一种电子特气分析系统技术方案

本实用新型专利技术提出一种电子特气分析系统，主要针对电子特气气体中氯化物，氮氧化物及碳氢化合物等杂质进行分析，包括气源区、控制区、检测区、尾气区；所述检测区包括气相色谱和傅里叶变换红外分析仪；气源区与检测区相连气路处设有由控制区控制的检测阀门；所述控制区通过对检测阀门的控制，使气源区的待测气体同时进入气相色谱与傅里叶变换红外光谱仪；本实用新型专利技术检测效率高，准确性好，能快速提供电子特气的分析结果。的分析结果。的分析结果。

【技术实现步骤摘要】
一种电子特气分析系统


[0001]本专利技术涉及气体分析
，尤其是一种电子特气分析系统。

技术介绍

[0002]电子特气现在广泛应用于LED、面板、太阳能、集成电路，军工等领域，随着在近年来科技产业的快速发展，电子特气被广泛的运用在蚀刻、离子注入、离子掺杂、薄膜沉积、高纯无机材料合成等方面广泛运用。国家科技的快速发展，科技行业生产工艺越来越高，也对电子特气产品的纯度要求也越来越高。因此提供一种高效准确的电子特气分析系统是必要的。
[0003]如何提升电子特气分析系统的效率和准确性，是一个研究方向。

