一种利用高纯超临界二氧化碳清洗LED晶圆的清洗系统技术方案

本申请公开了一种利用高纯超临界二氧化碳清洗LED晶圆的清洗系统，涉及晶圆清洗的技术领域，其包括用于提供高纯超临界二氧化碳的供气部，所述供气部的出气侧连通设置有用于晶圆进行清洗的处理器，所述处理器远离供气侧连通设置有尾气排放管，所述尾气排放管远离处理器一侧连通设置有用于分离高纯超临界二氧化碳的尾气处理装置，所述尾气处理装置包括恒温水箱以及压力分离器，所述恒温水箱与尾气排放管相连通，所述压力分离器与恒温水箱相连通，所述尾气处理装置连通设置有回收精馏二氧化碳的通气管。本申请能够利用超临界二氧化碳完成对晶圆的清洗。成对晶圆的清洗。成对晶圆的清洗。

【技术实现步骤摘要】
一种利用高纯超临界二氧化碳清洗LED晶圆的清洗系统


[0001]本申请涉及晶圆清洗的
，尤其是涉及一种利用高纯超临界二氧化碳清洗LED晶圆的清洗系统。

技术介绍

[0002]以集成电路为核心的电子信息产业已成为我国第一大产业，集成电路产业的核心半导体技术在我国快速发展，晶圆清洗是半导体行业发展中最重要、最频繁的工序。半导体晶圆清洗工艺细分为工业标准湿法清洗工艺、稀释化学法、超声波清洗法、气相清洗法、等离子清洗法等，可归纳为湿法和干法两种，湿法清洗是目前主流技术路线，占芯片制造清洗步骤数量的90%以上。
[0003]近年来，随着全球水资源持续紧缺和化学品造成的环境污染，世界各国大力发展清洁生产工艺以及创新技术，减少水资源污染。其中，超临界二氧化碳由于在清洗时的零表面张力和高扩散性成为了新型绿色无损伤清洗工艺的首选。因此，如何利用超临界二氧化碳完成对晶圆的清洗是需要考虑的。

