【技术实现步骤摘要】
一种刻蚀设备用防刻蚀过度机构
[0001]本技术涉及刻蚀设备
，具体涉及一种刻蚀设备用防刻蚀过度机构。
技术介绍
[0002]刻蚀设备的发展和光刻技术，互连技术密切相关，刻蚀相对光刻要容易，光刻机把图案印上去，然后刻蚀机根据印上去的图案刻蚀掉有图案（或者没有图案）的部分，留下剩余的部分；刻蚀过程中需要带动工件进行移动，在工件上不同的位置处进行刻蚀操作，然而，经常出现工件移动过度的情况，导致刻蚀的位置发生错误，导致工件产生不良品。
技术实现思路
[0003]本技术的目的在于针对现有技术的缺陷和不足，提供一种设计合理的刻蚀设备用防刻蚀过度机构，通过带动限位块进行移动，使工件移动，从而避免工件移动过度，从而提高了刻蚀的精准度。
[0004]为达到上述目的，本技术采用了下列技术方案：它包含刻蚀台本体、横向移动支座和纵向移动支座，刻蚀台本体的上侧左右对称固定有固定块，左侧的固定块的左侧固定有横向驱动电机，横向驱动电机的输出轴穿过该固定后，固定有驱动丝杆，驱动丝杆的右端与右侧的固定块通过轴承旋接设置，驱动丝杆上...
【技术保护点】
【技术特征摘要】
1.一种刻蚀设备用防刻蚀过度机构，它包含刻蚀台本体（1）、横向移动支座（2）和纵向移动支座（3），刻蚀台本体（1）的上侧左右对称固定有固定块（4），左侧的固定块（4）的左侧固定有横向驱动电机（5），横向驱动电机（5）的输出轴穿过该固定后，固定有驱动丝杆（6），驱动丝杆（6）的右端与右侧的固定块（4）通过轴承旋接设置，驱动丝杆（6）上通过螺纹旋转套设有横向移动支座（2），刻蚀台本体（1）上前后对称固定有滑轨（7），横向移动支座（2）通过其底部的槽体左右滑动设置在滑轨（7）上，横向移动支座（2）为“U”形结构设置，横向移动支座（2）中的后侧垂直端上固定有纵向驱动电机（8），纵向驱动电机（8）的输出轴穿过该垂直端后，固定有导向丝杆（9），导向丝杆（9）的前端通过轴承旋接设置在横向移动支座（2）中的前侧垂直端内，导向丝杆（9）上通过螺纹旋转套设有纵向移动支座（3），纵向移动支座（3）的底部左右对称固定有导轨（10），横向移动支座（2）中的水平端上左右对称开设有导槽（2
‑
1），导轨（10）前后滑动设置在导槽（2
‑
1）内；横向驱动电机（5）、纵向驱动电机（8）均与刻蚀机内的电源连接。2.根据权利要求1所述的一种刻蚀设备用防刻蚀过度机构，其特征在...
【专利技术属性】
技术研发人员：穆亚琦，刘站站，任景洲，穆小东，刘金军，张磊，
申请(专利权)人：常州阿普智能科技有限公司，
类型：新型
国别省市：
还没有人留言评论。发表了对其他浏览者有用的留言会获得科技券。