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一种刻蚀设备用防刻蚀过度机构制造技术
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文档序号:32305909
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一种刻蚀设备用防刻蚀过度机构,本实用新型涉及刻蚀设备技术领域;刻蚀台本体的上侧左右对称固定有固定块,左侧的固定块的左侧固定有横向驱动电机,横向驱动电机的输出轴穿过该固定后,固定有驱动丝杆,驱动丝杆上通过螺纹旋转套设有横向移动支座,刻蚀台本体...
该专利属于常州阿普智能科技有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过常州阿普智能科技有限公司授权不得商用。
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