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东莞市中微纳米科技有限公司专利技术
东莞市中微纳米科技有限公司共有26项专利
一种用于半导体超精细研磨专用垫制造技术
本实用新型公开了一种用于半导体超精细研磨专用垫,所述研磨专用垫包括从一侧到另一侧方向依次复合的蜂窝网格层、第一双面不干胶层、PET基材层、第二双面不干胶层和离型纸,所述蜂窝网格层是带蜂窝通孔的PET片材,本实用新型的半导体超精细研磨专用...
一种用于半导体超精细研磨专用垫制造技术
本发明公开了一种用于半导体超精细研磨专用垫,所述研磨专用垫包括从一侧到另一侧方向依次复合的蜂窝网格层、第一双面不干胶层、PET基材层、第二双面不干胶层和离型纸,所述蜂窝网格层是带蜂窝通孔的PET片材,本发明的半导体超精细研磨专用垫,通过...
一种用于研磨晶圆片的超精细改性聚合粉及液的制备方法技术
一种用于研磨晶圆片的超精细改性聚合粉及液的制备方法,包括聚合粉的制备方法和聚合液的制备方法,本聚合液配合专用的蜂窝网格研磨垫对半导体晶圆片表面进行研磨时,在保证加工精度的同时能显著提高研磨效率,本方案中的金刚石单晶磨粒为精细研磨的磨料;...
一种弹性打磨头制造技术
本实用新型公开一种弹性打磨头,包括硬质本体和弹性件;所述硬质本体呈圆柱状,其中部延其轴向成型有用于灌注研磨液的通孔;若干个所述弹性件沿所述硬质本体的轴向均匀设置;所述弹性件两两之间具有排屑间隙;每一所述弹性件的上部固定连接至所述硬质本体...
一种用于机床主轴与工作头的连接装置制造方法及图纸
一种用于机床主轴与工作头的连接装置,包括箱体、输入轴、变速齿轮副、输出轴和模头;所述输入轴与所述输出轴均转动安装在所述箱体上;所述输入轴用于与机床的主轴传动;所述输入轴通过所述变速齿轮副驱动所述输出轴旋转;所述输出轴轴向上的一个端部设有...
一种新型固结磨料及其制备方法技术
本发明属于抛光材料技术领域,提出了一种新型固结磨料及其制备方法。本发明提供的固结磨料以下重量份的组分:金刚石10~20份,聚氯乙烯20~40份,硅酸钙20~40份,氧化铈10~20份,其制备方法中先将金刚石、硅酸钙、氧化铈混合,得到混合...
一种用于研磨机的研磨头制造技术
本实用新型属于研磨机技术领域,提出了一种用于研磨机的研磨头,包括圆筒,圆筒侧壁设有通水孔;转动轴,转动轴转动设置在圆筒内,转动轴上设置有导水槽;密封装置,密封装置为两个,分别设置在圆筒的两端,用于使圆筒两端与转动轴密封;安装板,安装板固...
一种便携式茶水分离杯制造技术
本实用新型公开了一种便携式茶水分离杯,包括依次转动且密封连接的杯盖、进出口杯体、外筒旋转体、旋转支撑连接体和茶水杯体,进出口杯体中部的盖板上设置有若干个出水口,盖板与外筒旋转体之间设置有内筒体,内筒体的底端与外筒体中部的挡板固连,内筒体...
一种研磨头安装装置制造方法及图纸
本实用新型属于研磨抛光技术领域,提出了一种研磨头安装装置,包括转轴,转轴与数控机床连接;套筒,套筒的一端固定设置在转轴远离数控机床的一端;滑动柱,滑动柱滑动设置在套筒的内壁;连接柱,连接柱设置在滑动柱远离套筒的一端,连接柱与研磨头连接;...
一种便携式茶水分离杯制造技术
本发明公开了一种便携式茶水分离杯,包括依次转动且密封连接的杯盖、进出口杯体、外筒旋转体、旋转支撑连接体和茶水杯体,进出口杯体中部的盖板上设置有若干个出水口,盖板与外筒旋转体之间设置有内筒体,内筒体的底端与外筒体中部的挡板固连,内筒体中设...
