本实用新型涉及一种超纯氨ISO槽车处理系统，包括进料管路、出料管路、抽真空系统、超纯氨ISO槽车和充装软管；所述超纯氨ISO槽车的气相接口通过气相的充装软管与进料管路的总管连接、液相接口通过液相的充装软管与出料管路的总管相连；所述抽真空...

本申请涉及氨气传感器的技术领域，公开了一种基于激光诱导石墨烯的氨气传感器制备方法，采用如下的技术方案：一种基于激光诱导石墨烯的氨气传感器制备方法，包括以下步骤；

本实用新型涉及一种液态电子特气充装返料装置，包括充装排

本申请公开了一种中空分级结构的纳米线敏感材料及其制备方法、及氨气传感器，制备方法包括以下步骤：（1）将中空碳纳米纤维加入到乙醇和水的混合液中混合均匀，然后再依次加入镍盐和尿素，并在70

本实用新型提出一种电子特气分析系统，主要针对电子特气气体中氯化物，氮氧化物及碳氢化合物等杂质进行分析，包括气源区、控制区、检测区、尾气区；所述检测区包括气相色谱和傅里叶变换红外分析仪；气源区与检测区相连气路处设有由控制区控制的检测阀门；...

本实用新型提供一种电子级甲烷精馏纯化装置，包括甲烷循环系统及甲烷精馏系统，所述甲烷精馏系统包括一级精馏塔及二级精馏塔、主换热器及过冷器，本实用新型精馏纯化装置结构紧凑，通过甲烷循环系统、甲烷精馏系统、原料供应系统及充装系统的作用能够在节...

本申请涉及工业气体生产的技术领域，公开了一种充装装置，包括精馏件、收集件、吹扫管道以及去尾气系统管道，所述精馏件和所述收集件之间连接有充装管道，且所述充装管道和所述收集件进料的一侧相连接，所述吹扫管道能够和所述充装管道相连接，所述收集件...

本实用新型提出一种电子级三氯化硼充装系统，所述充装系统以成品输送管路（8）向充装位的充装管路（10）输送三氯化硼气体；充装管路处并接有用于吹扫充装管路的吹扫气系统，还并接有用于排空充装管路内气体的真空系统；吹扫气系统的气路上顺序设置高纯...

本申请涉及氢燃料电池的技术领域，一种氢燃料电池的二氧化碳捕集系统，包括前处理装置、二氧化碳处理装置、后处理装置以及储存装置；所述前处理装置包括分离件，所述分离件内设置有一氧化碳吸附剂和甲醇膜分离器；所述二氧化碳处理装置包括依次连通设置的...

本发明提供一种二维固体超强酸的制备方法、二维固体超强酸及其应用。本申请的二维固体超强酸按以下方法制备，将含氮单体水溶液加入到蒙脱土中，搅拌6~48小时并调节pH至2~3，滴加引发剂水溶液后继续搅拌6~48小时，过滤，水洗至中性，干燥，获...

本申请涉及氢气制备的技术领域，公开了一种甲醇和水蒸气制氢的系统，包括供料区间，所述供料区间包括用于储存甲醇的容器以及和容器相连接的加热装置，所述加热装置用于气化甲醇；第一区间，所述第一区间包括和所述加热装置连通的反应室、设置于反应室侧壁...

本实用新型涉及一种羰基硫充装的在线分析装置，包括精馏塔、气瓶、惰性气体气源、尾气吸收塔、在线气相色谱。用在线手段来分析充装气体的组分和含量。羰基硫充装的在线分析装置，在羰基硫从精馏塔充装进气瓶的管线上设置分支管线，分支管线连接在线气相色...

本实用新型涉及一种液氮气站自力式调压自动切换装置，包括与供气系统相连接的供气管道、与氮气管道相连接的输气管道，供气管道与输气管道之间连接有相并联的第一导压管和第二导压管，第一导压管上安装有第一自力式调压阀，第二导压管上安装有第二自力式调...

本申请涉及特种气体生产领域，公开了一种碳化硼与氯气反应制备三氯化硼的系统，包括通过管道相连的：气源装置，用于提供氯气；反应装置，和所述气源装置相连接，所述气源装置中的氯气能够进入到反应装置中且反应装置中用于装填碳化硼；冷凝装置，和所述反...

本实用新型涉及一种二氟乙酰乙酸乙酯生产装置，包括反应釜、干燥器、蒸馏釜、以及接收罐，反应釜的顶部连接有乙酸乙酯计量槽、二氟乙酸乙酯计量槽、二氯甲烷计量槽、硫酸计量槽，反应釜的底部与干燥器和蒸馏釜依次相连，蒸馏釜的底部与二氟乙酰乙酸乙酯接...

本实用新型涉及一种废氨溶解热量回收装置，包括吸收塔釜和安装于吸收塔釜上侧的降膜吸收塔和吸收塔，所述降膜吸收塔和吸收塔内顶部设有喷淋装置、下端设有尾气进口、顶部设有尾气出口，降膜吸收塔的尾气出口与吸收塔的尾气进口相连接；所述吸收塔釜底部设...

本实用新型涉及一种硫化氢、羰基硫尾气吸收装置，包括第一吸收塔、第二吸收塔、碱液接收罐、离心机和循环泵，第一吸收塔和第二吸收塔内部设有喷淋装置、底部连接有排液管道、顶部连接有排空管道、侧部下部连接有尾气输入管道，第一吸收塔的排空管道与第二...

本申请公开了一种利用高纯超临界二氧化碳清洗LED晶圆的清洗系统，涉及晶圆清洗的技术领域，其包括用于提供高纯超临界二氧化碳的供气部，所述供气部的出气侧连通设置有用于晶圆进行清洗的处理器，所述处理器远离供气侧连通设置有尾气排放管，所述尾气排...

本申请公开了一种LED晶圆清洗夹具及清洗设备，涉及LED晶圆生产制造技术领域，改善了无法均匀清理各个晶圆的问题，一种LED晶圆清洗夹具设置在LED晶圆清洗设备上，LED晶圆清洗设备包括反应釜，反应釜开设有容纳腔，容纳腔腔底开设有通气孔；...

本发明涉及一种二氟乙酰乙酸乙酯生产装置及其工作方法，包括反应釜、干燥器、蒸馏釜、以及接收罐，所述反应釜的顶部连接有乙酸乙酯计量槽、二氟乙酸乙酯计量槽、二氯甲烷计量槽、硫酸计量槽，反应釜的底部与干燥器和蒸馏釜依次相连，所述蒸馏釜的底部与粗...