东莞市晟悦半导体设备有限公司专利技术

东莞市晟悦半导体设备有限公司共有8项专利

  • 本技术涉及电镀技术领域,具体而言,涉及一种镀槽。镀槽包括阳极槽、阴极槽、隔膜及阳极;阴极槽位于阳极槽的上方,隔膜设置于阴极槽和阳极槽之间,且将阴极槽内的阴极液与阳极槽内的阳极液电导通;阳极容置于阳极槽内,且与外部电源的正极连接;阴极槽用...
  • 本实用新型涉及电镀技术领域,具体而言,涉及一种电镀设备。电镀设备包括均流器、阳极组以及镀件;均流器、阳极组以及镀件依次设置;均流器开设进液口以及多个均流口,进液口及多个均流口均与均流器的内腔连通,且多个均流口均位于均流器正对于阳极组的侧...
  • 本实用新型涉及电镀技术领域,具体而言,涉及一种均流器和电镀设备。均流器内分隔有第一容腔及第二容腔,且均流器设置有进液口,进液口与第一容腔连通;均流器围合成第一容腔的两个相对的侧壁上分别开设有多个阳极孔及多个第一均流孔,多个第一均流孔阵列...
  • 本实用新型涉及电镀技术领域,具体而言,涉及一种均流器和镀槽。均流器包括主体以及隔膜;主体设置有容腔及进液口,进液口与容腔连通;容腔的相对的两个侧壁上分别开设有多个出口孔及多个阳极孔,多个出口孔及多个阳极孔均与容腔连通;隔膜与主体连接,且...
  • 本实用新型涉及电镀技术领域,具体而言,涉及一种电极遮挡结构。电极遮挡结构包括底板、活动板以及多个挡板;底板设置有第一通孔;活动板及多个挡板均与底板连接,且多个挡板均与活动板传动连接;其中,活动板用于在外力的作用下带动所有的挡板相对于底板...
  • 本实用新型涉及面板电镀技术领域,具体而言,涉及一种动态阳极遮板。动态阳极遮板包括安装板、活动组件及活动遮板组;活动遮板组通过活动组件与安装板可滑动地连接,且活动遮板组与安装板间隔,安装板与活动遮板组之间的区域用于安装阳极;活动遮板组用于...
  • 本发明涉及电镀技术领域,具体而言,涉及一种动态阳极遮挡结构。动态阳极遮挡结构包括安装板、遮挡板以及驱动组件;遮挡板与安装板可转动地连接;驱动组件与安装板连接,并用于驱动遮挡板相对于安装板转动。该动态阳极遮挡结构能够均匀遮挡镀件的边缘,进...
  • 本实用新型的实施例提供了一种垂直连续电镀设备,涉及电镀装配领域。该垂直连续电镀设备包括电镀槽、设置于电镀槽内的阳极单元以及设置于电镀槽内的搅拌件,阳极单元用于与工件间隔设置,搅拌件用于设置于阳极单元和工件之间,且搅拌件用于与工件平行设置...
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