本发明公开了一种清洗光伏生产用石墨舟的微波等离子体干法刻蚀工艺，对内置有石墨舟的工艺腔体输入经远程微波等离子体系统作用产生的等离子体，并对工艺腔体内的石墨舟施加由射频电源产生的交变电场，通过交变电场驱动等离子体轰击石墨舟，实现清除石墨舟...

本发明公开了一种清洗光伏生产用石墨舟的反应离子刻蚀工艺，对内置有石墨舟的工艺腔体输入工艺气体，通过放电用射频电源使工艺腔体内的工艺气体形成等离子体，通过偏压电源驱动等离子体轰击石墨舟，实现清除石墨舟上沉积的薄膜。本发明能解决传统太阳能电...

一种用于离线检测硅块的装置，本发明涉及机械工程技术领域；电柜本体前侧壁下侧的开口端左右两侧通过合页对称旋转设置有电柜门；检测机构设置在电柜本体的内部左侧，且设置于电柜门的上方；显示屏固定嵌设在检测机构右侧的电柜本体的前侧壁上；显示屏下侧...

一种用于手持串焊机的流动作业的装置，本发明涉及机械工程技术领域；推车的侧壁上固定设置有车把手，推车底面的四个角上均设置有万向轮，推车的侧壁内部通过合页设置有电气零件柜；焊接架固定设置在推车的顶面上；温度控制器固定设置在焊接架一侧的推车顶...

一种石墨舟烘箱自动上料机构，本实用新型涉及石墨烘箱技术领域；烘箱本体内设置有烘干支架，烘干支架的内底面上固定有支柱，支柱上套设有支套，支套的外环壁上固定有数个放置支架，放置支架中的垂直端设置于烘干支架的外侧，并接触设置，放置支架中的水平...

一种批量化石墨舟烘箱，本实用新型涉及石墨舟清洗处理装置技术领域，箱体内设置有固定架，固定架内从上至下等距设置有数个支架，固定架的侧板上穿设固定有导向套，支架的位于固定套外部的侧壁上固定设置有导向杆，导向杆活动穿设在导向套内，箱体的左右两...

一种刻蚀设备用防刻蚀过度机构，本实用新型涉及刻蚀设备技术领域；刻蚀台本体的上侧左右对称固定有固定块，左侧的固定块的左侧固定有横向驱动电机，横向驱动电机的输出轴穿过该固定后，固定有驱动丝杆，驱动丝杆上通过螺纹旋转套设有横向移动支座，刻蚀台...

一种激光划片机生产用粉尘收集装置，本实用新型涉及激光加工设备技术领域；上下两侧的固定板之间设置有调节板，调节板的前后两侧分别通过螺纹旋转套设在前后两侧的丝杆上；支撑板的上侧通过弹簧合页旋转设置有活动板，活动板的右侧壁上矩阵式固定设置有数...

一种晶元激光刻蚀设备中的工件表面清洁机构，本实用新型涉及硅晶元加工设备技术领域，支架上固定设置有操作箱，操作箱右端口的上下两侧边上均通过弹簧合页铰设有挡板，挡板活动边的前后两端对称固定设置有轴座，前后两侧的轴座之间设置有夹紧辊，操作箱的...

一种清理花篮工装的装置，本发明涉及光伏电池制造技术领域，清洗机构设置在进料输送机构的出口端位置处，横移机构的入口端设置于清洗机构的出口端位置处，横移机构的出口端设置于出料输送机构的入口端位置处；所述触摸屏及控制按钮固定在机架的左侧壁上；...

一种PP工作台的防撞击保护机构，本实用新型涉及实验设备技术领域；桌台本体的上表面后侧左右对称开设有插槽，插槽的底部贯通开设有操作槽，操作槽的内底面上固定有定位柱，试管架的底部左右对称固定有定位块，定位块的底部开设有定位槽，定位块穿过插槽...

一种硅晶元制绒设备的送料机构，本实用新型涉及硅晶元制造设备技术领域，底座上固定设置有支架，支架内活动设置有承载台，支架的上侧壁左右两边对称固定设置有导向环，承载台的上侧壁左右两边均固定设置有导向杆，导向杆活动穿设在导向环内，底座的上表面...

一种激光划片机电池片定位装置，本实用新型涉及激光加工设备技术领域；前后两侧的滑轨底部通过滑块滑动设置有安装板，一号电动推杆下端设置有导料板，导料板的内部开设有气道，气道的输入端通过接头和管道与外部气泵连接；导料板的底面上矩阵式开设有数个...

一种自动流转机构，本实用新型涉及机械工程技术领域；载具传输连接板为两个，左右对称设置于横移模块的上侧；载具电机设置于右侧的载具传输连接板的右侧；同步轮为四个，呈矩形分布设置于横移模块的上侧，前侧的左右两个同步轮之间通过主动轴连接，主动轴...

一种用于自动点胶装置，本实用新型涉及机械工程技术领域；减速机与伺服电机的输出轴连接；驱动链轮套设并固定在减速机的输出轴上，主传动轴插设在上侧的驱动链轮内，主动轴承座套设在主传动轴的两端上；主动链轮套设在主传动轴的中端上；从动链轮通过倍速...

一种用于电池片激光划片机的定位机构，本实用新型涉及电池片加工设备技术领域；放置槽的下侧壁内设有空腔，空腔内部的左右两侧设有连接板，连接板的前后两侧固定有滑架，滑架滑动设置在空腔上侧壁上的滑槽内，滑架的竖边固定在夹板下表面的前后两侧，空腔...

一种石墨舟清洗机的粉尘回收机构，本实用新型涉及石墨舟清洁设备技术领域，箱体的左右两内侧壁上对称固定设置有滑轨，且滑轨的前端向上倾斜设置，支架上固定设置有滑块，滑块滑动设置在滑轨上，支架的内侧壁上位于滑轨的下方固定设置有插槽，箱体的上侧板...

一种石墨舟搬运用小推车防掉落机构，本实用新型涉及石墨磨具搬运设备技术领域；推车本体的四周壁上均开设有开槽，开槽内插设有支撑块，支撑块的外侧固定有推动块，推车本体的底部四周均固定有数个固定块，固定块的外侧固定有电动推杆，电动推杆的推动端与...

一种能够提高晶圆刻蚀均匀性的刻蚀机台，本实用新型涉及刻蚀机技术领域，槽体的内侧壁上开设有一号导向槽，一号导向槽的内部活动嵌设有转动环；转动环的外侧壁上开设有环形槽，转动环的内侧壁上等圆角固定设置有数个二号气嘴，数个二号气嘴分别与相对应位...