技术实现思路

[0004]为了利用超临界二氧化碳完成对晶圆的清洗，本申请提供一种利用高纯超临界二氧化碳清洗LED晶圆的清洗系统。
[0005]本申请提供一种利用高纯超临界二氧化碳清洗LED晶圆的清洗系统，采用如下的技术方案：一种利用高纯超临界二氧化碳清洗LED晶圆的清洗系统，包括用于提供高纯超临界二氧化碳的供气部，所述供气部的出气侧连通设置有用于晶圆进行清洗的处理器，所述处理器远离供气侧连通设置有尾气排放管，所述尾气排放管远离处理器一侧连通设置有用于分离高纯超临界二氧化碳的尾气处理装置，所述尾气处理装置包括恒温水箱以及压力分离器，所述恒温水箱与尾气排放管相连通，所述压力分离器与恒温水箱相连通，所述尾气处理装置连通设置有回收精馏二氧化碳的通气管。
[0006]通过采用上述技术方案，晶圆清洗时先通过供气部进行高纯超临界二氧化碳的供应，接着在处理器内对晶圆进行清洗，清洗时产生的尾气通过尾气排出管排出，并通过尾气处理装置对高纯超临界二氧化碳进行回收利用。整个清洗过程简单，能够通过高纯超临界二氧化碳对晶圆进行清洗，有利于保护环境，降低污染。
[0007]可选的，所述恒温水箱包括电热管以及冷凝管，所述恒温水箱设置于用于清理电热管以及冷凝管外周侧附着物的清理装置，所述清理装置包括滑动套设于冷凝管以及电热管外周侧的安装套，所述恒温水箱内旋转连接有转动轴，所述转动轴外周侧设置有供尾气冲击的动力叶，所述恒温水箱设置有转动轴旋转时驱动安装套往复滑动的驱动组件，所述安装套内旋转连接有连接套，所述安装套设置有控制组件，所述安装套往复滑动时驱动连接套旋转旋转，所述连接套内壁设置有多个用于刮除冷凝管、电热管附着物的刮板，所述安
装套内壁开设有用于汇集被刮出附着物的收集槽，所述安装套设置有与收集槽连通且用于排出附着物的排泄管。
[0008]通过采用上述技术方案，尾气进入恒温水箱时冲击在动力叶上带动旋转轴旋转，再通过驱动组件使得往复丝杆进入旋转状态，此时安装套能够往复滑动。安装套往复滑动时驱动组件驱动连接套旋转，使得刮板刮除冷凝管、电热管外周侧的附着物，提升电热管以及冷凝管的控温效率。
[0009]可选的，所述驱动组件包括往复丝杆、驱动带以及导向杆，所述往复丝杆与安装套一一对应且旋转连接于恒温水箱内，所述安装套与往复丝杆螺纹连接，所述导向杆与安装套一一对应且分别固定于恒温水箱内，所述导向杆位于安装套正下方且安装套滑动连接于导向杆，所述驱动带首尾相连且分别套设于往复丝杆，所述转动轴与邻近往复丝杆之间套设有联动带。
[0010]通过采用上述技术方案，旋转轴旋转时通过联动带带动邻近转动轴的往复丝杆旋转，接着再通过驱动带带动其余往复丝杆旋转，使得安装套能够同时进行往复运动。
[0011]可选的，所述控制组件包括控制齿轮、控制齿以及控制带，所述安装套内旋转连接有控制轴，所述控制齿轮固定于控制轴，所述控制带首尾相连且分别套设于控制轴以及连接套外周侧，所述导向杆外周侧沿长度方向开设有朝向控制齿轮的控制槽，所述控制齿有多个且间隔设置于控制槽槽壁，所述控制齿与控制齿轮相啮合。
[0012]通过采用上述技术方案，安装套滑动时通过控制齿带动控制齿轮旋转，使得控制轴能够通过控制带带动连接套旋转，有利于刮板进入附着物刮除状态。
[0013]可选的，所述导向杆内开设有汇集槽，所述控制槽槽壁开设有连通汇集槽的连通孔，所述排泄管上下滑动连接有排泄嘴，所述安装套滑动时排泄嘴滑动于控制齿，所述安装套设置有排泄嘴对准连通孔时驱动收集槽内附着物进入连通孔的排出组件。
[0014]通过采用上述技术方案，当排泄嘴与连通孔相对准时，排出组件将收集槽内的附着物排入汇集槽内。
[0015]可选的，所述排出组件包括动力板以及挤压囊，所述挤压囊设置于安装套内，所述挤压囊连通设置有传输管，所述传输管远离挤压囊一侧连通至收集槽，所述动力板固定于连接套且滑动连接于安装套内壁，所述安装套滑动连接有用于挤压挤压囊的挤压块，所述动力板滑动至封闭收集槽后推动挤压块挤压挤压囊。
[0016]通过采用上述技术方案，连接套旋转时，动力板先封闭收集槽，接着动力板驱动挤压块挤压挤压囊，使得挤压囊排出空气，推动收集槽内的附着物进入汇集槽内。
[0017]可选的，所述排泄管外周侧设置有弹性块，所述排泄嘴顶部抵接于弹性块底部。
