本发明公开了一个用于同时在许多个大面积基板上镀膜的等离子体增强化学气相沉积（ＰＥＣＶＤ）设备和方法。多个基板被放置在由多个间隔平行、交错排列的激发电极和接地电极组成的长方形等离子箱中，所有相邻相反电极之间一致均匀地形成多个等离子体区域。...

本发明公开了一种将非晶硅薄膜转化成多晶硅的方法。将沉积于基板上的氢化非晶硅薄膜或其器件置于不小于２００个大气压的高压氢气环境中，在不低于６００℃的温度下，维持２－２０小时，所得到的氢钝化的多晶硅薄膜可直接被用做高效率的光电转换材料。

本发明公开了一种特殊的适合光伏建筑一体化应用的薄膜光伏模块。透视型非晶硅（ａ－Ｓｉ）光伏模块是由透明电极和部分透明的非晶硅半导体薄膜层构成的，非常适用于光伏玻璃窗。非晶硅透视型光伏模块且具备双面光感的特性。

本发明为包含较薄的ｉ层的ｐ－ｉ－ｎ型大面积基于氢化非晶硅薄膜的光伏模块提供了一种抑制分流缺陷的方法。基于非晶硅合金的具有宽带隙、高电阻的薄膜被置于活跃光伏层和导电的背电极之间，对电流的渗漏起屏障的作用。这种透光性强的分流屏障材料，是一种...

本发明公开了一个ｐ－ｉ－ｎ型光伏电池，该光伏电池包含一个新颖的带隙较窄的ｉ层吸收层。该吸收层的前部分由纳米晶硅制成，中间部分由非晶锗材料制成，后部分由非晶锗硅制成。这种含有混合型ｉ层的光伏电池，可以很好地作为基于硅薄膜的多结光伏器件的底...

本发明公开了一种制作氢化微晶硅薄膜的方法。首先在基板上形成一个含有晶核的氢化硅引晶层，然后快速的用等离子体化学气相沉积法形成一个厚度不超过３微米的氢化非晶硅薄膜。随后将该材料置于一个不小于５００个大气压的高压氢气环境中，在不高于３００℃...

本发明公开了一种新颖的薄膜硅太阳能电池背接触层的设计方案。为了克服薄膜氢化硅太阳能电池中有关氧化锌／银的高反射率双薄膜背接触层的分流及不稳定性问题，同时避免氧化锌／银／铝背接触层中银和铝的相互扩散的现象，本发明在银和铝中间插入一个阻挡层...

本发明公开了一种使得低温度化学气相沉积的氢化非晶硅变得更稳定的处理方法。将沉积好的氢化非晶硅薄膜或其器件置于不小于５０个大气压的高压氢气环境中，在１００－２００℃范围内，维持１－３小时，同时可以选择性的向非晶硅薄膜器件施加直流偏压。经过...

本发明公开了氢化硅薄膜的沉积方法。在低温的等离子体增强化学气相沉积过程中，以脉冲的形式周期性的向负电极提供射频或极高频电能，脉冲的频率范围为３００Ｈｚ－５０ｋＨｚ，且每周期内脉冲的宽度不大于半个周期。这种方法可以使高质量的氢化硅薄膜以高...

本发明公开了一种改进本征非晶硅薄膜的稳定性的化学退火方法。在使用等离子体增强化学气相沉积法生成氢化非晶硅的过程中，２－１０纳米厚硅膜的生长和氢气等离子体的化学退火处理交替进行，使得氢化硅材料的原子结构得到充分的重建和松动，并降低电子缺陷...

本发明公开了一种使用等离子体沉积过程制作透明导电氧化物的方法。向等离子体增强化学气相沉积（ＰＥＣＶＤ）系统中提供包含有氧和金属元素的源气体混合物，以辉光放电的方式激活镀膜的前期物质，从而形成金属氧化物薄膜。这种镀膜方式与制作基于氢化硅薄...

本发明公开了一种薄膜太阳能电池的背反射层。薄膜太阳能电池的背电极由一个透明导电氧化物（ＴＣＯ）薄膜和一个格栅状的金属网膜构成，其后涂上具有高度光反射性的超白漆，使得大部分长波光在ＴＣＯ与超白漆的界面被反射回太阳能电池的半导体吸收层。从而...

本发明公开了一种薄膜太阳能电池的光漫射层。用辉光放电方法形成的极透明且具有极高漫射性的氮化硫薄膜可被置于薄膜太阳能电池的受光面，也可被置于薄膜太阳能电池透明背电极和背反射层之间，从而显著增大光子进入光电转换层的角度，增强光陷阱效应，从而...

本发明公开了一种减少氢化硅薄膜光伏器件内反射的方法。在沉积ｐ－ｉ－ｎ型光伏单元之前，采用等离子体处理方法将作为透明前电极的金属氧化物的表层进行部分还原，使其成为低值氧化物，其光折射系数介于原金属氧化物和第一ｐ层之间，从而起到防反射的作用...

本发明公开了一种增加薄膜太阳能电池光吸收的方法。首先在玻璃基板上沉积直径低于１微米的玻璃珠粒，使其表面具有适当的微米尺寸的起伏结构，然后沉积透明前电极使其具有相似的有明显光散射效应的表面结构。在此种透明前电极上形成的薄膜光伏器件具有更高...

本发明公开了一种非晶硅光伏器件中的防反射膜的技术手段。在基于薄膜硅的光伏器件的前电极和第一ｐ层之间嵌入一个金属氧化物薄膜，能够减少光学损耗，并能增强器件的光电转化效率。这样的有适当折射系数的防反射膜可以通过真空薄膜沉积法制作，包括溅射法...

本发明公开了一个增强薄膜硅光伏器件光吸收的方法。首先在基板上沉积一个含有纳米颗粒的超薄硅层，从而使得使用等离子体增强化学气相沉积法生成的基于氢化硅薄膜的光伏转换层的表面具有明显的粗糙性，从而使长波光以大角度的散射方式被背电极反射回光伏转...

本发明公开了一种增强薄膜光伏器件光吸收的方法。首先在玻璃基板上形成透明前电极，然后对该前电极进行处理，使其表面具有明显的微米尺寸的粗糙结构。在这种非光滑透明前电极上制成的薄膜光伏器件，因有效的光散射而具有更高的对长波光的吸收能力和更高的...

本发明公开了一种增加透明导电氧化物光散射能力的方法。首先将平展的玻璃基板进行处理，使其表面具有适当的微米尺寸的粗糙结构，使其后所沉积的透明导电氧化物具有相似的表面结构，在此种透明导电氧化物上形成的薄膜光伏器件具有更高的光吸收能力和转换效率。

本发明公开了一种纳米晶硅的等离子体沉积方法。传统方法制作氢化纳米晶硅（ｎｃ－Ｓｉ）薄膜是在等离子体增强化学气相沉积（ＰＥＣＶＤ）过程中用氢气高度稀释硅烷。与此不同，本发明中使用惰性气体混合物高度稀释硅烷。惰性气体稀释法增强了薄膜沉积速率...