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本技术涉及晶圆检测探针技术领域，更具体地说，它涉及一种探针台及其高精度重负载探针升降机构，其中，高精度重负载探针升降机构包括底座、活动块和导向机构，所述活动块可升降地设置在所述底座上，所述活动块用于供探针安装；所述导向机构用于对活动块的升降...
该专利属于广东华矽半导体设备有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过广东华矽半导体设备有限公司授权不得商用。

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