本发明公开了一种基板夹紧装置和基板传送装置，用于通过机械地固定基板的其中一侧并通过真空吸附而传送基板。该基板夹紧装置包括：上卡盘；下卡盘，其构造成在该上卡盘和下卡盘之间放入并夹住基板；和吸气嘴，其构造成在该上卡盘和下卡盘的彼此相对的相对...

本发明涉及一种衬底处理装置，更具体地涉及一种可以安装升降销并且使用例如扳手之类的工具很容易调整升降销的高度的衬底处理装置。本发明的衬底处理装置包括：室；销托板，设置在该室的内部或外部；驱动装置，用于提升或降低该销托板；以及至少一个升降销...

在此公开了一种平板显示器（ＦＰＤ）制造设备，用于在室中建立真空气氛之后对定位在所述室中的基板执行所需的处理。所述真空室被分成室体以及上盖，以确保所述上盖的容易的开／闭操作。

一种上盖开／闭装置，用于开／闭提供在ＦＰＤ制造设备的真空室上的上盖，所述ＦＰＤ制造设备对加载到所述真空室中的基板执行所需的处理，所述上盖开／闭装置包括：　　　　独立于所述上盖的联接，所述联接被耦合到所述上盖以枢转地沿着抛物线轨道旋转所述...

在此公开了一种平板显示器（ＦＰＤ）制造设备，用于在室中建立真空气氛之后对定位在所述室中的基板执行所需的处理。所述真空室被分成室体以及上盖，以确保所述上盖的容易的开／闭操作。

公开了一种粘接夹盘和用其组装基板的装置和方法。该装置包括腔室；位于腔室内的第一粘接夹盘，其具有多个粘接突起，从而利用分子间吸引力粘接从外部输送入腔室的第一基板；驱动单元，其相向移动粘接到第一粘接夹盘的第一基板和第二基板，从而将它们相互挤...

在此公开了一种平板显示器（ＦＰＤ）制造设备，用于在室中建立真空气氛之后对定位在所述室中的基板执行所需的处理。所述真空室被分成室体以及上盖，以确保所述上盖的容易的开／闭操作。

一种平板显示器（ＦＰＤ）制造设备，其构造能容易地处理大尺寸基板同时实现容易的制造、运输、运转和修理过程。

一种平板显示器（ＦＰＤ）制造设备，其构造能容易地处理大尺寸基板同时实现容易的制造、运输、运转和修理过程。

一种平板显示器（ＦＰＤ）制造设备，其构造能容易地处理大尺寸基板同时实现容易的制造、运输、运转和修理过程。

在此公开了一种真空加工设备，用于在其中建立真空环境之后对基板执行所需工艺。更具体而言，所述真空加工设备包括真空室，该真空室分为室体和上盖。所述上盖配置成容易从室体打开以及关闭到室体。

在此公开了一种真空加工设备，用于在其中建立真空环境之后对基板执行所需工艺。更具体而言，所述真空加工设备包括真空室，该真空室分为室体和上盖。所述上盖配置成容易从室体打开以及关闭到室体。

在此公开了一种真空加工设备，用于在其中建立真空环境之后对基板执行所需工艺。更具体而言，所述真空加工设备包括真空室，该真空室分为室体和上盖。所述上盖配置成容易从室体打开以及关闭到室体。

在此公开了一种真空加工设备，用于在其中建立真空环境之后对基板执行所需工艺。更具体而言，所述真空加工设备包括真空室，该真空室分为室体和上盖。所述上盖配置成容易从室体打开以及关闭到室体。

在此公开了一种真空加工设备，用于在其中建立真空环境之后对基板执行所需工艺。更具体而言，所述真空加工设备包括真空室，该真空室分为室体和上盖。所述上盖配置成容易从室体打开以及关闭到室体。

本发明公开了一种静电夹盘，该静电夹盘包括ＤＣ电源和ＡＣ电源两者。在基板处理步骤期间，向夹盘的电极施加ＤＣ电力，以产生将基板保持在夹盘上的静电保持力。当要将基板从夹盘移除时，切断ＤＣ电力，并且施加ＡＣ电力，以帮助消除在切断ＤＣ电力之后残留...

本公开是一种具有对准单元的基板接合装置以及使用该装置对准基板的方法。该装置包括具有放置第一基板的第一表面板的第一腔。第二腔与第一腔隔开设置。第二腔具有放置第二基板的第二表面板。第二基板与第一基板接合。对准单元安装于第一和第二腔中的至少一...

一种测量卡盘附着力的设备，包括：　　　　构造成接受和附着衬底的卡盘；　　　　使衬底与卡盘分离的分离装置；　　　　与分离装置相连的可变负载施加装置，所述可变负载施加装置通过改变其负载来操作分离装置；以及　　　　控制器，其测量当衬底附着于分...

本发明提供一种升降销驱动装置以及具有该装置的平板显示器（ＦＰＤ）制备设备。升降销驱动装置能利用单台电动机精确地使多个升降销移动，从而实现简单的升降销驱动结构以及简单的电动机控制。这使制造设备室主体下方的空间可以按多种方式设计，从而减小设...

本发明提供了一种用于将两个基板彼此附着在一起的设备，该设备包括保持有第一基板的下腔室以及保持有第二基板的上腔室。上腔室和下腔室被合在一起以提供进行附着工艺的空间。腔室输送机构位于下腔室的角部处，并且用来朝向上腔室而向上移动下腔室，从而下...