感器，当活动块位于初始位置时，限位件位于中间对射型光电传感器的感应光路上；当活动块运动至上极限位置时，限位件位于上对射型光电传感器的感应光路上；当活动块运动至下极限位置时，限位件位于下对射型光电传感器的感应光路上。
14、在一些实施方式中，所述驱动电机通过滚珠丝杆机构驱动活动块升降。
15、第二方面，本技术的实施例还提供一种探针台，其可以包括上述任一种的高精度重负载探针升降机构。
16、借由上述技术方案，本技术探针台及其高精度重负载探针升降机构至少具有以下有益效果：
17、1、通过采用滚针导柱为活动块的升降导向，相对于现有技术中滚珠导柱的点接触，滚针导柱为线接触，滚针导柱能够更好的发挥导柱的刚性优势，确保在重负载下，滚针导柱的形变小，从而导向精度更高；
18、2、将4个导柱独立安装在底座的支撑面上，配合导柱自身的高直线度特性，可以确保使整体安装后仍能保持足够的平行度，确保各方向受力均匀；
19、3、实现了在探针台领域，在高刚性、重负载、高响应环境下的垂直升降的高精度运动控制。
20、上述说明仅是本技术技术方案的概述，为了能够更清楚了解本技术的技术手段，并可依照说明书的内容予以实施，以下以本技术的较佳实施例并配合附图详细说明如后。
21、附图说明
22、为了更清楚地说明本技术实施例或现有技术中的技术方案，下面将对实施例或现有技术描述中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本技术的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图示出的结构获得其他的附图。
23、图1是本技术的一实施例提供的一种探针台的结构示意图；
24、图2是反映探针台上的光栅尺的结构示意图；
25、图3是反映探针台上的对射型光电传感器与限位件配合的结构示意图。
26、附图标记：1、底座；2、活动块；3、滚针导柱；4、固定板；5、光栅尺；7、限位件；8、支撑架；9、驱动电机；10、滚珠丝杆机构；21、安装孔；31、导柱；32、导套；51、标尺光栅；52、光栅读数头；61、上对射型光电传感器；62、中间对射型光电传感器；63、下对射型光电传感器；11、避位槽；111、支撑面。
27、具体实施方式
28、下面将结合本技术实施例中的附图，对本技术实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本技术的一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本技术中的实施例，本领域普通技术人员在没有作出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本技术保护的范围。
29、需要说明，若本技术实施例中有涉及方向性指示(诸如上、下、左、右、前、后……)，则该方向性指示仅用于解释在某一特定姿态(如附图所示)下各部件之间的相对位置关系、运动情况等，如果该特定姿态发生改变时，则该方向性指示也相应地随之改变。
30、另外，若本技术实施例中有涉及“第一”、“第二”等的描述，则该“第一”、“第二”等的描述仅用于描述目的，而不能理解为指示或暗示其相对重要性或者隐含指明所指示的技术特征的数量。由此，限定有“第一”、“第二”的特征可以明示或者隐含地包括至少一个该特征。另外，各个实施例之间的技术方案可以相互结合，但是必须是以本领域普通技术人员能够实现为基础，当技术方案的结合出现相互矛盾或无法实现时应当认为这种技术方案的结合不存在，也不在本技术要求的保护范围之内。
31、如图1所示，本技术的一个实施例提出的一种高精度重负载探针升降机构，其包括底座1、活动块2和导向机构。活动块2可升降地设置在底座1上，活动块2用于供探针安装，活动块2可带动探针一起升降。其中，探针与活动块2之间的装配结构为现有技术，在此不再赘述。
32、前述的导向机构用于对活动块2的升降导向，使活动块2沿设定的轨迹运动。其中，导向机构包括滚针导柱3，以通过滚针导柱3对活动块2的升降导向。
33、在上述示例中，通过采用滚针导柱3为活动块2的升降导向，相对于现有技术中滚珠导柱的点接触，滚针导柱3为线接触，滚针导柱3能够更好的发挥导柱31的刚性优势，确保在重负载下，滚针导柱3的形变小，从而导本文档来自技高网...
【技术保护点】
1.一种高精度重负载探针升降机构，其特征在于，包括底座(1)、活动块(2)和导向机构，所述活动块(2)可升降地设置在所述底座(1)上，所述活动块(2)用于供探针安装；
2.如权利要求1所述的高精度重负载探针升降机构，其特征在于，
3.如权利要求2所述的高精度重负载探针升降机构，其特征在于，
4.如权利要求1至3中任一项所述的高精度重负载探针升降机构，其特征在于，
5.如权利要求4所述的高精度重负载探针升降机构，其特征在于，
6.如权利要求1至3、5中任一项所述的高精度重负载探针升降机构，其特征在于，还包括驱动电机(9)和光栅尺(5)，所述驱动电机(9)用于对活动块(2)的升降提供动力；所述光栅尺(5)用于在活动块(2)上的探针运动至设定位置时生成停转信号；
7.如权利要求1至3、5中任一项所述的高精度重负载探针升降机构，其特征在于，
8.如权利要求7所述的高精度重负载探针升降机构，其特征在于，
9.如权利要求6所述的高精度重负载探针升降机构，其特征在于，所述驱动电机(9)通过滚珠丝杆机
10.一种探针台，其特征在于，包括权利要求1至9中任一项所述的高精度重负载探针升降机构。
...【技术特征摘要】
1.一种高精度重负载探针升降机构，其特征在于，包括底座(1)、活动块(2)和导向机构，所述活动块(2)可升降地设置在所述底座(1)上，所述活动块(2)用于供探针安装；
2.如权利要求1所述的高精度重负载探针升降机构，其特征在于，
3.如权利要求2所述的高精度重负载探针升降机构，其特征在于，
4.如权利要求1至3中任一项所述的高精度重负载探针升降机构，其特征在于，
5.如权利要求4所述的高精度重负载探针升降机构，其特征在于，
6.如权利要求1至3、5中任一项所述的高精度重负载探针升降机构，其特征在于，...
【专利技术属性】
技术研发人员：梁经伦，张绍辉，张文涛，蒋泉生，郑海烈，
申请(专利权)人：广东华矽半导体设备有限公司，
类型：新型
国别省市：
还没有人留言评论。发表了对其他浏览者有用的留言会获得科技券。