技术实现思路

[0004]本技术提出一种电子特气分析系统，检测效率高，准确性好，能快速提供电子特气的分析结果。
[0005]本技术采用以下技术方案。
[0006]一种电子特气分析系统，主要针对电子特气气体中氯化物，氮氧化物及碳氢化合物等杂质进行分析，包括气源区、控制区、检测区、尾气区；所述检测区包括气相色谱和傅里叶变换红外分析仪；气源区与检测区相连气路处设有由控制区控制的检测阀门；所述控制区通过对检测阀门的控制，使气源区的待测气体同时进入气相色谱与傅里叶变换红外光谱仪。
[0007]所述气源区包括制备电子特气的精馏塔A和精馏塔B，还包括用于存放待分析电子特气的第一气瓶、第二气瓶，以及用于吹扫的氮气源和氦气源。
[0008]所述控制区通过控制检测阀门的启闭，使气源区的待测气体进入检测区并在一次取样内完成全部分析。
[0009]气源区与检测区相连气路处的检测阀门可手动控制启闭。
[0010]所述尾气区包括尾气系统和真空系统。
[0011]尾气区的输入端与检测区相连，输出端与尾气吸收塔相连。
[0012]所述气源区、控制区、检测区、尾气区之间通过气路管道相连接，所述气路管道以控制阀门、流量计对其内部的气体流量进行控制。
[0013]所述控制阀门包括截止阀、减压阀、针阀。
[0014]所述流量计包括质量流量计、浮子流量计。
[0015]本技术相对于现有技术，具有如下的优点及有益效果：
[0016]（1）本技术所述的一种电子特气分析系统，具备分析准确，分析效率高方面的优点。
[0017]（2）本技术所述的一种电子特气分析系统直接与分析点通过管道连接，避免气体取样过程中气体泄漏，污染等因素影响检测结果。
[0018]（3）本技术所述的一种电子特气分析系统，结构清晰，易于配备。
附图说明
[0019]下面结合附图和具体实施方式对本技术进一步详细的说明：
[0020]附图1是本技术的示意图；
[0021]图中：1
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第一气瓶；2
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第二气瓶；3
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精馏塔A；4
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精馏塔B；5
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气源区；6
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检测区。
具体实施方式
[0022]如图所示，一种电子特气分析系统，主要针对电子特气气体中氯化物，氮氧化物及碳氢化合物等杂质进行分析，包括气源区5、控制区、检测区6、尾气区；所述检测区包括气相色谱和傅里叶变换红外分析仪；气源区与检测区相连气路处设有由控制区控制的检测阀门；所述控制区通过对检测阀门的控制，使气源区的待测气体同时进入气相色谱与傅里叶变换红外光谱仪。
[0023]所述气源区包括制备电子特气的精馏塔A 3和精馏塔B 4，还包括用于存放待分析电子特气的第一气瓶1、第二气瓶2，以及用于吹扫的氮气源和氦气源。
[0024]所述控制区通过控制检测阀门的启闭，使气源区的待测气体进入检测区并在一次取样内完成全部分析。
[0025]气源区与检测区相连气路处的检测阀门可手动控制启闭。
[0026]所述尾气区包括尾气系统和真空系统。
[0027]尾气区的输入端与检测区相连，输出端与尾气吸收塔相连。
[0028]所述气源区、控制区、检测区、尾气区之间通过气路管道相连接，所述气路管道以控制阀门、流量计对其内部的气体流量进行控制。
[0029]所述控制阀门包括截止阀、减压阀、针阀。
[0030]所述流量计包括质量流量计、浮子流量计。
[0031]实施例：
[0032]如图所示，一种电子特气分析系统，包括气源区、混合区、检测区和尾气区。其中气源区分别有制备电子特气的精馏塔A，B、待分析的电子特气气瓶1,2、管道吹扫用的氮气，氦气。混合区包括气相色谱和傅里叶变换红外光谱前管道与阀门。检测区分别为气相色谱和傅里叶变换红外光谱。尾气区包含尾气系统和真空系统。
[0033]氦气在是由前端集中供气系统减压后提供，氦气进入系统由截止阀MV11控制，用于整个系统的置换以及气相色谱吹扫。
[0034]氮气也是由由前端集中供气系统减压后提供，氮气进入系统由截止阀MV20控制，用于傅里叶红外光谱吹扫使用。精馏塔A/B,气瓶1/2,为待检气源，由MV01
‑
MV04控制。
[0035]气相色谱通过截止阀MV12与外接标气进行连接，进行仪器标定，傅里叶变换红外光谱通过截止阀MV21与外接标气进行连接，进行仪器标定。
[0036]在检测前，开启截止阀MV11，MV13，并调节针法NV01，使经过气相色谱的氦气压力达到要求值。开启截止阀MV20,MV23，通过调节流量计FM01的开度，使经过傅里叶红外光谱的氮气压力达到要求值。此时气相色谱与红外光谱处于待使用状态。
[0037]检测精馏塔B样品时，开启截止阀MV05,MV14,MV09,关闭截止阀MV11,NV01,MV13。
然后开启截止阀MV11，观察压力表PG01PG02的压力值，当压力稳定不变时，关闭截止阀MV11，开启截止阀MV10，管道内的氮气通过截止阀MV10与真空系统连通，排放到尾气吸收塔。重复截止阀MV11，与截止阀MV10的开启关闭15
‑
20次，将待测管道充分置换干净，最后保持管道内PG01，PG02示数为负，关闭截止阀MV11，MV10。开启截止阀MV01,MV13,调节针阀NV01，使精馏塔B的样品经过气相色谱的压力满足气相色谱分析需求。关闭截止阀MV20,开启截止阀MV18，调节流量计FM01，使精馏塔B的样品经过傅里叶变换红外光谱仪的压力符合要求。
[0038]此时精馏塔B的样品同时经过气相色谱与傅里叶变换红外光谱仪，点击仪器开始检测按钮，仪器进行分析检测。检测完毕后，关闭截止阀MV18，开启截止阀MV20使傅里叶变换红外光谱处于氮气吹扫状态。
[0039]氮气吹扫时，关闭针阀NV01，截止阀MV01,开启截止阀MV10使压力表PG01，PG02的示数处于负状态，并保持不变，关闭截止阀MV10，开启截止MV11,使PG01，PG02压力显示稳定。重复截止阀MV10，MV11开启与关闭15
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20次，将管道内的样品置换干净。最后保持截止本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种电子特气分析系统，主要针对电子特气气体中氯化物，氮氧化物及碳氢化合物的杂质进行分析，其特征在于：包括气源区、控制区、检测区、尾气区；所述检测区包括气相色谱和傅里叶变换红外分析仪；气源区与检测区相连气路处设有由控制区控制的检测阀门；所述控制区通过对检测阀门的控制，使气源区的待测气体同时进入气相色谱与傅里叶变换红外光谱仪。2.根据权利要求1所述的一种电子特气分析系统，其特征在于：所述气源区包括制备电子特气的精馏塔A和精馏塔B，还包括用于存放待分析电子特气的第一气瓶、第二气瓶，以及用于吹扫的氮气源和氦气源。3.根据权利要求1所述的一种电子特气分析系统，其特征在于：所述控制区通过控制检测阀门的启闭，使气源区的待测气体进入检测区并在一次取样内完成全部分析。4.根据权利要...

【专利技术属性】
技术研发人员：吴禹强，
申请(专利权)人：福建久策气体股份有限公司，
类型：新型
国别省市：