[0018]通过采用上述技术方案，使用时弹性块弹性释放，有利于推动排泄嘴向下运动。
[0019]可选的，所述导向杆内设置有向一侧引导附着物的引导块，所述恒温水箱侧壁设置有与汇集槽相连通且供附着物排出的排出阀。
[0020]通过采用上述技术方案，使用时通过引导块引导进入汇集槽内的附着物，方便汇集、排出收集的附着物。
[0021]综上所述，本申请包括以下至少一种有益效果：1.生产时通过高纯超临界二氧化碳对晶圆进行清洗，有利于降低环境污染；2.使用时通过清理装置对电热管以及冷凝管的外周侧进行清理，降低电热管以及
冷凝管被附着物附着导致控温效率下降的可能。
附图说明
[0022]图1是本申请实施例的流程示意图；图2是本申请实施例体现恒温水箱外部结构的示意图；图3是本申请实施例体现动力叶与转动轴结构的示意图；图4是本申请实施例体现恒温水箱内部结构的示意图；图5是本申请实施例体现恒温水箱内部结构的截面示意图；图6是本申请实施例体现安装套内部结构的截面示意图；图7是本申请实施例体现恒温水箱的内部截面示意图；图8是图7的A部放大示意图；图9是图5的B部放大示意图。
[0023]附图标记：1、供气部；2、处理器；3、尾气处理装置；4、恒温水箱；41、上箱体；42、下箱体；43、电热管；44、冷凝管；45、转动轴；46、动力叶；47、联动带；5、压力分离器；6、清理装置；61、安装套；611、收集槽；612、排泄管；6121、弹性块；613、排泄嘴；62、连接套；63、刮板；7、驱动组件；71、往复丝杆；72、驱动带；73、导向杆；731、控制槽；732、汇集槽；733、连通孔；734、引导本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种利用高纯超临界二氧化碳清洗LED晶圆的清洗系统，其特征在于：包括用于提供高纯超临界二氧化碳的供气部（1），所述供气部（1）的出气侧连通设置有用于晶圆进行清洗的处理器（2），所述处理器（2）远离供气侧连通设置有尾气排放管，所述尾气排放管远离处理器（2）一侧连通设置有用于分离高纯超临界二氧化碳的尾气处理装置（3），所述尾气处理装置（3）包括恒温水箱（4）以及压力分离器（5），所述恒温水箱（4）与尾气排放管相连通，所述压力分离器（5）与恒温水箱（4）相连通，所述尾气处理装置（3）连通设置有回收精馏二氧化碳的通气管。2.根据权利要求1所述的一种利用高纯超临界二氧化碳清洗LED晶圆的清洗系统，其特征在于：所述恒温水箱（4）包括电热管（43）以及冷凝管（44），所述恒温水箱（4）设置于用于清理电热管（43）以及冷凝管（44）外周侧附着物的清理装置（6），所述清理装置（6）包括滑动套设于冷凝管（44）以及电热管（43）外周侧的安装套（61），所述恒温水箱（4）内旋转连接有转动轴（45），所述转动轴（45）外周侧设置有供尾气冲击的动力叶（46），所述恒温水箱（4）设置有转动轴（45）旋转时驱动安装套（61）往复滑动的驱动组件（7），所述安装套（61）内旋转连接有连接套（62），所述安装套（61）设置有控制组件（8），所述安装套（61）往复滑动时驱动连接套（62）旋转旋转，所述连接套（62）内壁设置有多个用于刮除冷凝管（44）、电热管（43）附着物的刮板（63），所述安装套（61）内壁开设有用于汇集被刮出附着物的收集槽（611），所述安装套（61）设置有与收集槽（611）连通且用于排出附着物的排泄管（612）。3.根据权利要求2所述的一种利用高纯超临界二氧化碳清洗LED晶圆的清洗系统，其特征在于：所述驱动组件（7）包括往复丝杆（71）、驱动带（72）以及导向杆（73），所述往复丝杆（71）与安装套（61）一一对应且旋转连接于恒温水箱（4）内，所述安装套（61）与往复丝杆（71）螺纹连接，所述导向杆（73）与安装套（61）一一对应且分别固定于恒温水箱（4）内，所述导向杆（73）位于安装套（61）正下方且安装套（61）滑动连接于导向杆（73），所述驱动带（72）首尾相连且分别套设于往复丝杆（71），所述转动轴（45）与邻近往复丝杆（71）之...

【专利技术属性】
技术研发人员：高兆林，殷玲，高梦涵，侯琳熙，贺荣华，
申请(专利权)人：福建久策气体股份有限公司，
类型：发明
国别省市：