动态阳极遮挡结构制造技术

本发明专利技术涉及电镀技术领域，具体而言，涉及一种动态阳极遮挡结构。动态阳极遮挡结构包括安装板、遮挡板以及驱动组件；遮挡板与安装板可转动地连接；驱动组件与安装板连接，并用于驱动遮挡板相对于安装板转动。该动态阳极遮挡结构能够均匀遮挡镀件的边缘，进而可以消除晶圆在垂直机台上边缘局部的差异，使整板镀层均匀性进一步提高。匀性进一步提高。匀性进一步提高。

【技术实现步骤摘要】
动态阳极遮挡结构


[0001]本专利技术涉及电镀
，具体而言，涉及一种动态阳极遮挡结构。

技术介绍

[0002]目前，为了提高阴极镀层或者工件的均匀性，通常都会有阳极遮挡，确保电力线分布均匀。但是在垂直晶圆电镀领域，均匀性始终无法达到水平机台的效果。因为，除了阳极遮板外，还受镀液流态在垂直方向上流动的差异，即镀液搅拌或交换不均匀，会影响镀层的均匀性，同时流态交换不均匀直接影响遮挡的效果。

技术实现思路

[0003]本专利技术的目的包括，例如，提供了一种动态阳极遮挡结构，其能够均匀遮挡镀件的边缘，进而可以消除晶圆在垂直机台上边缘局部的差异，使整板镀层均匀性进一步提高。
[0004]本专利技术的实施例可以这样实现：
[0005]本专利技术提供一种动态阳极遮挡结构，动态阳极遮挡结构包括安装板、遮挡板以及驱动组件；
[0006]遮挡板与安装板可转动地连接；驱动组件与安装板连接，并用于驱动遮挡板相对于安装板转动。
[0007]在可选的实施方式中，驱动组件包括驱动件、转动连接件以及传动件；
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【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种动态阳极遮挡结构，其特征在于：所述动态阳极遮挡结构包括安装板、遮挡板以及驱动组件；所述遮挡板与所述安装板可转动地连接；所述驱动组件与所述安装板连接，并用于驱动所述遮挡板相对于所述安装板转动。2.根据权利要求1所述的动态阳极遮挡结构，其特征在于：所述驱动组件包括驱动件、转动连接件以及传动件；所述驱动件通过所述转动连接件与所述安装板可转动地连接，所述遮挡板与所述驱动件连接；所述传动件与所述驱动件传动连接，且所述传动件用于与外部动力单元传动连接。3.根据权利要求2所述的动态阳极遮挡结构，其特征在于：所述驱动件的外周面设置有外齿，所述传动件为传动齿轮，所述传动齿与所述外齿啮合。4.根据权利要求2所述的动态阳极遮挡结构，其特征在于：所述驱动件设置有镂空的圆心部；所述遮挡板为环形件，所述遮挡板具备环形的第一遮挡部；沿所述驱动件的轴线方向，所述第一遮挡部位于所述圆心部的投影区域内。5.根据权利要求4所述的动态阳极遮挡结构，其特征在于：所述第一遮挡部开设有至少一个镂空孔。6.根据权利要求4所述的动态阳极遮挡结构，其特征在于：所述第一遮挡部开设有多个...

【专利技术属性】
技术研发人员：张二航，陈爱民，
申请(专利权)人：东莞市晟悦半导体设备有限公司，
类型：发明
国别省市：