一种金刚石复合材料及其制备方法和应用技术
本发明提供了一种金刚石复合材料,涉及硬脆材料精细研磨领域。本发明中,金刚石复合材料用于精磨时,在接触到纯净水后会发生微溶,此时金刚石磨粒会被释放出来,与水形成研磨液,蜂窝芯材具有一定的机械支撑力,研磨时研磨液会爬到芯材壁的顶面上与被加工...
一种用于连接研磨机与研磨头的装置制造方法及图纸
本实用新型公开一种用于连接研磨机与研磨头的装置,包括连接杆,所述连接杆的一端与研磨机研磨机头固连、另一端固连有连接块,所述连接块远离所述连接杆的一端与弹簧的一端固连,所述弹簧的另一端与垫片固连,所述连接杆、所述弹簧及所述垫片同轴,所述垫...
一种用于研磨机的研磨机构制造技术
本实用新型公开一种用于研磨机的研磨机构,包括连接单元和研磨垫,连接单元包括同轴的连接柱和安装固定环,连接柱与研磨机的研磨机头固连,连接柱通过至少两个连接杆与安装固定环连接,安装固定环的底端设置环形凹槽,研磨垫固设于环形凹槽中;研磨垫包括...
一种抛光片及其制备方法技术
本发明提供了一种抛光片,包括基片和设置在所述基片表面的若干行凸起,每行凸起由多个凸起花纹单元构成,所述凸起花纹单元由磨料形成,所述凸起花纹单元呈工字型,包括第一横部、第二横部和竖部;每行凸起在所述基片表面沿竖部方向成行排列。本发明提供的...
微米级磁性复合磨料和水基磁流变抛光液制造技术
本发明属于抛光材料技术领域,具体涉及微米级磁性复合磨料和水基磁流变抛光液。本发明提供的微米级磁性复合磨料,包括以下质量份的原料:金刚石粉5~15份,磁粉25~35份,二氧化硅18~28份,氧化硼30~40份,氧化锌10~20份和氧化钙5...
一种用于连接研磨机与研磨头的装置制造方法及图纸
本发明公开一种用于连接研磨机与研磨头的装置,包括连接杆,所述连接杆的一端与研磨机研磨机头固连、另一端固连有连接块,所述连接块远离所述连接杆的一端与弹簧的一端固连,所述弹簧的另一端与垫片固连,所述连接杆、所述弹簧及所述垫片同轴,所述垫片的...
一种用于研磨机的研磨机构制造技术
本发明公开一种用于研磨机的研磨机构,包括连接单元和研磨垫,连接单元包括同轴的连接柱和安装固定环,连接柱与研磨机的研磨机头固连,连接柱通过至少两个连接杆与安装固定环连接,安装固定环的底端设置环形凹槽,研磨垫固设于环形凹槽中;研磨垫包括相互...
一种弹性固结磨料及其制备方法和应用技术
本发明属于抛光材料技术领域,提供了一种弹性固结磨料及其制备方法和应用。本发明提供的弹性固结磨料包括以下重量份的组分:金刚石8~10份,热塑性聚氨酯橡胶5~50份,滑石粉20~25份,云母粉15~20份,硬脂酸5~10份;本发明提供的弹性...
一种砂纸及其制备方法技术
本发明提供了一种砂纸,包含顺次设置的加强层、研磨复合体阵列层、粘结剂层和基材层;研磨复合体阵列层和粘结剂层连接的一侧内部包覆有玻璃纤维网格布,另一侧呈凹凸阵列状。本发明提供的砂纸,研磨复合体外表面微凸起的金刚石可对工件表面进行精细研磨,...
通水弹性精磨轮制造技术
一种通水弹性精磨轮,包括:转轴转盘,转轴转盘包括有转轴以及安装盘,转轴上开设有流通通道,安装盘内具有分液室,流通通道与分液室连通;弹性磨片,弹性磨片包括有基层,基层为柔性吸水材料基层,基层设置有固结金刚石树脂复合层。在研磨时对通水弹性精...
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